一种真空镀膜机用冷却结构制造技术

技术编号:38412526 阅读:10 留言:0更新日期:2023-08-07 11:17
本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机用冷却结构,应用于真空镀膜机技术领域,本实用新型专利技术通过膨胀阀和蒸发器对水流进行降温,同时使水流经过底盘管对真空镀膜机进行散热冷却,最后在由回流盘管将吸收热量后的水通过回路泵机在输回水箱的内部进行循环使用的设置,达到了可以将水流重复利用的功能,降低成本,节约水源;通过冷却水经过底盘管进入进水盘管的内部,在流入顶盘管和弧形盘管的内部,最后在通过回流盘管回流,使冷却水可以环绕真空镀膜机的多个方向进行吸热的设置,从而使热量可以从不同面被吸收,实现了提高真空镀膜机散热冷却效率的效果,从而可以快速对真空镀膜机进行冷却,提高实用性。提高实用性。提高实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用冷却结构


[0001]本技术属于真空镀膜机
,特别涉及一种真空镀膜机用冷却结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]目前,公开号为:CN215481220U的中国技术,公开了一种真空镀膜机用冷却结构,本技术涉及真空镀膜机
通过外冷却框包裹在真空镀膜机的外部,外冷却框与真空镀膜机的间隙处设为冷却间隙室,冷却间隙室的内部固定设置有固定连接块,真空镀膜机的外部表面上缠绕设置有螺纹冷却管,螺纹冷却管的输出端与第二连接管的一端相连,第二连接管的另一端与冷却器的输入端之间相连,冷却器的输出端与第一连接管的一端相连,第一连接管的另一端与水泵的输入端之间相连,水泵的输出端与螺纹冷却管的输入端之间相连,解决了现有的真空镀膜机散热较多采用自然冷却,效果较差,导致工作效率低,很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏,影响真空镀膜机的使用寿命的问题。
[0004]目前对于真空镀膜机的散热冷却方式主要有自然冷却、风冷、水冷三种,其中水冷的方式效果最为明显,但是成本也较高,现有的水冷方式由于水流管主要排列在真空镀膜机的顶部或底部,导致水流只能从一面方向进行吸热,散热效率较低;同时由于在水源将真空镀膜机内部的热量吸收过后,往往水温较高,现有通常为了效率往往直接将热水排放,重新泵吸冷水,但是这种方式十分浪费水资源,并且重新泵吸虽然效率更快,但是泵机消耗的能源也比较多,使的冷却成本增加。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种真空镀膜机用冷却结构,其优点是提高真空镀膜机的散热冷却效率和可以将水流重复利用的功能。
[0006]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种真空镀膜机用冷却结构,包括安装底座,所述安装底座内部的一侧固定安装有输水泵机,所述输水泵机的输出端固定连通有膨胀阀,所述输水泵机的输入端连通有水箱,所述膨胀阀远离输水泵机的一端连通有蒸发器,所述蒸发器的顶部连通有同安装底座栓接的底盘管,所述底盘管远离蒸发器的一端连通有进水盘管,所述进水盘管远离底盘管的一端连通有顶盘管,所述顶盘管远离进水盘管的一端连通有回流盘管,所述进水盘管和回流盘管的一侧均对称固定连通有两个弧形盘管,所述安装底座内部的一侧固定安装有同膨胀阀和蒸发器配合使用的冷凝器。
[0007]采用上述技术方案,通过膨胀阀和蒸发器对水流进行降温,同时使水流经过底盘管对真空镀膜机进行散热冷却,最后在由回流盘管将吸收热量后的水通过回路泵机在输回水箱的内部进行循环使用的设置,达到了可以将水流重复利用的功能,降低成本,节约水
源;通过冷却水经过底盘管进入进水盘管的内部,在流入顶盘管和弧形盘管的内部,最后在通过回流盘管回流,使冷却水可以环绕真空镀膜机的多个方向进行吸热的设置,从而使热量可以从不同面被吸收,实现了提高真空镀膜机散热冷却效率的效果,从而可以快速对真空镀膜机进行冷却,提高实用性。
[0008]本技术进一步设置为:所述回流盘管远离顶盘管的一端连通有回路泵机,所述回路泵机输出端和输水泵机的输入端与水箱之间均设置有相互连通的弹簧管。
[0009]采用上述技术方案,通过开启回路泵机可以提高水流回流的速度,同时通过弹簧管使回路泵机和输水泵机与水箱连通可以,使其之间的距离进行伸缩。
[0010]本技术进一步设置为:所述安装底座内部的另一侧滑动连接有同水箱配合使用的滑盒,所述滑盒的远离安装底座的一侧栓接有把手。
[0011]采用上述技术方案,便于拉动滑盒,并在滑盒拉出安装底座的内部时,可以对水箱的内部补充水源。
