真空内磁场约束装置及真空镀膜系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空内磁场约束技术领域，尤其涉及一种真空内磁场约束装置及真空镀膜系统，旨在缓解现有磁场约束装置安全性能低的技术问题。该真空内磁场约束装置包括固定外壳、电磁线圈、永磁铁、电极馈入和水接头；固定外壳具有容纳腔；电磁线圈设置在永磁铁的至少一个侧面，并同永磁铁一起设置于容纳腔内；电极馈入固定于固定外壳的外壁，并与电磁线圈电连接；水接头设有至少两个，固定于固定外壳的外壁，并与容纳腔连通。该真空镀膜系统包括真空内磁场约束装置。通过该真空内磁场约束装置，可以产生约束磁场实现对等离子体的约束，同时循环的冷却水可带走电磁线圈产生的热量，提高了安全性能。提高了安全性能。提高了安全性能。

【技术实现步骤摘要】
真空内磁场约束装置及真空镀膜系统


[0001]本技术涉及真空内磁场约束
，尤其涉及一种真空内磁场约束装置及真空镀膜系统。

技术介绍

[0002]在真空镀膜生产线上，设备通过离子枪发出等离子体，等离子体在电场的约束下轰击成膜材料，但是仅仅在电场的控制下，等离子体的集中位置以及成型效果并不理想。在这种情况下，则需要在成膜材料的周围新增一种磁场约束装置，用以约束控制等离子体，使其集中并合适地轰击在成膜材料上。
[0003]磁场约束装置要设置于真空环境内，而真空环境内存在散热困难的问题，这样一来，将会导致磁场约束装置的电磁线圈烧毁，发生危险。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空内磁场约束装置及真空镀膜系统，以缓解现有磁场约束装置安全性能低的技术问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供的技术方案在于：
[0006]第一方面，本技术提供的真空内磁场约束装置，包括：固定外壳、电磁线圈、永磁铁、电极馈入和水接头；
[0007]所述固定外壳具有容纳腔；
[0008]所述电磁线圈设置在所述永磁铁的至少一个侧面，并同所述永磁铁一起设置于所述容纳腔内；
[0009]所述电极馈入固定于所述固定外壳的外壁，并与所述电磁线圈电连接；
[0010]所述水接头设有至少两个，固定于所述固定外壳的外壁，并与所述容纳腔连通。
[0011]进一步的，所述固定外壳包括底座和封盖；
[0012]所述底座设有环形槽，所述电磁线圈和所述永磁铁均设置于所述环形槽；
[0013]所述封盖固定于所述底座上，以封闭所述环形槽形成所述容纳腔。
[0014]进一步的，所述底座与所述封盖之间设有第一密封圈和第二密封圈；
[0015]所述第一密封圈和所述第二密封圈分布于所述环形槽的内外两侧，且二者的侧面均与所述底座和所述封盖抵接。
[0016]进一步的，所述电极馈入包括压块、密封块和接线柱；
[0017]所述压块固定于所述固定外壳；
[0018]所述密封块抵接于所述固定外壳与所述压块之间，并设有与所述容纳腔连通的穿孔；
[0019]所述接线柱穿设于所述穿孔，并与所述电磁线圈电连接。
[0020]进一步的，所述密封块包括一体成型的密封段和连接段；
[0021]所述密封段抵接于所述固定外壳的外壁；
[0022]所述连接段自所述电磁线圈一侧的端面延伸至所述容纳腔。
[0023]进一步的，所述密封段与所述固定外壳之间设有第三密封圈；
[0024]所述密封段靠近所述电磁线圈一侧的端面设有限位槽，所述第三密封圈设置于所述限位槽。
[0025]进一步的，所述接线柱靠近所述电磁线圈一侧的端部设有盲孔；
[0026]所述接线柱上设有固定孔，所述固定孔沿所述接线柱的径向自所述接线柱的侧面延伸至所述盲孔；
[0027]所述接线柱上设置有螺钉，螺钉通过所述固定孔与所述接线柱螺纹连接，以用于固定插接所述电磁线圈的电线，电性连接所述接线柱和所述电磁线圈。
[0028]进一步的，所述电极馈入还包括防护盖；
[0029]所述防护盖罩设于所述接线柱远离所述固定外壳一侧的一端，并与所述压块固定连接。
[0030]进一步的，所述电磁线圈设置在所述永磁铁的上方和下方，所述永磁铁设置于所述电磁线圈之间。
[0031]第二方面，本技术提供的一种真空镀膜系统包括所述的真空内磁场约束装置。
