本发明公开了一种阴极刻蚀装置及其刻蚀方法，属于显示装置制造技术领域。本发明的一种阴极刻蚀装置，其特征在于，包括：第一刻蚀单元、第二刻蚀单元、腔体；第一刻蚀单元固定安装在腔体上，第二刻蚀单元相对于腔体移动；根据显示面板的信息，第一刻蚀单元...

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其是涉及一种硅片传输机构及电池片生产系统。本实用新型提供的硅片传输机构，包括：抽片组件和设置于抽片组件上方的跑道组件；跑道组件上下方向具有活动空间；抽片组件包括抽片吸盘，抽片吸盘配置为能够向上运动至吸附...

本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种用于磁控溅射的磁场结构及阴极机构，旨在解决如何在较低的溅射电压下获得较高的溅射速率的问题。本实用新型提供的用于磁控溅射的磁场结构包括中间列磁铁、边部磁铁和辅助列磁铁；中间列磁铁竖直设置，磁...

本实用新型涉及磁控溅射技术领域，尤其涉及一种磁棒封装结构，旨在解决因磁棒密封导致连接结构复杂的问题。本实用新型包括磁棒套壳、磁棒支撑管、调节螺杆和磁力连接块；磁棒套壳内设置有磁棒，磁棒套壳朝向磁棒支撑管的一侧开设有限位凹槽；磁力连接块卡...

本申请公开了一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜机，属于镀膜设备技术领域。一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜机，包括：真空装置，该真空装置包括真空腔室和抽真空机构；卷绕装置，该卷绕装置设于真空腔室内，卷绕装置包括放卷机构、第一冷却镀膜辊、第二冷却镀膜...

本实用新型涉及太阳能电池板生产设备技术领域，具体公开了一种太阳能电池板清边设备。本实用新型提供的太阳能电池板清边设备，工作台在上料工位承接太阳能电池板后能于加工工位和旋转工位之间切换，激光器单元对太阳能电池板的边缘进行清理。可以根据产品...

本实用新型公开了一种单轨IBC电池分选装置，属于电池制造领域。包括支架，传输组件，所述传输组件设置在支架上；以及，防滑机构，所述防滑机构包括若干限位块，所述若干限位块可拆卸连接在传输组件上，若干限位块形成限位区。本实用新型将电池片与隔纸...

本实用新型公开了一种IBC电池分选机，属于电池生产领域。本实用新型的IBC电池分选机，包括电池片以及隔纸，还包括，传输组件，所述传输组件设置在支架上，所述电池片与隔纸在传输组件上平行传输；以及，防滑机构，所述防滑机构设置在传输组件上。本...

本实用新型公开了一种太阳能硅片的微波干燥加热装置，属于太阳能电池制造技术领域。烘干炉，包括相互平行设置的上炉体与下炉体；所述上炉体包括反射腔体，反射腔体上安装有微波发生器和测温装置；所述下炉体上设有传动系统；所述烘干炉两端设有出入口，硅...

本发明公开了一种剥离路径调整方法及其剥离装置，属于显示装置制造技术领域。本发明的剥离装置包括载台，用于安放显示装置，所述显示装置上形成有待剥离膜层；所述载台能够转动以及沿剥离方向S移动；剥离单元，所述剥离单元包括剥离机构和剥离驱动机构；...

本申请公开了一种真空过渡装置及连续式真空镀膜设备，属于真空镀膜设备技术领域。一种真空过渡装置，其包括壳体，该壳体内设置有用于将壳体内部分隔成多个过渡单元腔室的多个连接隔板；各个过渡单元腔室分别与抽真空装置连接；每个过渡单元腔室内均设置有...

本发明涉及一种激光精度调节装置，包括：第一动力源，输出端用于提供沿第一方向移动的驱动力；联动模块，与第一动力源的输出端相连接，具有多个连接部，且通过第一动力源驱动多个连接部沿第一方向等间距移动；多个支撑板，一支撑板对应连接于一连接部上；...

本实用新型公开了一种镀膜装置。包括：固定支撑板和设置在所述固定支撑板上的镀膜电极，所述镀膜电极包括与所述固定支撑板平行设置的多个电极板，所述多个电极板之间相互绝缘设置；设置在所述固定支撑板上的多个电源及匹配器馈入系统，所述多个电源及匹配...

本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜装置。该真空镀膜装置包括真空镀膜室、前过渡室、后过渡室、放卷机构和收卷机构。真空镀膜室用于向待加工件镀膜；前过渡室和后过渡室分别设置于所述真空镀膜室的两侧，所述前过渡室和所述后过渡室均能...

本申请公开了一种异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池，属于太阳能电池领域。异质结太阳能电池的制备方法，包括：在半导体衬底的第一表面形成第一本征层，在半导体衬底的第二表面形成第二本征层，第一表面与第二表面相对；在第一本征层的表面形...

本发明提供了一种工件的上料装置及其上料方法，涉及激光打孔制造技术领域。该上料装置包括：上料机构，将若干载满工件的满Tray盘上料以用于机械手吸取工件，并将机械手吸取完工件后形成的空Tray盘放置和下料；机械手，吸取上料机构输送来的工件，...

本发明公开了一种剥离装置及其剥离方法，属于显示装置的制造技术领域。一种剥离装置，包括：载台，载台上安放有显示装置，显示装置上形成有待剥离层；剥离机构，包括第一剥离机构和第二剥离机构；第一剥离机构，对待剥离层进行剥离；当待剥离层未完全从显...

本发明公开了一种上位机和PLC之间的数据通信方法及其通信系统，涉及数据通信技术领域。本发明能够做到在切割加工的同时发送多组加工数据，使发送的加工数据不再单独耗时，加工数据传输的耗时短，提高了加工数据的传输通信效率，提高了切割加工的效率。...

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种太阳能电池激光刻槽装置及太阳能电池加工设备。该太阳能电池激光刻槽装置主要包括作业平台、转盘机构、第一传送带、第二传送带、直线搬运机构以及激光刻槽机构。转盘机构设置在作业平台上，第一传送带...

本申请公开了一种极片补锂装置及补锂方法，属于锂电池补锂技术领域。一种极片补锂装置，包括沿物料流动方向设置的放卷真空腔、补锂真空腔、收卷真空腔，以及与补锂真空腔相连通的固态锂液化装置；补锂真空腔设置有第一液态锂池和第一加热装置，固态锂液化...