[0012]本技术进一步设置为:所述水箱顶部的一侧螺纹连接有帽盖,所述帽盖的表面开设有防滑纹。
[0013]采用上述技术方案,增加摩擦力,便于转动帽盖对水箱的内部补充水源。
[0014]本技术进一步设置为:所述安装底座的顶部设置有顶盘管配合使用的顶框架,所述底盘管、进水盘管、顶盘管、弧形盘管、回流盘管均分别通过安装底座和顶框架安装在真空镀膜机的内部。
[0015]采用上述技术方案,通过将真空镀膜机内部的镀膜结构,安装在进水盘管和弧形盘管的内部,并将外壳安装在表面即可。
[0016]本技术进一步设置为:所述安装底座的顶部和顶框架的底部均固定安装有分别通底盘管和顶盘管配合使用的吸热板。
[0017]采用上述技术方案,可以提高吸热效率。
[0018]本技术进一步设置为:所述冷凝器远离安装底座的一侧栓接有过滤窗。
[0019]采用上述技术方案,便于通风,同时减少灰尘进入。
[0020]本技术进一步设置为:所述底盘管、进水盘管、顶盘管、弧形盘管、回流盘管的材质均为型材铝。
[0021]采用上述技术方案,提高吸热和散热的效率,同时便于制造。
[0022]综上所述,本技术具有以下有益效果:
[0023]1、通过膨胀阀和蒸发器对水流进行降温,同时使水流经过底盘管对真空镀膜机进行散热冷却,最后在由回流盘管将吸收热量后的水通过回路泵机在输回水箱的内部进行循环使用的设置,达到了可以将水流重复利用的功能,降低成本,节约水源;
[0024]2、通过冷却水经过底盘管进入进水盘管的内部,在流入顶盘管和弧形盘管的内部,最后在通过回流盘管回流,使冷却水可以环绕真空镀膜机的多个方向进行吸热的设置,从而使热量可以从不同面被吸收,实现了提高真空镀膜机散热冷却效率的效果,从而可以快速对真空镀膜机进行冷却,提高实用性。
附图说明
[0025]图1是本技术结构示意图;
[0026]图2是本技术结构一侧剖视图;
[0027]图3是本技术图2中的A处放大图。
[0028]附图标记:1、安装底座;2、水箱;3、输水泵机;4、膨胀阀;5、蒸发器;6、底盘管;7、进水盘管;8、顶盘管;9、弧形盘管;10、回流盘管;11、冷凝器;12、回路泵机;13、弹簧管;14、滑盒;15、把手;16、帽盖;17、吸热板;18、过滤窗;19、顶框架。
具体实施方式
[0029]以下结合附图对本技术作进一步详细说明。
[0030]实施例1:
[0031]参考图1、图2、图3,一种真空镀膜机用冷却结构,包括安装底座1,安装底座1内部的一侧固定安装有输水泵机3,输水泵机3的输出端固定连通有膨胀阀4,输水泵机3的输入端连通有水箱2,膨胀阀4远离输水泵机3的一端连通有蒸发器5,蒸发器5的顶部连通有同安装底座1栓接的底盘管6,底盘管6远离蒸发器5的一端连通有进水盘管7,进水盘管7远离底盘管6的一端连通有顶盘管8,顶盘管8远离进水盘管7的一端连通有回流盘管10,进水盘管7和回流盘管10的一侧均对称固定连通有两个弧形盘管9,安装本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用冷却结构,包括安装底座(1),其特征在于:所述安装底座(1)内部的一侧固定安装有输水泵机(3),所述输水泵机(3)的输出端固定连通有膨胀阀(4),所述输水泵机(3)的输入端连通有水箱(2),所述膨胀阀(4)远离输水泵机(3)的一端连通有蒸发器(5),所述蒸发器(5)的顶部连通有同安装底座(1)栓接的底盘管(6),所述底盘管(6)远离蒸发器(5)的一端连通有进水盘管(7),所述进水盘管(7)远离底盘管(6)的一端连通有顶盘管(8),所述顶盘管(8)远离进水盘管(7)的一端连通有回流盘管(10),所述进水盘管(7)和回流盘管(10)的一侧均对称固定连通有两个弧形盘管(9),所述安装底座(1)内部的一侧固定安装有同膨胀阀(4)和蒸发器(5)配合使用的冷凝器(11)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却结构,其特征在于:所述回流盘管(10)远离顶盘管(8)的一端连通有回路泵机(12),所述回路泵机(12)输出端和输水泵机(3)的输入端与水箱(2)之间均设置有相互连通的弹簧管(13)。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却结构,其特征在于:所述安装底座(1)内部的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员:何清
申请(专利权)人:成都金典真空设备有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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