【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜设备，尤其涉及一种视窗遮挡机构。
技术介绍
1、镀膜设备在镀膜过程中需要观察腔体内部的镀膜情况，例如，在磁控溅射过程中，磁控溅射镀膜设备需在腔体上设计观察窗以观察靶材溅射情况。观察窗通常采用内外两层玻璃片，外层用于密封，内层用于遮挡ito，防止外层玻璃片被溅射。在靶材使用到后期时，内层玻璃片会被镀上一层ito薄膜，导致在观测靶材时较为为模糊，进而产生错误的判断。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种视窗遮挡机构，以解决玻璃片被镀膜导致无法准确观察靶材的问题。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供的技术方案在于：
3、本技术提供了一种视窗遮挡机构，包括固定环和旋转叶片，所述固定环上设置有观察孔，多个所述旋转叶片环形布置并相互拼接以形成防护层，所述防护层遮挡所述观察孔；所述旋转叶片转动安装于所述固定环，所述旋转叶片摆动以相互脱离，从而打开所述观察孔。
4、进一步的，视窗遮挡机构还包括转动环，所述转动环安装于所述固定环并与所述旋转叶片连接，所述转动环转动以带动所述旋转叶片摆动。
5、进一步的，视窗遮挡机构还包括连接杆，所述连接杆一端铰接于所述转动环，另一端铰接于所述旋转叶片。
6、进一步的，视窗遮挡机构还包括手柄，所述手柄转动安装于腔体侧壁；所述手柄的一端穿过腔体侧壁并与所述转动环连接，所述手柄转动以带动所述转动环转动。
7、进一步的，所述固定环上设置有第一连接轴，多个所述第一连接轴环形均布，所述
8、进一步的，所述固定环上设置有第二连接轴，多个所述第二连接轴环形均布，所述转动环上设置有弧形长孔，多个所述弧形长孔环形均布；所述第二连接轴插装于所述弧形长孔并与所述弧形长孔滑动连接。
9、进一步的，所述转动环上设置有驱动铰接孔，所述旋转叶片上设置有第二铰接孔，所述连接杆的两端设置有铰接轴，两个所述铰接轴分别插装于所述驱动铰接孔和所述第二铰接孔。
10、进一步的，所述转动环上设置有驱动长孔，所述手柄一端插装于所述驱动长孔并可沿所述驱动长孔的长度方向滑动。
11、进一步的，所述手柄包括握杆、转杆、连接板和驱动轴；所述转杆转动安装于腔体侧壁，两端分别与所述握杆和所述连接板连接；所述握杆和所述连接板分别位于腔体侧壁的两侧，所述驱动轴与所述连接板连接；
12、所述驱动轴插装于所述驱动长孔并可沿所述驱动长孔的长度方向滑动。
13、进一步的，所述旋转叶片包括内圆弧和外圆弧，所述内圆弧内切于相邻所述旋转叶片的所述外圆弧，所述外圆弧的圆心与所述第一铰接孔同轴。
14、综合上述技术方案，本技术所能实现的技术效果在于：
15、本技术提供的视窗遮挡机构包括固定环和旋转叶片，所述固定环上设置有观察孔，多个所述旋转叶片环形布置并相互拼接以形成防护层，所述防护层遮挡所述观察孔；所述旋转叶片转动安装于所述固定环，所述旋转叶片摆动以相互脱离，从而打开所述观察孔。
16、本实施例提供的视窗遮挡机构通过旋转叶片组成防护层以遮挡观察孔，通过旋转叶片的摆动解除防护层以打开观察孔。观察窗的玻璃片设置于防护层以后，镀膜时被防护层遮挡，保护观察窗的玻璃片；需要观察时旋转叶片以打开观察孔，即可对腔体内部进行观察。通过可开合的防护层实现对玻璃片的保护，避免玻璃片被镀膜导致影响观察效果，从而保证对靶材的准确观察。此外还能避免更换玻璃片的工作量和消耗，降低使用成本。
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1.一种视窗遮挡机构，其特征在于，包括固定环(100)和旋转叶片(200)，所述固定环(100)上设置有观察孔(110)，多个所述旋转叶片(200)环形布置并相互拼接以形成防护层，所述防护层遮挡所述观察孔(110)；
