针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，包括：沿激光光路传播方向依次设置的对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计；其中，对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计通过密封箱体密封在氮气环境中；对准镜和光学镜片安装在旋转台上，对准镜与光学镜片以固定角度设置；深紫外激光器的出射光经光学镜片透射，透射光入射到偏振检测镜上，能量计用于检测偏振检测镜反射光的能量；以激光入射至光学镜片的法线为旋转轴旋转光学镜片，当能量计检测到的能量最小时，为光学镜片的最小退偏角度位置。本实用新型专利技术的测定装置，组件简单，价格低廉、质量轻、体积小，可重复使用，并能对不同的光学镜片进行测定，提高了装置的使用效率。装置的使用效率。装置的使用效率。

【技术实现步骤摘要】
针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置


[0001]本技术属于光学器件
，尤其涉及一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置。

技术介绍

[0002]目前集成电路光刻工艺使用的准分子光刻光源输出波长为193nm和248nm深紫外激光，激光脉冲能量达到10mJ以上，重复频率达到4000
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6000Hz。深紫外激光的波长短，单光子能量大，且脉冲宽度短，对其中的光学镜片损伤较大，影响光学系统中光学镜片的寿命。光学镜片因此一般使用深紫外级氟化钙材料制成，但是由于氟化钙晶体的双折射、两面不平行等因素，193nm、248nm等深紫外激光经过这些光学镜片后会出现退偏问题。激光光源的偏振度降低会影响光刻机投影和曝光系统的性能，因此需要通过一定的措施减轻光学镜片引起的退偏问题。
[0003]光学镜片引起的退偏与光束的单脉冲能量、平均功率、峰值功率、光束入射角度、光学镜片安装角度均有关，其中单脉冲能量、平均功率、峰值功率、光束入射角度均无法改变，而光学镜片的安装角度可以改变，且对退偏程度影响较大，因此需要对光学镜片最小退本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，其特征在于，包括：沿激光光路传播方向依次设置的对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计；其中，所述对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计通过密封箱体密封在氮气环境中；所述对准镜和光学镜片安装在旋转台上，并且所述对准镜与所述光学镜片以固定角度设置；深紫外激光器的出射光经光学镜片透射，透射光入射到所述偏振检测镜上，所述能量计用于检测所述偏振检测镜反射光的能量；以激光入射至所述光学镜片的法线为旋转轴旋转所述光学镜片，当所述能量计检测到的能量最小时，为所述光学镜片的最小退偏角度位置。2.根据权利要求1所述的针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，其特征在于，所述装置还包括小孔光阑，所述小孔光阑设置在所述密封箱体的外部，所述激光器发射的激光通过所述小孔光阑后入射到所述对准镜，用于调整所述对准镜的位置。3.根据权利要求1所述的针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，其特征在于，所述装置还包括光阱，所述光阱分别设置在所述光学镜片反射光的光路上和所述偏振检测镜的折射光光路上。4.根据权利要求1所述的针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，其特征在于，所述密封箱体为铝制箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓马，刘玉轩，邓明翰，张艳茹，桑琦，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：