【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具
[0001]本技术属于镀膜夹具
，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具。
技术介绍
[0002]磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料。主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。
[0003]基于上述，本专利技术人发现，现有的磁控溅射镀膜机的镀膜夹具存在以下几点不足：
[0004]1、基片单面镀膜完成后需要人工拆卸翻面，人工翻面容易对镀膜完成面造成损伤，不能在单面镀膜完成后自动翻面；
[0005]2、镀膜夹具仅对两端进行夹紧容易导致中间位置发生变形，不能在对长边进行夹紧的同时压紧基片顶部防止变形。
[0006]于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，以期达到更具有更加实用价值性的目的。
技术实现思路
[0007]为了解决上述技术问题，本...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，其特征在于：包括装置本体；所述装置本体左侧端部设置有前后方向的镀膜翻面板，镀膜翻面板右侧端面前后均开设有上下方向的限位槽，镀膜翻面板的限位槽中间均开设有左右贯穿的安装孔，镀膜翻面板左侧端面中间设置有承载柱，镀膜翻面板的承载柱左侧端面设置有正六棱对接柱。2.如权利要求1所述磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，其特征在于：所述镀膜翻面板右侧端面前后均通过螺栓安装有左右方向的夹紧承载板，夹紧承载板左右两侧端面中间均开设有螺纹盲孔，夹紧承载板中间均开设有前后贯穿的夹紧螺纹孔，夹紧承载板左右两侧均开设有前后贯穿的导向孔。3.如权利要求2所述磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，其特征在于：所述夹紧承载板之间右侧端部通过螺栓安装有前后方向的翻面支撑板，翻面支撑板左侧端面前后端部均开设有上下方向的限位槽，翻面支撑板的限位槽中间均开设有左右贯穿的安装孔，翻面支撑板右侧端面中间设置有承载柱，翻面支撑板的承载柱右侧端部外部圆周开设有环形槽。4.如权利要求3所述磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，其特征在于：所述夹紧承载板中间...
【专利技术属性】
技术研发人员：何清，郭琪，曹作川，
申请(专利权)人：成都金典真空设备有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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