准分子激光器换镜片保护结构制造技术

本发明专利技术公开了准分子激光器换镜片保护结构，包括具有谐振腔(100)的腔体(1)，所述的谐振腔(100)内设有能对充入其内的气体进行激励以产生准分子激光的电极(2)，所述的腔体(1)上并位于谐振腔(100)的前后两侧分别设有窗口(3)，所述的窗口(3)位置设置有可拆卸的镜片组件(4)，所述的腔体(1)上设有能相对其转动并能打开或关闭窗口(3)的保护盖(5)，当镜片组件(4)连接到腔体(1)上时，所述的保护盖(5)打开窗口(3)，当镜片组件(4)从腔体(1)上拆下时，所述的保护盖(5)关闭窗口(3)。本发明专利技术结构简单，能够最大程度减少空气进入腔体内。能够最大程度减少空气进入腔体内。能够最大程度减少空气进入腔体内。

【技术实现步骤摘要】
准分子激光器换镜片保护结构


[0001]本专利技术涉及准分子激光器换镜片保护结构。

技术介绍

[0002]准分子激光器是一种气体激光器，其工作气体主要有氖气、氦气、氟气、氯化氢、氩气、氪气等气体混合而成。准分子激光器在生产过程中有个钝化的工艺，其目的是利用非常活泼的氟气与氯化氢气体所具有的强氧化性，通过高压放电形式激发氟气或氯化氢与激光器腔体内壁材料发生反应，从而在腔体内壁生成一层足够厚的氟化物或氯化物膜。该膜可以阻止氟气或氯化氢与激光器腔体内壁材料进一步发生反应，从而降低激光器产生准分子激光时其腔体内氟气或氯化氢消耗速度。但是，氟化物或氯化物膜一定不能与空气接触，否则空气中的水气会破坏该膜，从而导致激光器生成准分子激光时加快氟气或氯化氢消耗速度，使激光器的能量出现下降。
[0003]另外，激光器的腔体前后两侧设置有窗口，用于安装镜片组件，镜片组件包括具有镀有193nm、248nm或308nm高反射率的后腔镜组件和不镀膜的前腔镜组件。前腔镜组件和后腔镜组件无论在生产过程中还是后续维护(例如换气)过程中都有进行拆除和更换动作，而在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.准分子激光器换镜片保护结构，包括具有谐振腔(100)的腔体(1)，所述的谐振腔(100)内设有能对充入其内的气体进行激励以产生准分子激光的电极(2)，所述的腔体(1)上并位于谐振腔(100)的前后两侧分别设有窗口(3)，所述的窗口(3)位置设置有可拆卸的镜片组件(4)，其特征在于：所述的腔体(1)上设有能相对其转动并能打开或关闭窗口(3)的保护盖(5)，当镜片组件(4)连接到腔体(1)上时，所述的保护盖(5)打开窗口(3)，当镜片组件(4)从腔体(1)上拆下时，所述的保护盖(5)关闭窗口(3)。2.根据权利要求1所述的准分子激光器换镜片保护结构，其特征在于：所述的腔体(1)上并位于镜片组件(4)与保护盖(5)之间设有在安装镜片组件(4)到腔体(1)上时能被镜片组件(4)推动而相对腔体(1)滑动的顶推组件(6)，当安装镜片组件(4)到腔体(1)上时，顶推组件(6)向腔体(1)内侧滑动而顶推保护盖(5)旋转打开窗口(3)，当拆卸镜片组件(4)时，顶推组件(6)向腔体(1)外侧滑动而松开保护盖(5)并使得保护盖(5)旋转关闭窗口(3)，并且，当镜片组件(4)安装在腔体(1)上时，所述的保护盖(5)处于当顶推组件(6)松开保护盖(5)后保护盖(5)能够因其自身重力而自动旋转关闭窗口(3)的位置。3.根据权利要求2所述的准分子激光器换镜片保护结构，其特征在于：所述的顶推组件(6)包括能在腔体(1)内滑动的顶针(61)，所述的顶针(61)一端抵靠保护盖(5)，所述的顶针(61)另一端抵靠镜片组件(4)，并且所述的顶针(61)与腔体(1)之间设有在拆卸镜片组件(4)时能顶推顶针(61)向腔体(1)外侧滑动的弹簧(62)。4.根据权利要求3所述的准分子激光器换镜片保护结构，其特征在于：所述的顶针(61)上并与镜片组件(4)抵靠一端设有凸出于顶针(61)外周面的凸缘(63)，所述的腔体(1)上设有供顶针(61)在内滑动的顶针通...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱能伟，方晓东，游利兵，马跃，刘弘禹，罗凯平，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：发明
国别省市：