一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜，该激光反射镜包括镜片基材和镜片镀膜层，其中镜片镀膜层由作为连接层的第一镀膜层、作为主反射层的第二镀膜层和作为增强反射层的多层镀膜层叠加构成，金制成的第二镀膜层的厚度为100

【技术实现步骤摘要】
一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜


[0001]本技术涉及激光
，具体地说是一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜。

技术介绍

[0002]在射频板条二氧化碳激光器的谐振腔中，通常有两块平行相对设置的板条电极，电极两端各设置有一块激光反射镜，两两相对设置的电极和激光反射镜之间限定的空间就是激光增益区，正电极对负电极放电，激励其间的激光工作气体生成激光，激光增益区中生成的激光在两块激光反射镜之间循环反射不断放大，形成稳定的激光功率不断输出，激光反射镜在反射激光的过程中，会受到来自激光功率的冲击，当冲击功率达到激光反射镜的抗激光阈值时，激光反射镜表面的镀膜层就会被激光打坏，需更换激光反射镜后才能继续使用激光器。
[0003]现有技术中的激光反射镜的膜系结构如表一所示如下：
[0004]表一现有技术中激光反射镜的膜系结构
[0005]镜片结构材料厚度第五镀膜层ZnSe1103nm第四镀膜层YF31828nm第三镀膜层ZnSe110nm第二镀膜层Au50nm第一镀膜层Cr20nm镜片基材Si1mm
[0006]如上所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜，该激光反射镜包括镜片基材（1）和镜片镀膜层（2），其特征在于：所述的镜片镀膜层（2）由作为连接层的第一镀膜层（21）、作为主反射层的第二镀膜层（22）和作为增强反射层的多层镀膜层叠加构成，金制成的第二镀膜层（22）的厚度为100
±
0.5nm，所述增强反射层由硒化锌制成的镀膜层间隔叠加氟化镱制成的镀膜层构成，与第二镀膜层（22）相邻的硒化锌制成的镀膜层的厚度为110
±
0.5nm、其余硒化锌制成的镀膜层和氟化镱制成的镀膜层的厚度为1300
±
1nm～1400
±
1nm。2.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜，其特征在于：与第二镀膜层（22）相邻的硒化锌制成的镀膜层之外，其余硒化锌制成的镀膜层的厚度大于氟化镱制成的镀膜层的厚度。3.根据权利要求2所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜，其特征在于：与第二镀膜层（22）相邻的硒化锌制成的镀膜层之外，其余硒化锌制成的镀膜层和氟化镱制成的镀膜层的厚度之差不超过20
±
1nm。4.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜，其特征在于：与第二镀膜层（22）相邻的硒化锌制成的镀膜层之外的其余硒化锌制成的镀膜层的厚度相同。5.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜，其特征在于：氟化镱制成的镀膜层的厚度相同。6.根据权利要求1

【专利技术属性】
技术研发人员：唐友清，王金恒，
申请(专利权)人：南京晨锐腾晶激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：