一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂，其包括内部形成有密封腔体的安装柜体，所述安装柜体的外侧具有一个安装面，所述安装面密封安装在镀膜设备的一个窗口处，所述安装面上设置有与镀膜设备内部腔室连通的进出口，所述安装柜体外部固定设置有驱动件，所述密封腔体内设置有受所述驱动件驱动从所述进出口伸出或缩回所述密封腔体的多级悬臂机械手。本实用新型专利技术空间占用小，节省空间，且单动力源实现了长行程的输送移载，降低了制造成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂


[0001]本技术属于镀膜设备
，特别是涉及一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂。

技术介绍

[0002]随着社会的发展和科学技术的进步，电子产品更新换代的速度越来越快，单一性功能的产品已不能满足人们的需求，在现有社会中，智能手机、平板电脑等电子产品逐步向轻薄化、智能化、高性能化方向发展，而轻薄化、提升透光率、改善用户体验等任务主要由触控面板和显示面板来担当，而制备这些半导体器件的关键薄膜层，均会采用真空镀膜的方式来实现，真空镀膜也可分为物理气相沉积、化学气相沉积等等。对于多腔室物理气相沉积设备而言，工件需要在多个腔室之间进行周转，因此，实现镀膜工件在各腔室之间自由转递的机械手机构必不可少。
[0003]现有技术中专利公开号为CN109913840B公开了一种应用于多腔体镀膜装置的机械手及多腔体镀膜装置，该机械手整体设置在镀膜设备内容，占用镀膜设备的内部空间较多，使得镀膜设备的整体体积增大，制作成本高；且该机械手包括旋转主轴电机、X轴驱动电机以及Z轴驱动电机，动力源较多，进一步增加了设备的制造成本。
[0004]因此，需要额外设计一款镀膜设备多腔室周转传输机械臂来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂，空间占用小，节省空间，且单动力源实现了长行程的输送移载，降低了制造成本。
[0006]本技术通过如下技术方案实现上述目的：一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂，其包括内部形成有密封腔体的安装柜体，所述安装柜体的外侧具有一个安装面，所述安装面密封安装在镀膜设备的一个窗口处，所述安装面上设置有与镀膜设备内部腔室连通的进出口，所述安装柜体外部固定设置有驱动件，所述密封腔体内设置有受所述驱动件驱动从所述进出口伸出或缩回所述密封腔体的多级悬臂机械手。
[0007]进一步的，所述安装面上环绕所述进出口设置有密封凹槽，所述密封凹槽内设置有密封圈。
[0008]进一步的，所述多级悬臂机械手包括水平滑动设置在所述安装柜体内且受所述驱动件驱动进行直线伸缩运动的一级悬臂板、水平滑动设置在所述一级悬臂板上的二级悬臂板以及固定在所述二级悬臂板末端的托盘，所述二级悬臂板与所述一级悬臂板之间通过传动模组实现同步联动。
[0009]进一步的，所述驱动件的旋转轴伸入至所述密封腔体内且旋转轴末端固定设置有第一驱动齿轮，所述一级悬臂板上设置有与所述第一驱动齿轮啮合传动的第一齿条。
[0010]进一步的，所述安装柜体内沿所述一级悬臂板的长度方向上间隔设置有若干对第一导向滑轮，所述一级悬臂板上设置有与所述第一导向滑轮配合的一对第一滑轨。
[0011]进一步的，所述第一导向滑轮的圆周面上设置有V型限位环槽，且所述第一导向滑轮的旋转轴竖向设置，使得所述V型限位环槽具备一个下支撑面与一个上限位面；所述第一滑轨的作用部与所述V型限位环槽仿形设计且通过伸入所述V型限位环槽内实现滑动配合。
[0012]进一步的，所述一级悬臂板上旋转设置有第二驱动齿轮，所述安装柜体内固定设置有与所述第二驱动齿轮啮合的第二齿条，所述二级悬臂板上固定设置有与所述第二驱动齿轮啮合的第三齿条，所述第三齿条与所述第二齿条上下相对设置，所述第二驱动齿轮位于所述第三齿条与所述第二齿条之间。
[0013]进一步的，所述二级悬臂板上沿其长度方向间隔设置有若干对第二导向滑轮，所述一级悬臂板上设置有与所述第二导向滑轮配合实现滑动连接的一对第二滑轨。
[0014]进一步的，所述传动模组为链轮链条传动结构、或同步带轮同步带传动结构。
