一种离子植入机以及监测离子植入机中离子束的方法，方法包括：提供离子植入机；将晶圆放置于所述第一面；在离子源发射离子束的过程中，晶圆托盘承载着晶圆在植入区域中沿第二方向移动并经过延展区，第二方向垂直于第一方向，第二面朝向离子源，盘中心轴垂...

本公开涉及一种图像传感器及其制造方法。用于制造图像传感器的方法包括：在像素晶片的第一面形成第一光电二极管区域；在像素晶片的所述第一面上形成至少一个外延层，所述至少一个外延层中形成有第二光电二极管区域，所述第二光电二极管区域与所述第一光电...

本公开涉及一种堆叠型背照式图像传感器及其制造方法和成像装置。一种堆叠型背照式图像传感器包括：第一电路；第二电路，其中所述第一电路产生的热量大于所述第二电路产生的热量；以及散热件，所述散热件包括对应于所述第一电路设置的第一散热部，所述第一...

本公开涉及图像传感器及其形成方法和操作方法。图像传感器包括衬底和像素单元。每个像素单元包括栅极结构、彼此分离地设置在衬底中邻近上表面处的多个浮置扩散区、彼此分离地设置在多个浮置扩散区下方的多个光电二极管、以及设置在浮置扩散区与光电二极管...

一种离子注入能量的监测方法和半导体结构，所述离子注入能量的监测方法，在半导体衬底上形成第一阻挡层；在所述第一阻挡层上形成半导体材料层；在所述半导体材料层上形成第二阻挡层；在一待监测注入能量下，在第二阻挡层、半导体材料层和第一阻挡层中注入...

一种图像传感器的形成方法，方法包括：提供衬底；在所述衬底表面形成掩膜层，所述掩膜层内具有第一开口，所述第一开口暴露出部分衬底表面；以所述掩膜层为掩膜，在所述衬底内形成第一掺杂层，所述第一掺杂层内具有第一离子；以所述掩膜层为掩膜，采用多次...

本实用新型提供了一种匀气装置以及半导体工艺设备，所述匀气装置包括：具有空腔部和第一外沿部的箱体，所述空腔部具有位于中心的第一气孔以及围绕在所述第一气孔周围的密封空腔，所述第一外沿部围绕在所述空腔部的外侧壁上；以及，具有第一凹槽部和第二外...

本实用新型提供了一种晶圆抓取装置及半导体工艺设备，所述晶圆抓取装置包括：机械臂，具有设置于所述机械臂上的光线反射器，用于从晶圆盒中抓取晶圆的前端，以及，连接所述前端并带动所述前端运动的后端；用于驱动所述机械臂运动的电机，所述电机连接所述...

本实用新型提供了一种泵拆装治具以及半导体工艺设备，所述泵拆装治具包括：用于固定泵的固定装置；用于监测所述泵和一工艺腔体间的相对位置的位置检测装置，所述位置检测装置安装在所述工艺腔体一侧和/或所述固定装置一侧；用于带动所述固定装置在水平方...

本实用新型提供了一种研磨头清洗及晶圆装卸装置，所述研磨头清洗及晶圆装卸装置包括：清洗单元、清洗槽和多个保护柱，所述清洗单元设于所述清洗槽的底部，所有所述保护柱布置在所述清洗槽内且分散设于所述清洗单元上。当晶圆受到研磨头的压力时，多个所述...

该实用新型涉及一种具有温度调整功能的承载盘组件及机械手臂，具有温度调整功能的承载盘组件，包括承载盘以及设置在承载盘上的制冷片，其中，承载盘具有晶圆放置位，用于放置晶圆；制冷片设置于承载盘表面，用于对承载盘上放置的晶圆进行加热或制冷。本实...

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种蚀刻装置。所述蚀刻装置包括：盘盖；盘盖外框，位于所述盘盖上方，至少一横梁固定于所述盘盖外框；连接组件，用于连接所述横梁与所述盘盖；升降机，连接所述盘盖外框，用于控制所述盘盖外框沿竖直方向进行...

本公开涉及图像传感器及其制造方法以及成像装置。提供了一种图像传感器，包括：图像传感器，其特征在于包括：第一像素，包括第一微透镜和在第一微透镜的下方的被配置成感测第一波长范围的辐射的第一辐射感测元件；第二像素，包括第二微透镜和在第二微透镜...

一种图像传感器及其形成方法，所述图像传感器包括：半导体衬底，所述半导体衬底具有光电感应单元；多个第一光电二极管，位于所述光电感应单元内，且围绕所述光电感应单元的中心轴分布；控制栅极，位于所述光电感应单元，所述控制栅极自所述半导体衬底表面...

一种图像传感器及其形成方法，图像传感器包括：基底，所述基底包括中间区和包围所述中间区的外围区，所述中间区包括若干相互分立的第一像素区、以及位于相邻第一像素区之间的第一隔离区，所述外围区包括若干相互分立的第二像素区、以及位于相邻第二像素区...

本申请提供一种图像传感器及其制作方法，所述的图像传感器包括：半导体衬底，所述半导体衬底中形成有感光元件和浮置扩散区；传输栅结构，位于所述半导体衬底表面；其中，所述半导体衬底以及所述感光元件的部分区域中设置有应力层，所述浮置扩散区也设置有...

一种图像传感器及其形成方法、电荷量确定方法，所述图像传感器包括：半导体衬底，所述半导体衬底内具有光电二极管；网格状的格栅结构，位于所述半导体衬底的表面，所述格栅结构具有多个格栅开口；多个滤色镜结构，与所述多个格栅开口一一对应，每个滤色镜...

一种半导体结构及其形成方法，其形成方法包括提供半导体衬底，所述半导体衬底包括器件区和围绕所述器件区的密封区，所述半导体衬底具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面；在所述密封区的所述半导体衬底第一表面形成密封圈，在所述器件区的所述半...

本公开涉及晶圆夹持装置和卡盘。提供一种晶圆夹持装置，用于安装在卡盘上以夹持晶圆，其特征在于，所述晶圆夹持装置包括：基座，用于与卡盘连接；两个或更多个夹持顶针，设置在所述基座的上表面，所述夹持顶针的侧面能够与所述晶圆的侧面相接触，用于夹持...

本公开涉及用于定位探针的装置、卡盘装置及方法。一种用于定位探针的装置，其特征在于，所述装置包括模具，所述模具包括两个或更多个条状物，其中所述装置能够相对于所述探针移动，使得所述探针插入到所述模具内以及从所述模具内拔出，并且所述两个或更多...