一种具有清洁功能的真空镀膜机制造技术

技术编号:38407579 阅读:8 留言:0更新日期:2023-08-07 11:15
本实用新型专利技术公开了一种具有清洁功能的真空镀膜机,应用在镀膜机领域,包括机箱和抽取过滤机构,所述机箱的内部通过轴承转动连接有转动杆,所述转动杆的顶端固定套接有电机,所述转动杆的表面固定套接有固定板,所述固定板的两侧均焊接有刮板,所述刮板的另一侧安装有刷体,所述机箱的内部焊接有定位板,所述定位板的底部焊接有固定杆,所述固定杆的表面套设有工件搁置架,所述固定杆的表面开设有螺纹孔;能够便于对搁置架的间距进行调整,操作简单方便,提高了镀膜机内部空间的利用率,实用性高,同时能够提高内部的清洁效果,通过先刮落后吸取净化的步骤能够保障内部的清洁性,减轻了工作人员的工作负担。轻了工作人员的工作负担。轻了工作人员的工作负担。

【技术实现步骤摘要】
一种具有清洁功能的真空镀膜机


[0001]本技术涉及镀膜机领域,特别涉及一种具有清洁功能的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]目前,公告号为CN208829751U的中国技术,公开了一种具有清洁功能的真空镀膜机,包括镀膜机本体,所述镀膜机本体的底面固定连接有支撑箱,所述支撑箱的内底壁固定连接有支撑座,所述支撑座的上表面固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有第一皮带轮,所述电机的上表面固定连接有电机控制器,所述支撑箱的内顶壁固定连接有两个相对称的支架,两个所述支架的底面固定连接有风筒。该具有清洁功能的真空镀膜机,通过支撑座上表面固定连接的电机,以及转轴右侧面固定连接的风叶之间相配合,能够实现对镀膜机本体内部的颗粒物进行有效的清除,有效避免镀膜机本体内部发生颗粒物残留的情况出现,有效提升对镀膜基材的镀膜质量,有效提高镀膜机整体的使用效果。
[0004]现有的真空镀膜机虽然在底部安装了抽气净化机构,可对主机内部的飘散颗粒物进行有效清除,但是镀膜机内部大部分的颗粒物都是附着在机箱的内壁上的,仅靠吸力无法使其自然脱落,还是需要人工手持工具进行刮落,增加了工作人员的工作负担,清洁效果较差,而且机箱内部的搁置架都是固定安装的,由于生产的基片大小不一,如果两者之间间距过大的话会存在内部空间的浪费,反之间距过少的话会导致较大基片无法放入,灵活性较低,为了解决上述所存在的问题,我们提出一种具有清洁功能的真空镀膜机。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种具有清洁功能的真空镀膜机,其优点是能够提高内部的清洁效果而且能够便于对搁置架的间距进行调整。
[0006]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种具有清洁功能的真空镀膜机,包括机箱和抽取过滤机构,所述机箱的内部通过轴承转动连接有转动杆,所述转动杆的顶端固定套接有电机,所述转动杆的表面固定套接有固定板,所述固定板的两侧均焊接有刮板,所述刮板的另一侧安装有刷体,所述机箱的内部焊接有定位板,所述定位板的底部焊接有固定杆,所述固定杆的表面套设有工件搁置架,所述固定杆的表面开设有螺纹孔,所述工件搁置架的正面贯穿设置有与螺纹孔螺纹连接的紧固螺栓,所述机箱的顶部安装有真空泵。
[0007]采用上述技术方案,能够便于对搁置架的间距进行调整,操作简单方便,提高了镀膜机内部空间的利用率,实用性高,同时能够提高内部的清洁效果,通过先刮落后吸取净化的步骤能够保障内部的清洁性,减轻了工作人员的工作负担。
[0008]本技术进一步设置为:所述抽取过滤机构包括底座,所述底座栓接在机箱的
底部,所述底座的内部分别栓接有抽气泵和隔板,所述抽气泵的吸风端固定套接有与机箱连通的抽气管,所述底座的内部设置有两个过滤网板。
[0009]采用上述技术方案,通过底座、抽气泵、隔板、抽气管和过滤网板的设置,能够对机箱内飘散的颗粒物进行吸收并过滤。
[0010]本技术进一步设置为:所述过滤网板的顶部和底部均卡接有卡座,所述卡座的另一侧和底座的内部栓接。
[0011]采用上述技术方案,通过卡座的设置,能够对过滤网板进行限位,防止过滤网板在放置后受到风力的吹动时自身位置发生改变。
[0012]本技术进一步设置为:所述电机的表面固定套接有法兰盘,所述法兰盘的底部通过螺丝与机箱栓接。
[0013]采用上述技术方案,通过法兰盘的设置,能够对电机进行固定,提高了电机在安装后的稳固性。