[0032]综合上述技术方案，本技术提供的真空内磁场约束装置所能实现的技术效果在于：
[0033]该真空内磁场约束装置包括固定外壳、电磁线圈、永磁铁、电极馈入和水接头；固定外壳具有容纳腔；电磁线圈设置于容纳腔；电极馈入固定于固定外壳的外壁，并与电磁线圈电连接；水接头设有至少两个，间隔固定于固定外壳的外壁，并与容纳腔连通。
[0034]在本申请中，电磁线圈和永磁铁设置于固定外壳的容纳腔，电极馈入固定于固定外壳的外壳，在电极馈入通电时，与之电连接的电磁线圈将同永磁铁一起产生约束磁场，且改变通电电流的大小，可对应改变磁场强度，如此，在辅助真空腔内电场对等离子体形成有效约束的同时，可以一定范围的调节磁场强度，以微调控制等离子体的聚焦效果。再者，固定外壳的外壁固定连接有至少两个间隔分布且与容纳腔连通的水接头，通过该水接头，可将冷却水通入、排出容纳腔，实现冷却水在容纳腔中的循环，从而可将电磁线圈产生的热量带走，避免了电磁线圈烧毁的可能，提高了安全性能。
[0035]本技术提供的一种真空镀膜系统的有益效果为：
[0036]本技术提供的真空镀膜系统包括真空内磁场约束装置，由此，该真空镀膜系统所达到的技术优势及效果同样包括上述真空内磁场约束装置所达到的技术优势及效果，此处不再赘述。
附图说明
[0037]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0038]图1为本技术实施例提供的真空内磁场约束装置的结构示意图；
[0039]图2为本技术实施例提供的真空内磁场约束装置沿A
‑
A
’
方向的剖视图；
[0040]图3为本技术实施例提供的真空内磁场约束装置的电极馈入的剖视图。
[0041]图标：100
‑
固定外壳；110
‑
底座；120
‑
封盖；
[0042]200
‑
电磁线圈；
[0043]300
‑
电极馈入；310
‑
压块；320
‑
密封块；330
‑
接线柱；340
‑
防护盖；350
‑
护套；360
‑
第四密封圈；321
‑
密封段；322
‑
连接段；
[0044]400
‑
水接头；500
‑
第一密封圈；600
‑
第二密封圈；700
‑
第三密封圈；800
‑
螺钉；900
‑
永磁铁；1000
‑
预留盲板。
具体实施方式
[0045]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空内磁场约束装置，其特征在于，包括：固定外壳(100)、电磁线圈(200)、永磁铁(900)、电极馈入(300)和水接头(400)；所述固定外壳(100)具有容纳腔；所述电磁线圈(200)设置在所述永磁铁(900)的至少一个侧面，并同所述永磁铁(900)一起设置于所述容纳腔内；所述电极馈入(300)固定于所述固定外壳(100)的外壁，并与所述电磁线圈(200)电连接；所述水接头(400)设有至少两个，固定于所述固定外壳(100)的外壁，并与所述容纳腔连通。2.根据权利要求1所述的真空内磁场约束装置，其特征在于，所述固定外壳(100)包括底座(110)和封盖(120)；所述底座(110)设有环形槽，所述电磁线圈(200)和所述永磁铁(900)均设置于所述环形槽；所述封盖(120)固定于所述底座(110)上，以封闭所述环形槽形成所述容纳腔。3.根据权利要求2所述的真空内磁场约束装置，其特征在于，所述底座(110)与所述封盖(120)之间设有第一密封圈(500)和第二密封圈(600)；所述第一密封圈(500)和所述第二密封圈(600)分布于所述环形槽的内外两侧，且二者的侧面均与所述底座(110)和所述封盖(120)抵接。4.根据权利要求1所述的真空内磁场约束装置，其特征在于，所述电极馈入(300)包括压块(310)、密封块(320)和接线柱(330)；所述压块(310)固定于所述固定外壳(100)；所述密封块(320)抵接于所述固定外壳(100)与所述压块(310)之间，并设有与所述容纳腔连通的穿孔；所述接线柱(330)穿设于所述穿孔，并与所述电磁线圈(200)电连接。5.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯火群，彭孝龙，莫超超，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：