本实用新型专利技术公开了一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置，包括外壳，所述外壳的内壁上固定连接有固定箱，所述固定箱的侧壁上固定连接有减速电机，所述减速电机的输出端贯穿固定箱的侧壁并固定连接有蜗杆，所述蜗杆上啮合连接有蜗轮。本实用新型专利技术，通过减速电机、蜗杆和蜗轮的配合设置，可以带动双向螺纹杆转动，双向螺纹杆通过螺纹套和两个连接杆可以带动第一L型挡板和第二L型挡板相对移动并相抵，通过第一L型挡板和第二L型挡板可以对靶材进行遮挡，防止靶材的靶面受到污染，不影响真空镀膜机的正常使用，从而提高了装置的实用性，而且此时插板会插入到卡槽中，增加密封性，进一步提高对靶材遮挡的效果，防止靶材受到污染。染。染。
【技术实现步骤摘要】
一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置
[0001]本技术涉及真空镀膜机阴极保护装置
，尤其涉及一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]现有的真空镀膜机不能很好的对靶面进行遮挡，容易导致靶面受到污染，影响真空镀膜机的正常使用，从而降低装置的实用性。
[0004]针对上述问题，我们提出一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中“现有的真空镀膜机不能很好的对靶面进行遮挡，容易导致靶面受到污染，影响真空镀膜机的正常使用，从而降低装置的实用性”的缺陷，从而提出一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置，包括外壳，所述外壳的内壁上固定连接有固定箱，所述固定箱的侧壁上固定连接有减速电机，所述减速电机的输出端贯穿固定箱的侧壁并固定连接有蜗杆，所述蜗杆上啮合连接有蜗轮，所述蜗轮的中心处水平固定穿插有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆上对称啮合连接有两个螺纹套，每个所述螺纹套的上端面均固定连接有连接杆，所述固定箱的上端面对称开设有两个滑孔，两个所述连接杆的上端均贯穿滑孔并分别固定连接有第一L型挡板和第二L型挡板，所述外壳的内壁上固定安装有靶材。
[0008]优选的，所述第一L型挡板的右侧开设有卡槽，所述第二L型挡板的左侧固定连接有插板，所述插板的左端抵在卡槽中。
[0009]优选的，所述第一L型挡板和第二L型挡板的一侧均固定连接有滑块，所述外壳的内壁上对称开设有两个限位槽，每个所述滑块均滑动连接在限位槽中。
[0010]优选的，所述蜗杆背离减速电机的一端转动连接在固定箱的内壁上，两个所述连接杆均滑动连接在滑孔中。
[0011]优选的，所述第一L型挡板和第二L型挡板的下端均滑动连接在固定箱的上端面上，所述第一L型挡板和第二L型挡板的上端均滑动连接在外壳的内壁上。
[0012]优选的，所述减速电机的下端面固定连接有底座，所述底座的一端固定连接在固定箱的侧壁上。
[0013]优选的，所述双向螺纹杆的两端均转动连接在固定箱的内壁上。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]通过减速电机、蜗杆和蜗轮的配合设置，可以带动双向螺纹杆转动，双向螺纹杆通过螺纹套和两个连接杆可以带动第一L型挡板和第二L型挡板相对移动并相抵，通过第一L型挡板和第二L型挡板可以对靶材进行遮挡，防止靶材的靶面受到污染，不影响真空镀膜机的正常使用，从而提高了装置的实用性，而且此时插板会插入到卡槽中，增加密封性，进一步提高对靶材遮挡的效果，防止靶材受到污染。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置的正面结构示意图；
[0017]图2为本技术提出的一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置闭合时固定箱处的俯视结构示意图；
[0018]图3为本技术提出的一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置展开时固定箱处的俯视结构示意图；
[0019]图4为本技术提出的图1中A处的放大结构示意图。