[0015]与现有技术相比，本技术一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂的有益效果在于：通过设置一个独立的安装柜体安装在镀膜设备主体上，并在安装柜体上开设一个进出口，通过该进出口实现与镀膜设备的连通，利用安装柜体内部的密封腔体为机械臂的伸缩提供收纳空间，不额外占用镀膜设备的内部空间，大大缩小了镀膜设备的体积，降低了制作成本；机械臂采用单动力源多级伸缩臂的结构形式，实现了超长行程的同时又缩短了收纳空间的长度，进一步的节省了空间；仅有单个动力源，进一步的降低了制作成本；一级悬臂板与安装柜体之间、一级悬臂板与二级悬臂板之间均采用多组导向滑轮与滑轨配合的结构，保障了二级悬臂板末端的下垂度在允许的范围内，配合无背隙齿轮齿条传动结构能够实现高精度的传输，满足工艺需求。
【附图说明】
[0016]图1为本技术实施例的结构示意图；
[0017]图2为本技术实施例打开安装柜体顶板后的结构示意图；
[0018]图3为本技术实施例中多级悬臂机械手的部分立体结构示意图；
[0019]图4为本技术实施例中多级悬臂机械手的侧视结构示意图；
[0020]图5为本技术实施例中第一导向滑轮与第一滑轨结构示意图；
[0021]图中数字表示：
[0022]100
‑
镀膜设备多腔室周转传输机械臂；
[0023]1‑
安装柜体，11
‑
密封腔体，12
‑
安装面，13
‑
进出口，14
‑
密封圈；
[0024]2‑
驱动件，21
‑
第一驱动齿轮；
[0025]3‑
多级悬臂机械手，31
‑
一级悬臂板，32
‑
二级悬臂板，33
‑
托盘，34
‑
第一齿条，35
‑
第一导向滑轮，351
‑
V型限位环槽，352
‑
下支撑面，353
‑
上限位面，36
‑
第一滑轨，37
‑
第二驱动齿轮，38
‑
第二齿条，39
‑
第三齿条，310
‑
第二导向滑轮，311
‑
第二滑轨。
【具体实施方式】
[0026]实施例一：
[0027]请参照图1
‑
图5，本实施例为一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂100，其包括内部形成有密封腔体11的安装柜体1，安装柜体1的外侧具有一个安装面12，该安装面12密封安装在镀膜设备的一个窗口处，安装面12上设置有与镀膜设备内部腔室连通的进出口13，
所述安装柜体1外部固定设置有驱动件2，所述密封腔体11内设置有受驱动件2驱动从进出口13伸出或缩回密封腔体11的多级悬臂机械手3。
[0028]安装面12上环绕进出口13设置有密封凹槽，所述密封凹槽内设置有密封圈14，用于密封安装柜体1与镀膜设备的安装接触面，实现安装柜体1与镀膜设备的密封连接，保证镀膜设备内部空间的密封。
[0029]本实施例中，多级悬臂机械手3包括水平滑动设置在安装柜体1内且受驱动件2驱动进行直线伸缩运动的一级悬臂板3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂，其特征在于：其包括内部形成有密封腔体的安装柜体，所述安装柜体的外侧具有一个安装面，所述安装面密封安装在镀膜设备的一个窗口处，所述安装面上设置有与镀膜设备内部腔室连通的进出口，所述安装柜体外部固定设置有驱动件，所述密封腔体内设置有受所述驱动件驱动从所述进出口伸出或缩回所述密封腔体的多级悬臂机械手。2.如权利要求1所述的镀膜设备多腔室周转传输机械臂，其特征在于：所述安装面上环绕所述进出口设置有密封凹槽，所述密封凹槽内设置有密封圈。3.如权利要求1所述的镀膜设备多腔室周转传输机械臂，其特征在于：所述多级悬臂机械手包括水平滑动设置在所述安装柜体内且受所述驱动件驱动进行直线伸缩运动的一级悬臂板、水平滑动设置在所述一级悬臂板上的二级悬臂板以及固定在所述二级悬臂板末端的托盘，所述二级悬臂板与所述一级悬臂板之间通过传动模组实现同步联动。4.如权利要求3所述的镀膜设备多腔室周转传输机械臂，其特征在于：所述驱动件的旋转轴伸入至所述密封腔体内且旋转轴末端固定设置有第一驱动齿轮，所述一级悬臂板上设置有与所述第一驱动齿轮啮合传动的第一齿条。5.如权利要求3所述的镀膜设备多腔室周转传输机械臂，其特征在于：所述安装柜体内沿所述一级悬臂板的长度...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，胡宇航，周文彬，
申请(专利权)人：昆山晟成光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：