光伏电池水平电镀装置制造方法及图纸

本技术涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种光伏电池水平电镀装置。光伏电池水平电镀装置包括电解槽、导电辊和阳极组件。电解槽内盛放有电解液。导电辊设置在电解槽内并浸没在电解液中，导电辊的外周侧设置有导电部，导电部包括阳极消铜区域和阴极电镀区域，阳极消铜区域的外侧设置有阳极组件，阳极组件通过阳极消铜区域内的导电部与电源正极电连接。阳极组件和导电辊均设置为多个，沿电池片的传输方向，每一个导电辊的两侧分别配置一个阳极组件，且多个阳极组件的高度均低于导电辊的顶端，以使阳极组件位于相邻两个导电辊之间。该光伏电池水平电镀装置能够提高电镀效率，节约电镀时间，达到节约成本的目的。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体器件，尤其涉及一种光伏电池水平电镀装置。

技术介绍

1、目前，在光伏电池生产制造工艺中，通常采用水平电镀的方式在硅片表面电镀金属栅线。电镀的过程主要分为两个阶段：第一个阶段电镀高度2μm，简称打底过程，第二个阶段电镀高度8μm，简称增高过程。

2、现有技术中的水平电镀设备的打底过程和增高过程时间均较长，通常传统技术是通过增强电镀电流，以达到提高电镀效率，缩短电镀时间的目的。但是，由于电池片pvd(physical vapor deposition，物理气相沉积)的膜层厚度仅有100纳米左右，因此在提高电镀电流的同时，容易导致电池片pvd膜层被击穿，从而降低产品良率，增加成本。

3、因此，亟需设计一种光伏电池水平电镀装置，来解决以上技术问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提出一种光伏电池水平电镀装置，提高电镀效率，节约电镀时间，提升产品良率，达到节约成本的目的。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、本技术提供一种光伏电池水平电镀装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.光伏电池水平电镀装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述导电辊(200)设置为至少一排，当所述导电辊(200)设置为两排时，所述电池片(10)位于两排所述导电辊(200)之间，且两排所述导电辊(200)错位设置。

3.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述光伏电池水平电镀装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件(400)，所述第一驱动组件与所述导电辊(200)驱动连接，以驱动所述导电辊(200)转动；所述第二驱动组件(400)与所述电池片(10)驱动连接，以驱动所述电池片(10)在所述阴极区(11...

【技术特征摘要】

1.光伏电池水平电镀装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述导电辊(200)设置为至少一排，当所述导电辊(200)设置为两排时，所述电池片(10)位于两排所述导电辊(200)之间，且两排所述导电辊(200)错位设置。

3.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述光伏电池水平电镀装置还包括第一驱动组件和第二驱动组件(400)，所述第一驱动组件与所述导电辊(200)驱动连接，以驱动所述导电辊(200)转动；所述第二驱动组件(400)与所述电池片(10)驱动连接，以驱动所述电池片(10)在所述阴极区(110)传输。

4.根据权利要求3所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述第一驱动组件设置为多个，且每一个所述第一驱动组件与每一个所述导电辊(200)驱动连接。

5.根据权利要求3所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述第二驱动组件(400)设置为多个，多个所述第二驱动组件(400)位于所述电池片(10)的上下两侧。

6.根据权利要求1所述的光伏电池水平电镀装置，其特征在于，所述导电部(210)还包括设于所述阳极消铜区域(220)和所述阴极电镀区域(230)之间的不带电区域(240)；所述导电部(210)沿着所述导电辊(200)的外侧周向上依次均布有多个。

7.根据权利要求6...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐文胜，郁操，胡广豹，李剑，董刚强，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：