一种气体激光器放电腔及其调整检测系统、调整检测方法技术方案

本申请公开了一种气体激光器放电腔，包括：设置在放电腔壳体内部的相互平行的长条形第一电极和第二电极，放电腔壳体设置有至少一处观测窗口，并采用透明的耐腐材料制作的密封板密封。即本申请采用透明材质的密封板对观测窗口进行密封，从而工作人员可通过观测窗口对放电腔内部电极的放电情况进行观测，并且，由于观测窗口是沿第一电极和第二电极延伸方向设置的，便于通过观测窗口观察对电极调节的效果；本申请还提供一种与该放电腔结合的气体激光器放电腔调整检测系统及其调整检测方法，通过该调整检测系统及方法，可以充分利用所述放电腔的观测窗口，简单有效地对放电腔内的电极的调整。的调整。的调整。

【技术实现步骤摘要】
一种气体激光器放电腔及其调整检测系统、调整检测方法


[0001]本专利技术涉及激光
，尤其是涉及气体激光器放电腔及其调整检测系统，以及一种应用于该调整检测系统的调整检测方法。

技术介绍

[0002]气体激光器是以气体为工作物质的激光器，气体的激活粒子密度小，需要较大的体积工作物质才能获得足够的功率输出，因此气体激光器的体积一般比较庞大。气体激光器常用的且成熟的激励方式为纵向电激励，其结构是放电腔中安装两块长条的且平行的电极，工作气体处于两块平行电极中间，为了具有足够的输出功率，两块平行电极往往会做的很长，其电极间的放电是否均匀严重影响激光器输出的功率及光束质量。
[0003]大部分气体激光器的放电腔采用金属管结构，无法观察到其内部电极间的放电情况，因此很难保证激光器有足够的功率输出和合格的光束质量；由于气体激光器对于真空密封环境的要求，腔体不能随时打开，气体激光器在工作时存在高重复频率的高压放电，会产生放电粉尘，污染腔体表面，因此腔体表面的污染问题也是影响激光器正常工作的重要参数。

技术实现思路

>[0004]本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体激光器放电腔，包括：放电腔壳体和设置在所述放电腔壳体内部的相互平行的长条形第一电极和第二电极，其特征在于，所述放电腔壳体设置有至少一处观测窗口，所述观测窗口沿所述第一电极和第二电极延伸方向设置，并采用透明的耐腐材料制作的密封板密封。2.根据权利要求1所述的气体激光器放电腔，其特征在于，所述密封板通过榫槽结构安装于所述观测窗口，在所述榫槽结构的结合面设置有密封材料，以及在所述榫槽结构的连接处设置有用于密封的紧固件；其中，所述密封材料包括金属铟。3.根据权利要求2所述的气体激光器放电腔，其特征在于，所述密封板设置有斜向开孔的进气口与抽气口，以及通过螺纹与所述进气口及抽气口装配的进气嘴与抽气嘴，所述进气口和所抽气口处的外端面设有凹槽，所述进气嘴与所述抽气嘴上设有与所述凹槽相结合的凸起，在所述凹槽内与所述凸起处填充有密封材料，所述进气嘴和所述抽气嘴通过所述螺纹装配后通过所述密封材料金属铟实现气密密封。4.根据权利要求2所述的带观测窗的气体激光器放电腔，其特征在于，所述密封板内表面设置有用于抑制电极放电激波的随机楔形结构。5.根据权利要求1所述的气体激光器放电腔，其特征在于，所述长条上电极和下电极设置有用于调整电极平行度的调整机构。6.一种气体激光器放电腔的调整检测系统，其特征在于，包括：气体激光器放电腔、观测器以及一字型激光器；所述气体激光放电腔包括放电腔壳体和设置在所述放电腔壳体内部的相互平行的长条形第一电极和第二电极，所述放电腔壳体设置有至少一处观测窗口，所述观测窗口沿所述第一电极和第二电极延伸方向设置，所述观测窗口采用透明的耐腐材料制...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔令浩，张艳茹，常庆麒，江锐，徐向宇，李梦龙，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：