用于定位探针的装置、卡盘装置及方法制造方法及图纸

本公开涉及用于定位探针的装置、卡盘装置及方法。一种用于定位探针的装置，其特征在于，所述装置包括模具，所述模具包括两个或更多个条状物，其中所述装置能够相对于所述探针移动，使得所述探针插入到所述模具内以及从所述模具内拔出，并且所述两个或更多个条状物能够相对于彼此移动，从而将探针定位在预定的位置。

Devices, chuck devices and methods for locating probes

【技术实现步骤摘要】
用于定位探针的装置、卡盘装置及方法
本公开涉及半导体制造领域，具体来说，涉及一种用于定位探针的装置、卡盘装置以及用于定位探针的方法。
技术介绍
在半导体制造中，需要利用探针对晶圆上的芯片进行各种处理。但是，在工程实践中，探针经常出现变形、移位等问题。因此，需要对探针进行调整。在现有技术中，通常是在需要时对探针进行人工调整。例如，通过镊子等简单工具对探针进行人工调整。这种人工调整的风险较高、难度较大、准确度和可靠性较差，不能很好地满足晶圆测试的需要。因此，存在对于新的技术的需求。
技术实现思路
本公开的目的之一是提供一种用于自动地定位探针的装置以及方法。根据本公开的一个方面，提供了一种用于定位探针的装置，其特征在于，所述装置包括模具，所述模具包括两个或更多个条状物，其中所述装置能够相对于所述探针移动，使得所述探针插入到所述模具内以及从所述模具内拔出，并且所述两个或更多个条状物能够相对于彼此移动，从而将探针定位在预定的位置。根据本公开的另一个方面，提供了一种用于定位探针的方法，其特征在于，所述方法包括：提供用于定位所述探针的装置，所述装置包括模具，所述模具包括两个或更多个条状物；使所述探针插入所述模具内；以及使所述两个或更多个条状物相对于彼此移动，从而将探针定位在预定的位置。根据本公开的又一个方面，提供了一种用于定位探针的卡盘装置，其特征在于，所述卡盘装置包括：卡盘；至少一个如前面所述的用于定位探针的装置，至少一个装置中的每一个都能够可拆卸地耦接在所述卡盘上。通过以下参照附图对本公开的示例性实施例的详细描述，本公开的其它特征及其优点将会变得更为清楚。附图说明构成说明书的一部分的附图描述了本公开的实施例，并且连同说明书一起用于解释本公开的原理。参照附图，根据下面的详细描述，可以更加清楚地理解本公开，其中：图1示出了根据本公开一个或多个示例性实施例的用于定位探针的装置的示意图。图2A-图2C示出了图1中示出的用于定位探针的装置的模具的一部分的示意图。图3示出了根据本公开一个或多个示例性实施例的用于定位探针的方法的流程图。图4示出了根据本公开一个或多个示例性优选实施例的用于定位探针的方法的流程图。图5示出了根据本公开一个或多个示例性实施例的用于定位探针的卡盘装置的示意图。注意，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在一些情况中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。为了便于理解，在附图等中所示的各结构的位置、尺寸及范围等有时不表示实际的位置、尺寸及范围等。因此，本公开并不限于附图等所公开的位置、尺寸及范围等。具体实施方式下面将参照附图来详细描述本公开的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本公开的范围。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本公开及其应用或使用的任何限制。也就是说，本文中的结构及方法是以示例性的方式示出，来说明本公开中的结构和方法的不同实施例。然而，本领域技术人员将会理解，它们仅仅说明可以用来实施的本公开的示例性方式，而不是穷尽的方式。此外，附图不必按比例绘制，一些特征可能被放大以示出具体组件的细节。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。图1示出了根据本公开一个或多个示例性实施例的用于定位探针130的装置100的示意图。在本公开的一个示例性实施例中，装置100包括模具110和底座120。在一些实施例中，装置100可以固定在卡盘(图1中未示出)上。为了清楚起见，图1中仅示意性地示出了一个探针130。但是，本领域技术人员应当理解，用于半导体制造工艺的探针一般包括多个探针130，并且根据本公开一个或多个示例性实施例的装置100可以用于同时对多个探针130进行自动定位。模具110设置在底座120上。