腔体传输阀及多腔体镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种腔体传输阀及多腔体镀膜设备，旨在解决射频功率进入相邻腔体导致功率损耗的问题。本实用新型专利技术提供的腔体传输阀用于封堵两个腔体之间的通道，包括密封板、屏蔽环和密封圈；屏蔽环和密封圈安装于密封板；屏蔽环抵接于腔体的侧壁，密封圈抵接于腔体的侧壁；屏蔽环、密封板和腔体均可导电。本实用新型专利技术提供的腔体传输阀通过在密封板安装密封圈的一侧同时设置屏蔽环以消除密封板和腔体之间的间隙，并使腔体、屏蔽环和密封板形成电流回路，从而使射频电磁波无法向相邻的腔体泄漏，避免了射频功率从密封圈处进入相邻的腔体，避免了功率损耗，降低了工艺成本。了工艺成本。了工艺成本。

【技术实现步骤摘要】
腔体传输阀及多腔体镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种腔体传输阀及多腔体镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜领域中通常采用多腔体分布的PECVD镀膜设备，相邻的两个腔体间设置有门阀，镀膜基板通过门阀在两个腔体之间传送。工艺腔在工艺过程中门阀保证关闭，来隔绝相邻的两个腔体内的气氛，此时工艺腔体内施加射频功率，用于激发产生等离子体，但现有的门阀仅能隔断气阀，不能阻挡射频功率传导至相邻的腔体内，导致射频功率的损耗，引起工艺成本增加，同时还有可能造成相邻腔体异常放电，其内部的气体发生解离，进而对该区域造成污染以及产生电路干扰和部件损坏。即现有的门阀存在无法阻隔射频功率传导至相邻腔体，导致功率损耗，增加工艺成本的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种腔体传输阀及多腔体镀膜设备，以解决射频功率进入相邻腔体导致功率损耗的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供的技术方案在于：
[0005]本技术提供了一种腔体传输阀，用于封堵两个腔体之间的通道，包括密封板、屏蔽环和密封圈；屏蔽环和密封圈安装于密封板；屏蔽环抵接于腔体的侧壁，密封圈抵接于腔体的侧壁；屏蔽环、密封板和腔体均可导电。
[0006]进一步的，密封板上设置有第一环形槽和第二环形槽，屏蔽环卡接于第一环形槽，密封圈卡接于第二环形槽；或者，屏蔽环卡接于第二环形槽，密封圈卡接于第一环形槽。
[0007]进一步的，第一环形槽的截面为燕尾槽形，第二环形槽的截面为燕尾槽形。
[0008]进一步的，屏蔽环、密封板和腔体均采用金属材料制成。
[0009]进一步的，密封板上设置有加强筋。
[0010]进一步的，屏蔽环设置为首尾两端连接以形成环形结构，且屏蔽环具有弹性。
[0011]进一步的，腔体传输阀还包括伸缩杆，伸缩杆一端铰接于密封板，另一端铰接于腔体的侧壁；密封板铰接于腔体的侧壁，伸缩杆带动密封板摆动。
[0012]进一步的，腔体传输阀还包括连接轴和扭簧，连接轴插装于密封板和腔体的侧壁，密封板可绕连接轴的轴线摆动；扭簧套装于连接轴；扭簧一端与腔体的侧壁连接，另一端与密封板连接，配置为向密封板施加推力使密封板抵接于腔体的侧壁。
[0013]进一步的，腔体传输阀还包括横向移动单元和纵向移动单元；密封板安装于横向移动单元，横向移动单元安装于纵向移动单元；横向移动单元用于带动密封板沿垂直于密封板的方向移动，纵向移动单元可带动横向移动单元沿竖直方向移动。
[0014]本技术的另一方面，提供了一种多腔体镀膜设备，包括上述的腔体传输阀。
[0015]综合上述技术方案，本技术所能实现的技术效果在于：
[0016]本技术提供的腔体传输阀用于封堵两个腔体之间的通道，包括密封板、屏蔽环和密封圈；屏蔽环和密封圈安装于密封板；屏蔽环抵接于腔体的侧壁，密封圈抵接于腔体的侧壁；屏蔽环、密封板和腔体均可导电。
[0017]现有的门阀仅通过设置密封圈隔绝气氛，而密封圈的设置会导致密封板和腔体之间存在不导电的间隙，两者无法接触以形成电流回路，射频电磁波会从两者的间隙进入相邻腔体。
[0018]本技术提供的腔体传输阀通过在密封板安装密封圈的一侧同时设置屏蔽环以消除密封板和腔体之间的间隙，并使腔体、屏蔽环和密封板形成电流回路，从而使射频电磁波无法向相邻的腔体泄漏，避免了射频功率从密封圈处进入相邻的腔体，避免了功率损耗，降低了工艺成本，同时避免了对相邻腔体的影响，消除了污染、电路干扰以及部件损坏的风险，提高了产品质量，降低了维护成本。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术实施例提供的腔体传输阀的结构示意图；
[0021]图2为密封板的结构示意图；
[0022]图3为密封板的断面图；
[0023]图4为本技术实施例提供的腔体传输阀的另一结构示意图；
[0024]图5为本技术实施例提供的腔体传输阀的又一结构示意图；
[0025]图6为本技术实施例提供的多腔体镀膜设备的结构示意图。
[0026]图标：100
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密封板；200
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屏蔽环；300
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密封圈；400
