脉冲展宽单元的装调装置制造方法及图纸

本申请公开了一种脉冲展宽单元的装调装置，包括：可见光源器件、脉冲展宽单元、相位延迟元件、线偏振片和分划板；所述脉冲展宽单元包括分束元件和反射镜组；可见光源器件输出的输出光束入射到分束元件；所述分束元件将接收的输出光束分为第一反射光束和透射光束；第一反射光束经反射透镜组后入射到分束元件的出射面，经出射面反射后与透射光束共同照射至分划板；所述线偏振片，设置在透射光束出射的光路中，其透光方向与从分束元件透射的透射光束偏振方向的夹角满足如下条件：消除透射光束的部分能量；所述相位延迟元件，设置在第一反射光束入射到分束元件的出射面之前的光路中，用于将第一反射光束的偏振方向旋转与所述夹角相同的角度。相同的角度。相同的角度。

【技术实现步骤摘要】
脉冲展宽单元的装调装置


[0001]本申请涉及光学
，具体涉及一种脉冲展宽单元的装调装置。

技术介绍

[0002]ArF准分子激光器在集成电路制造领域应用广泛。准分子激光器需要依靠气体高压放电产生深紫外激光辐射，受限于辉光放电时间，由放电腔产生的激光脉冲宽度大约为10ns。为了保证光源在能量方法过程之后实现良好的传输，降低后续传输过程各种光学元件的光致损伤，提高光学元件的使用寿命，需要通过激光脉冲展宽装置从时域展宽激光脉冲，降低激光辐照峰值功率密度。脉冲展宽单元实现脉冲展宽的原理为多镜互耦成像激光延迟机制。脉冲展宽单元中包含多个反射镜。目前浸没式光刻机所用的准分子激光器所配备的脉冲展宽单元一般需要12面甚至更多的反射镜。这些反射镜需要精确地安装到指定位置，以组成精确的延迟光路，使各路激光在到达脉冲展宽单元出口时能够精确重合。
[0003]准分子激光器所配备的脉冲展宽单元的装调非常困难。装调困难的主要原因如下：1、准分子激光器所配备的脉冲展宽单元的反射镜镀膜为针对193nm波段的高反膜，对可见光波段的光束反射率在4
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种脉冲展宽单元的装调装置，其特征在于，包括：可见光源器件、脉冲展宽单元、相位延迟元件、线偏振片和分划板；所述脉冲展宽单元包括分束元件和反射镜组；所述可见光源器件输出的输出光束入射到所述分束元件；所述分束元件将接收的输出光束分为第一反射光束和透射光束；所述第一反射光束经所述反射透镜组后入射到所述分束元件的出射面，经所述出射面反射后与所述透射光束共同照射至所述分划板；所述线偏振片，设置在所述透射光束出射的光路中，其透光方向与从分束元件透射的透射光束偏振方向的夹角满足如下条件：消除透射光束的部分能量；所述相位延迟元件，设置在所述第一反射光束入射到所述分束元件的出射面之前的光路中，用于将所述第一反射光束的偏振方向旋转与所述夹角相同的角度。2.根据权利要求1所述的脉冲展宽单元装调装置，其特征在于，所述可见光源器件，设置在脉冲展宽单元的腔体上，所述腔体为机械基准；所述可见光源器件的输出光束与脉冲展宽单元的入口光路同心。3.根据权利要求2所述的脉冲展宽单元装调装置，其特征在于，所述可见光源器件为激光器，所述激光器的输出光束的波长在可见光波段范围内。4.根据权利要求2所述的脉冲展宽单元装调装置，其特征在于，所述激光器的偏振方向为水平方向。5.根据权利要求2所述的脉冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓马，徐向宇，张艳茹，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：