[0020]图中：1外壳、2固定箱、3减速电机、4蜗杆、5蜗轮、6双向螺纹杆、7螺纹套、8连接杆、9第一L型挡板、10第二L型挡板、11插板、12滑块、13靶材。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0022]在本技术的描中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图示的方位或位置关系，仅是为了便于描本技术和简化描，而不是指示或暗示指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]参照图1
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4，一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置，包括外壳1，外壳1的内壁上固定连接有固定箱2，固定箱2的侧壁上固定连接有减速电机3，减速电机3的输出端贯穿固定箱2的侧壁并固定连接有蜗杆4，蜗杆4上啮合连接有蜗轮5，蜗轮5的中心处水平固定穿插有双向螺纹杆6，双向螺纹杆6上对称啮合连接有两个螺纹套7，每个螺纹套7的上端面均固定连接有连接杆8，固定箱2的上端面对称开设有两个滑孔，两个连接杆8的上端均贯穿滑孔并分别固定连接有第一L型挡板9和第二L型挡板10，外壳1的内壁上固定安装有靶材13，通过减速电机3、蜗杆4和蜗轮5的配合设置，可以带动双向螺纹杆6转动，双向螺纹杆6通过螺纹套7和两个连接杆8可以带动第一L型挡板9和第二L型挡板10相对移动并相抵，通过第一L型挡板9和第二L型挡板10可以对靶材13进行遮挡，防止靶材13的靶面受到污染，不影响真空镀膜机的正常使用，从而提高了装置的实用性，而且此时插板11会插入到卡槽中，增加密封性，进一步提高对靶材13遮挡的效果，防止靶材13受到污染。
[0024]其中，第一L型挡板9的右侧开设有卡槽，第二L型挡板10的左侧固定连接有插板11，插板11的左端抵在卡槽中，插板11插入到卡槽中可以增加密封性。
[0025]其中，第一L型挡板9和第二L型挡板10的一侧均固定连接有滑块12，外壳1的内壁
上对称开设有两个限位槽，每个滑块12均滑动连接在限位槽中，滑块12可以对第一L型挡板9和第二L型挡板10起到限位的作用。
[0026]其中，蜗杆4背离减速电机3的一端转动连接在固定箱2的内壁上，两个连接杆8均滑动连接在滑孔中，蜗杆4可以带动蜗轮5转动。
[0027]其中，第一L型挡板9和第二L型挡板10的下端均滑动连接在固定箱2的上端面上，第一L型挡板9和第二L型挡板10的上端均滑动连接在外壳1的内壁上，通过第一L型挡板9和第二L型挡板10可以对靶材13进行遮挡。
[0028]其中，减速电机3的下端面固定连接有底座，底座的一端固定连接在固定箱2的侧壁上，底座可以对减速电机3进行支撑。
[0029]其中，双向螺纹杆6的两端均转动连接在固定箱2的内壁上，双向螺纹杆6可以带动螺纹套7相对移动。
[0030]本技术中，装置闭合时，通过减速电机3可以带动蜗杆4转动，蜗杆4会带动蜗轮5转动，蜗轮5会带动双向螺纹杆6转动，双向螺纹杆6会带动两个螺纹套7相对移动，螺纹套7会带动两个连接杆8相对移动，连接杆8会带动第一L型挡板9和第二L型挡板10相对移动并相抵，通过第一L型挡板本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置，包括外壳(1)，其特征在于，所述外壳(1)的内壁上固定连接有固定箱(2)，所述固定箱(2)的侧壁上固定连接有减速电机(3)，所述减速电机(3)的输出端贯穿固定箱(2)的侧壁并固定连接有蜗杆(4)，所述蜗杆(4)上啮合连接有蜗轮(5)，所述蜗轮(5)的中心处水平固定穿插有双向螺纹杆(6)，所述双向螺纹杆(6)上对称啮合连接有两个螺纹套(7)，每个所述螺纹套(7)的上端面均固定连接有连接杆(8)，所述固定箱(2)的上端面对称开设有两个滑孔，两个所述连接杆(8)的上端均贯穿滑孔并分别固定连接有第一L型挡板(9)和第二L型挡板(10)，所述外壳(1)的内壁上固定安装有靶材(13)。2.根据权利要求1所述的一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置，其特征在于，所述第一L型挡板(9)的右侧开设有卡槽，所述第二L型挡板(10)的左侧固定连接有插板(11)，所述插板(11)的左端抵在卡槽中。3.根据权利要求1所述的一种可伸展收缩型真空镀膜机用阴极保护装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：文晓斌，
申请(专利权)人：金迈克潍坊新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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