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本实用新型揭示了一种镀膜设备多腔室周转传输机械臂，其包括内部形成有密封腔体的安装柜体，所述安装柜体的外侧具有一个安装面，所述安装面密封安装在镀膜设备的一个窗口处，所述安装面上设置有与镀膜设备内部腔室连通的进出口，所述安装柜体外部固定设置有驱...
该专利属于昆山晟成光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山晟成光电科技有限公司授权不得商用。

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