2.根据权利要求1所述的视窗遮挡机构，其特征在于，还包括转动环(300)，所述转动环(300)安装于所述固定环(100)并与所述旋转叶片(200)连接，所述转动环(300)转动以带动所述旋转叶片(200)摆动。
3.根据权利要求2所述的视窗遮挡机构，其特征在于，还包括连接杆(400)，所述连接杆(400)一端铰接于所述转动环(300)，另一端铰接于所述旋转叶片(200)。
4.根据权利要求3所述的视窗遮挡机构，其特征在于，还包括手柄(500)，所述手柄(500)转动安装于腔体侧壁(a)；
5.根据权利要求1所述的视窗遮挡机构，其特征在于，所述固定环(100)上设置有第一连接轴(120)，多个所述第一连接轴(120)环形均布，所述旋转叶片(200)上设置有第一铰接孔(210)，所述第一连接轴(120)插装于所述第一铰接孔
6.根据权利要求2所述的视窗遮挡机构，其特征在于，所述固定环(100)上设置有第二连接轴(130)，多个所述第二连接轴(130)环形均布，所述转动环(300)上设置有弧形长孔(310)，多个所述弧形长孔(310)环形均布；
7.根据权利要求3所述的视窗遮挡机构，其特征在于，所述转动环(300)上设置有驱动铰接孔(320)，所述旋转叶片(200)上设置有第二铰接孔(220)，所述连接杆(400)的两端设置有铰接轴，两个所述铰接轴分别插装于所述驱动铰接孔(320)和所述第二铰接孔(220)。
8.根据权利要求4所述的视窗遮挡机构，其特征在于，所述转动环(300)上设置有驱动长孔(330)，所述手柄(500)一端插装于所述驱动长孔(330)并可沿所述驱动长孔(330)的长度方向滑动。
9.根据权利要求8所述的视窗遮挡机构，其特征在于，所述手柄(500)包括握杆(510)、转杆(520)、连接板(530)和驱动轴(540)；
10.根据权利要求5所述的视窗遮挡机构，其特征在于，所述旋转叶片(200)包括内圆弧(230)和外圆弧(240)，所述内圆弧(230)内切于相邻所述旋转叶片(200)的所述外圆弧(240)，所述外圆弧(240)的圆心与所述第一铰接孔(210)同轴。
...【技术特征摘要】
1.一种视窗遮挡机构，其特征在于，包括固定环(100)和旋转叶片(200)，所述固定环(100)上设置有观察孔(110)，多个所述旋转叶片(200)环形布置并相互拼接以形成防护层，所述防护层遮挡所述观察孔(110)；
2.根据权利要求1所述的视窗遮挡机构，其特征在于，还包括转动环(300)，所述转动环(300)安装于所述固定环(100)并与所述旋转叶片(200)连接，所述转动环(300)转动以带动所述旋转叶片(200)摆动。
3.根据权利要求2所述的视窗遮挡机构，其特征在于，还包括连接杆(400)，所述连接杆(400)一端铰接于所述转动环(300)，另一端铰接于所述旋转叶片(200)。
4.根据权利要求3所述的视窗遮挡机构，其特征在于，还包括手柄(500)，所述手柄(500)转动安装于腔体侧壁(a)；
5.根据权利要求1所述的视窗遮挡机构，其特征在于，所述固定环(100)上设置有第一连接轴(120)，多个所述第一连接轴(120)环形均布，所述旋转叶片(200)上设置有第一铰接孔(210)，所述第一连接轴(120)插装于所述第一铰接孔(210)；
6.根据权利要求2所述的视窗遮挡机构，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：凡伟伟，朱德盼，宋想想，钟杨，高永平，王星辰，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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