在一些实施例中，底座120上可以设置有一个模具110。在其他实施例中，底座120上可以设置有两个或更多个模具110。本领域技术人员应当理解，模具110可以根据需要而具有任何合适的数量、形状和尺寸，并且可以根据需要而设置在底座120上的任何合适的位置，从而方便地对探针130进行定位。装置100可以相对于探针130移动，使得探针130插入到模具110内以及从模具110内拔出。当模具110用于定位探针130时，探针130插入到模具110内。在探针130被定位在预定的位置之后，探针130从模具110内拔出。在优选的实施例中，探针130保持静止，装置100相对于探针130向上或向下移动，使得探针130插入到模具110内或者从模具110内拔出。模具110包括两个或更多个条状物。为了清楚起见，两个或更多个条状物未在图1中示出，其具体构造将在下面详细描述。在探针130插入到模具110内之后，模具110中的两个或更多个条状物能够相对于彼此移动，从而将探针130自动地定位在预定的位置。由此，能够对探针130进行自动定位。与现有技术中的人工定位方式相比，本公开所提出的这种自动定位方式风险较低、难度较小、准确度和可靠性较高，有助于提高所制造的芯片的质量和成本效益。图2A-图2C示出了图1中示出的用于定位探针130的装置100的模具110的一部分的示意图。其中，图2A示出了模具110的一部分的透视图，图2B和图2C示出了模具110的一部分的俯视图。为了清楚起见，图2A-图2C仅示例性地示出模具110的一部分。例如，图2A仅示例性地示出了一个探针130以及模具110在该探针130附近的一部分。但是，本领域技术人员应当理解，模具110的其他部分可以具有与图2A中示例性示出的部分类似的构造，并且模具110可以用于同时对多个探针130进行自动定位。模具110包括两个或更多个条状物112。为了清楚起见，图2A-图2C中对条状物112和探针130的尺寸进行了适当放缩。本领域技术人员应当理解，图2A-图2C仅是示意性地示出条状物112的构造。条状物112可以根据需要而具有任何合适的形状和尺寸。在一些实施例中，如图2A-图2C所示，两个或更多个条状物112可以交织成网状结构。在优选的实施例中，两个或更多个条状物112可以交织成如图2A所示的井格状结构或者如图2B和图2C所示的梯状结构。本领域技术人员应当理解，图2A-图2C仅是示意性地示出两个或更多个条状物112所形成的网状结构的示例，并非意在以任何方式对网状结构的具体构造进行限定。两个或更多个条状物112可以根据需要而形成具有任何合适的构造的网状结构，用于对探针130进行自动定位。在一些实施例中，两个或更多个条状物112形成的网状结构中的网格的至少一部分与探针130的预定的位置相对应。当模具110用于定位探针130时，首先将模具110移动到预定的与探针130对应的位置，使得各个探针130的位置与模具110的网状结构中的各个网本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于定位探针的装置，其特征在于，所述装置包括模具，所述模具包括两个或更多个条状物，其中所述装置能够相对于所述探针移动，使得所述探针插入到所述模具内以及从所述模具内拔出，并且所述两个或更多个条状物能够相对于彼此移动，从而将探针定位在预定的位置。

【技术特征摘要】
1.一种用于定位探针的装置，其特征在于，所述装置包括模具，所述模具包括两个或更多个条状物，其中所述装置能够相对于所述探针移动，使得所述探针插入到所述模具内以及从所述模具内拔出，并且所述两个或更多个条状物能够相对于彼此移动，从而将探针定位在预定的位置。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述两个或更多个条状物交织成网状结构。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述两个或更多个条状物交织成井格状结构或梯状结构。4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述两个或更多个条状物相对于彼此移动时，所述网状结构能够收紧以及扩张。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述网状结构收紧时，能够驱动所述探针移动。...

【专利技术属性】
技术研发人员：王有亮，谢家红，熊望明，田茂，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32