[0014]本技术进一步设置为:所述机箱的顶部栓接有防护罩。
[0015]采用上述技术方案,通过防护罩的设置,能够对电机和真空泵进行保护,防止电机和真空泵受到外物的碰撞而出现损坏。
[0016]本技术进一步设置为:所述定位板的底部对称焊接有限位杆,所述限位杆的另一端贯穿并延伸至工件搁置架的底部。
[0017]采用上述技术方案,通过限位杆的设置,能够对工件搁置架进行限位,防止工件搁置架在上、下移动的过程中发生旋转的情况。
[0018]本技术进一步设置为:所述固定杆和紧固螺栓均由不锈钢材质制造而成。
[0019]采用上述技术方案,固定杆和紧固螺栓具有强度高、密度小和耐腐蚀性优良的特点。
[0020]综上所述,本技术具有以下有益效果:
[0021]1.本技术通过先将机箱的门打开,然后用手或者工具抓住紧固螺栓进行逆时针转动,紧固螺栓在逆时针转动时会缓缓向外松动,当紧固螺栓的螺纹端与螺纹孔分离后便可用手抓住工件搁置架进行上、下移动,当工件搁置架移动到合适的高度后将紧固螺栓顺时针拧紧即可,能够便于对搁置架的间距进行调整,操作简单方便,提高了镀膜机内部空间的利用率,实用性高;
[0022]2.本技术通过启动电机,电机在启动后会通过轴承的配合下带动转动杆进行转动,转动杆在转动时会带动固定板进行旋转,固定板在旋转时会同时带动两个刮板和刷体一起旋转,刷体在旋转时会将机箱内壁上的颗粒物刮落,然后启动抽气泵将颗粒物吸入并净化,能够提高内部的清洁效果,通过先刮落后吸取净化的步骤能够保障内部的清洁性,减轻了工作人员的工作负担。
附图说明
[0023]图1是本技术结构立体图;
[0024]图2是本技术结构剖面图;
[0025]图3是本技术图2中A处结构放大图。
[0026]附图标记:1、机箱;2、抽取过滤机构;21、底座;22、抽气泵;23、隔板;24、抽气管;
25、过滤网板;3、转动杆;4、电机;5、固定板;6、刮板;7、刷体;8、定位板;9、固定杆;10、工件搁置架;11、螺纹孔;12、紧固螺栓;13、真空泵;14、卡座;15、法兰盘;16、防护罩;17、限位杆。
具体实施方式
[0027]以下结合附图对本技术作进一步详细说明。
[0028]实施例1:
[0029]参考图1和图2,一种具有清洁功能的真空镀膜机,包括机箱1和抽取过滤机构2,机箱1的内部通过轴承转动连接有转动杆3,转动杆3的顶端固定套接有电机4,转动杆3的表面固定套接有固定板5,固定板5的两侧均焊接有刮板6,刮板6的另一侧安装有刷体7,通过启动电机4,电机4在启动后会通过轴承的配合下带动转动杆3进行转动,转动杆3在转动时会带动固定板5进行旋转,固定板5在旋转时会同时带动两个刮板6和刷体7一起旋转,刷体7在旋转时会将机箱1内壁上的颗粒物刮落,然后启动抽气泵22将颗粒物吸入并净化,能够提高内部的清洁效果,通过先刮落后吸取净化的步骤能够保障内部的清洁性,减轻了工作人员的工作负担。
[0030]参考图1和图2,抽取过滤机构2包括底座21,底座21栓接在机箱1的底部,底座21的内部分别栓接有抽气泵2本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有清洁功能的真空镀膜机,包括机箱(1)和抽取过滤机构(2),其特征在于,所述机箱(1)的内部通过轴承转动连接有转动杆(3),所述转动杆(3)的顶端固定套接有电机(4),所述转动杆(3)的表面固定套接有固定板(5),所述固定板(5)的两侧均焊接有刮板(6),所述刮板(6)的另一侧安装有刷体(7),所述机箱(1)的内部焊接有定位板(8),所述定位板(8)的底部焊接有固定杆(9),所述固定杆(9)的表面套设有工件搁置架(10),所述固定杆(9)的表面开设有螺纹孔(11),所述工件搁置架(10)的正面贯穿设置有与螺纹孔(11)螺纹连接的紧固螺栓(12),所述机箱(1)的顶部安装有真空泵(13)。2.根据权利要求1所述的一种具有清洁功能的真空镀膜机,其特征在于,所述抽取过滤机构(2)包括底座(21),所述底座(21)栓接在机箱(1)的底部,所述底座(21)的内部分别栓接有抽气泵(22)和隔板(23),所述抽气泵(22)的吸风端固定套...

【专利技术属性】
技术研发人员:何清
申请(专利权)人:成都金典真空设备有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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