本申请提供一种用于激光谐振腔工作气体的除尘装置，包括：至少与激光谐振腔相连通的、包括进气口和出气口的冷却腔室；冷却腔室包括复数个连通进气口和出气口的气流通道；待冷却气体经过气流通道时与气流通道壁接触发生热交换，使得待冷却气体温度降低。在...

本发明提供了一种径向梯度温度加热装置及其带绕铁芯涂层设备，径向梯度温度加热装置包括周向加热装置和端面隔热单元；所述周向加热装置套装在带绕铁芯的外圆上，用于对带绕铁芯的最外圈薄带进行加热；所述端面隔热单元布设在带绕铁芯轴向的两端，并紧贴靠...

本发明提供了一种纳米晶磁芯带材绝缘镀膜方法及其装备，镀膜过程中以及至少在镀膜液失去流动性前，带材宽度方向保持与水平面平行，在带材自下而上平稳移动中，将镀膜液附着在带材的两个表面，以及对带材表面的镀膜液进行加热直到至少使其失去流动性。本发...

本发明提供了一种放电腔的流道角度调节结构及其激光器，其中，放电腔的腔体内设置有导流罩、贯流风机和第一执行机构；所述导流罩包括主罩体和摆转罩板；所述摆转罩板面对贯流风机设置；摆转罩板内侧铰连接在所述主罩体上；第一执行机构用于驱动所述摆转罩...

本发明提供了一种阶梯温度加热装置及其带绕铁芯涂层设备，阶梯温度加热装置包括端面温度调控单元；端面温度调控单元用于布设在带绕铁芯轴向的两端，并紧贴靠在带绕铁芯的两个端面上；所述端面温度调控单元包括由吸热材料制成的蓄热模块，在带绕铁芯径向以...

本发明提供了流道宽度可调节的放电腔及其激光器，其中，放电腔的腔体内设置有：导流罩、贯流风机以及第一执行机构；导流罩包括远离所述贯流风机一侧的左罩体和靠近所述贯流风机一侧的右罩体；所述右罩体可活动设置；所述第一执行机构用于带动所述右罩体移...

本发明提供了一种带绕铁芯绝缘涂层制备方法，其包括步骤将表面未涂绝缘层的合金薄带绕制成铁芯；绕好的铁芯置于径向梯度温度场中加热，铁芯经保温后形成外圈温度高，内圈温度低的梯度型温度分布状态；将径向温度呈梯度分步的铁芯全部浸入涂层液中；将铁芯...

本申请实施例提供一种同轴电机驱动的控制方法及控制设备。在本申请实施例中，接收至少两个电机的驱动信息，根据驱动信息，通过对应的转速信息驱动至少两个电机中的一个电机；根据驱动信息，通过对应的转矩信息驱动至少两个电机中的其它电机。从而实现同轴...

本实用新型提供了一种长寿命电极及激光器，长寿命电极包括电极基带、辅助带和电极定位板；辅助带位于所述电极基带和/或电极定位板的局部区域内，本实用新型通过更改电极材料成分及内部结构，改变电极结构不同位置的散热能力，实现放电过程中放电区电极表...

本实用新型提供了一种短流程多路并联的放电腔散热结构及准分子激光器，短流程多路并联的放电腔散热结构包括放电腔、叶轮和散热管；所述叶轮沿左右方向布设在放电腔内；在前后方向上，所述叶轮靠近所述放电腔的后侧壁设置；所述散热管整体呈U型设置，所述...

本申请公开了一种脉冲展宽单元的装调装置，包括：可见光源器件、脉冲展宽单元、相位延迟元件、线偏振片和分划板；所述脉冲展宽单元包括分束元件和反射镜组；可见光源器件输出的输出光束入射到分束元件；所述分束元件将接收的输出光束分为第一反射光束和透...

本发明实施例提供了准分子激光器接口的测试方法及装置，该方法包括：通过预定接口接收测试信号，根据所述测试信号生成触发信号，并输出所述触发信号；根据预定频率检测是否接收到测试设备基于所述触发信号返回的反馈信号，所述反馈信号用于启动测试；若接...

本申请实施例提供一种激光器的气体控制方法及激光器。在本申请实施例中，在激光器正常放电进行出光的过程中，获取激光器的出光电压以及激光器的放电能量变化量；根据出光电压和/或放电能量变化量，确定是否对激光器的腔体中的工作气体进行注入。从而通过...

本申请实施例提供一种检测单片机外部中断异常的方法及单片机。在本申请实施例中，当基于单片机的标志位IO口产生外部中断的情况下，获取单片机其它标志位IO口的状态；当其它标志位IO口的状态为使单片机产生外部中断的状态，则确定单片机外部中断异常...

本发明实施例提供了软件的测试方法及装置，该方法包括：分割软件代码的各功能模块，根据预设定的第一参数值对各功能模块进行测试，得到各功能模块测试后的输出结果；根据所述输出结果，生成各功能模块各自对应的测试套件，并根据各个测试套件构造各测试套...

本申请实施例提供一种激光器的控制方法、装置及激光器。在本申请实施例中，在激光器无异常的情况下，获取开启指令，开启激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至开启状态，并将准备标置位进行置位；获取工作指令，控制激光器进行曝光，将出光信号位进...

本申请公开了一种气体激光器放电腔，包括：设置在放电腔壳体内部的相互平行的长条形第一电极和第二电极，放电腔壳体设置有至少一处观测窗口，并采用透明的耐腐材料制作的密封板密封。即本申请采用透明材质的密封板对观测窗口进行密封，从而工作人员可通过...

本发明公开了一种双腔准分子激光器的能量调节方法，包括以下步骤：S1：当前猝发信号检测到激光器的出光，触发中断，基于MO电压检测值和PA电压检测值，计算得到MO电压增量，并利用MO电压增量对PA电压进行闭环控制；S2：在当前猝发信号后的间...

本发明公开了一种镜片准直装置，包括校准组件和准直组件，校准组件，用于确定待准直镜片所处的主光路以及使准直组件的发射光线与主光路重合；准直组件，包括依次设置的激光器、第一狭缝和镜片组件，激光器发出的激光经第一狭缝后，入射到镜片组件，并经镜...

本实用新型公开一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，包括：沿激光光路传播方向依次设置的对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计；其中，对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计通过密封箱体密封在氮气环境中；对准镜和光学镜片安装在旋转台...