一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体还包括底座、箱体和固定框，所述底座的上表面通过螺栓固定连接有箱体，所述箱体的一端铰接有密封板，所述密封板的另一侧与所述箱体通过塔扣固定连接；本实用新型专利技术通过设置有固定框、夹持块和弹簧，并且通过将镀膜件放置在两个夹持块之间的相邻面，镀膜件对夹持块产生挤压，进而对弹簧产生压缩，由于弹簧要恢复之前的状态，从而能够对夹持块产生相反的作用力，从而两个夹持块能够对镀膜件进行夹持固定，在固定时，不仅便于安装和拆卸，通过将固定框与箱体的内壁可拆卸连接，便于将夹持结构拆卸下来进行清理，给操作人员带来方便。给操作人员带来方便。给操作人员带来方便。

【技术实现步骤摘要】
一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，真空镀膜往往采用真空镀膜机去实现镀膜的，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，现有的镀膜机还存在一些不足，比如：
[0003]现有的镀膜机在对镀膜件进行固定时，一般通过螺杆带动夹持板运动对镀膜件进行夹持固定，不仅不便于安装和拆卸，而且不便于对夹持结构进行拆卸清理，给操作人员带来不便。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体还包括底座、箱体和固定框，所述底座的上表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，其特征在于，包括：真空镀膜机本体；其中，所述真空镀膜机本体还包括底座(2)、箱体(1)和固定框(8)，所述底座(2)的上表面通过螺栓固定连接有箱体(1)，所述箱体(1)的一端铰接有密封板(5)，所述密封板(5)的另一侧与所述箱体(1)通过塔扣固定连接，所述箱体(1)内壁的一侧可拆卸连接有固定框(8)，所述固定框(8)内壁的下表面通过螺栓固定连接有过滤网(17)，所述固定框(8)内壁的两侧均通过螺栓固定连接有固定架(14)，所述固定架(14)内壁的一侧焊接有若干个弹簧(15)，若干个所述弹簧(15)的一端焊接有夹持块(16)。2.根据权利要求1所述的一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜机，其特征在于：所述箱体(1)的一侧开设有凹槽，且凹槽内壁的一侧通过螺栓固定连接有电动导轨(6)，所述电动导轨(6)的动力输出端通过螺栓固定连接有电动滑块(7)，所述电动滑块(7)的一侧与所述固定框(8)可拆卸连接，所述箱体(1)的一侧通过螺栓固定连接有控制器(4)，所述控制器(4)与外部电源电性连接，所述电动导轨(6)与所述控...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘佩杰，
申请(专利权)人：深圳市鼎力真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：