下载准分子激光器换镜片保护结构的技术资料

文档序号:37079680

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本发明公开了准分子激光器换镜片保护结构,包括具有谐振腔(100)的腔体(1),所述的谐振腔(100)内设有能对充入其内的气体进行激励以产生准分子激光的电极(2),所述的腔体(1)上并位于谐振腔(100)的前后两侧分别设有窗口(3),所述的窗...
该专利属于深圳技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳技术大学授权不得商用。

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