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连接轴；500
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伸缩杆；600
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横向移动单元；700
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纵向移动单元；800
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连接件；110
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第一环形槽；120
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第二环形槽；130
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加强筋；10
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阀体；20
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工艺腔体；30
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通道；40
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射频电源；50
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气源；60
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上电极；70
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镀膜基板；80
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下电极；90
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腔体传输阀。
具体实施方式
[0027]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0028]下面结合附图，对本技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0029]现有的多腔体PECVD镀膜设备中，相邻的两个腔体间设置有门阀，镀膜基板通过门阀在两个腔体之间传送，工艺腔在工艺过程中门阀保证关闭，来隔绝两个腔体内的气氛，但此时腔体内施加的射频功率会传导至两侧相邻的腔体内，导致功率的损耗，使得工艺成本增加。
[0030]有鉴于此，本技术提供了一种本技术提供的腔体传输阀用于封堵两个腔体之间的通道30，包括密封板100、屏蔽环200和密封圈300；屏蔽环200和密封圈300安装于密封板100；屏蔽环200和密封圈300均抵接于腔体的侧壁；屏蔽环200、密封板100和腔体均可导电。
[0031]现有的门阀仅通过设置密封圈300隔绝气氛，而密封圈300的设置会导致密封板100和腔体之间存在不导电的间隙，两者无法接触以形成电流回路，射频电磁波会从两者的间隙进入相邻腔体。
[0032]本技术提供的腔体传输阀通过在密封板100安装密封圈300的一侧同时设置屏蔽环200以消除密封板100和腔体之间的间隙，并使腔体、屏蔽环200和密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种腔体传输阀，用于封堵两个腔体之间的通道(30)，其特征在于，包括密封板(100)、屏蔽环(200)和密封圈(300)；所述屏蔽环(200)和所述密封圈(300)安装于所述密封板(100)；所述屏蔽环(200)抵接于所述腔体的侧壁，所述密封圈(300)抵接于所述腔体的侧壁；所述屏蔽环(200)、所述密封板(100)和所述腔体均可导电。2.根据权利要求1所述的腔体传输阀，其特征在于，所述密封板(100)上设置有第一环形槽(110)和第二环形槽(120)，所述屏蔽环(200)卡接于所述第一环形槽(110)，所述密封圈(300)卡接于所述第二环形槽(120)；或者，所述屏蔽环(200)卡接于所述第二环形槽(120)，所述密封圈(300)卡接于所述第一环形槽(110)。3.根据权利要求2所述的腔体传输阀，其特征在于，所述第一环形槽(110)的截面为燕尾槽形，所述第二环形槽(120)的截面为燕尾槽形。4.根据权利要求1所述的腔体传输阀，其特征在于，所述屏蔽环(200)、所述密封板(100)和所述腔体均采用金属材料制成。5.根据权利要求1所述的腔体传输阀，其特征在于，所述密封板(100)上设置有加强筋(130)。6.根据权利要求1所述的腔体传输阀，其特征在于，所述屏蔽环(200)设置为首尾两端连接以形成环形结构，且所述屏蔽环(200...

【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，王登志，陈晨，房现飞，李鑫，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：