针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，包括：沿激光光路传播方向依次设置的对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计；其中，对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计通过密封箱体密封在氮气环境中；对准镜和光学镜片安装在旋转台上，对准镜与光学镜片以固定角度设置；深紫外激光器的出射光经光学镜片透射，透射光入射到偏振检测镜上，能量计用于检测偏振检测镜反射光的能量；以激光入射至光学镜片的法线为旋转轴旋转光学镜片，当能量计检测到的能量最小时，为光学镜片的最小退偏角度位置。本实用新型专利技术的测定装置，组件简单，价格低廉、质量轻、体积小，可重复使用，并能对不同的光学镜片进行测定，提高了装置的使用效率。装置的使用效率。装置的使用效率。

【技术实现步骤摘要】
针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置


[0001]本技术属于光学器件
，尤其涉及一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置。

技术介绍

[0002]目前集成电路光刻工艺使用的准分子光刻光源输出波长为193nm和248nm深紫外激光，激光脉冲能量达到10mJ以上，重复频率达到4000
‑
6000Hz。深紫外激光的波长短，单光子能量大，且脉冲宽度短，对其中的光学镜片损伤较大，影响光学系统中光学镜片的寿命。光学镜片因此一般使用深紫外级氟化钙材料制成，但是由于氟化钙晶体的双折射、两面不平行等因素，193nm、248nm等深紫外激光经过这些光学镜片后会出现退偏问题。激光光源的偏振度降低会影响光刻机投影和曝光系统的性能，因此需要通过一定的措施减轻光学镜片引起的退偏问题。
[0003]光学镜片引起的退偏与光束的单脉冲能量、平均功率、峰值功率、光束入射角度、光学镜片安装角度均有关，其中单脉冲能量、平均功率、峰值功率、光束入射角度均无法改变，而光学镜片的安装角度可以改变，且对退偏程度影响较大，因此需要对光学镜片最小退偏的角度进行测定，以方便后续正确安装。

技术实现思路

[0004]为解决
技术介绍
中提及的技术问题，本技术提供一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，以解决现有技术中光学镜片最小退偏角度难以检测的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术的一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，包括：沿激光光路传播方向依次设置的对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计；
[0006]其中，所述对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计通过密封箱体密封在氮气环境中；
[0007]所述对准镜和光学镜片安装在旋转台上，并且所述对准镜与所述光学镜片以固定角度设置；
[0008]深紫外激光器的出射光经光学镜片透射，透射光入射到所述偏振检测镜上，所述能量计用于检测所述偏振检测镜反射光的能量；
[0009]以激光入射至所述光学镜片的法线为旋转轴旋转所述光学镜片，当所述能量计检测到的能量最小时，为所述光学镜片的最小退偏角度位置。
[0010]进一步地，所述装置还包括小孔光阑，所述小孔光阑设置在所述密封箱体的外部，所述激光器发射的激光通过所述小孔光阑后入射到所述对准镜，用于调整所述对准镜的位置。
[0011]进一步地，所述装置还包括光阱，所述光阱分别设置在所述光学镜片反射光的光路上和所述偏振检测镜的折射光光路上。
[0012]进一步地，所述密封箱体为铝制箱体，所述密封箱体包括用于通入氮气的氮气入
口和用于排放氮气的氮气出口。
[0013]进一步地，所述深紫外激光器为193nm或248nm波长的准分子激光器，所述激光器发射的激光具有水平的偏振方向。
[0014]进一步地，所述旋转台上设置有电动驱动组件，所述电动驱动组件设置在所述密封箱体的外部，通过所述电动驱动组件驱动所述旋转台，来调节所述光学镜片的角度。
[0015]进一步地，所述装置还包括光路管，所述光路管设置在所述激光器与密封箱体之间，用于封闭所述激光器与密封箱体之间的光路。
[0016]进一步地，所述偏振检测镜由氟化钙材料制成。
[0017]进一步地，所述密封箱体的氮气入口以10L/min通入氮气。
[0018]进一步地，所述对准镜与所述光学镜片以45度角设置。
[0019]本技术提供的一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，利用偏振镜片在布儒斯特角下对S光和P光的反射特性，对经过光学镜片的激光的退偏程度进行检测，从而实现对针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度的测定，该装置结构简单，体积小，质量轻，不损伤镜片，同时装置可以重复使用，成本低。
附图说明
[0020]图1为本技术实施例的针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置的结构示意图；
[0021]图2为本技术的针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置的光路示意图；
[0022]图3为本技术实施例的使用针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置进行测量的方法流程图；
[0023]图中标记说明：
[0024]1、激光器；10、密封箱体；2、对准镜；3、旋转台；31、光学镜片；4、偏振检测镜；5、能量计；6、小孔光阑；71、72、光阱。
具体实施方式
[0025]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，
可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0028]本实施例中，由于193nm、248nm波长对光学镜片的损伤能力很强，传统的检偏器无法难覆盖到193nm、248nm波段，因此使用一片氟化钙平板作为检偏元件，在布儒斯特角入射状态下测量反射光能量来确定出射光偏振度最高的自转角度，通过测量检偏元件反射光的能量，确定光学镜片最小退偏时的角度位置。
[0029]实施例一：
[0030]图1示意性示出了一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置的结构示意图。如图1所示，包括：激光器1、沿激光光路传播方向依次设置的对准镜2、光学镜片31、偏振检测镜4和能量计5。
[0031]其中，对准镜2、光学镜片31、偏振检测镜4和能量计5通过密封箱体10密封在氮气环境中，对准镜2和光学镜片31安装在旋转台3上，并且对准镜2与光学镜片31呈所需的固定预设角度设置，如可以是30
°
，45
°
，60
°
等。
[0032]本实施例中，如图2所示，激光器1发射的激光入射至密封箱体10中的对准镜2上，由于对准镜2与光学镜片31呈45
°
固定设置，因此本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，其特征在于，包括：沿激光光路传播方向依次设置的对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计；其中，所述对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计通过密封箱体密封在氮气环境中；所述对准镜和光学镜片安装在旋转台上，并且所述对准镜与所述光学镜片以固定角度设置；深紫外激光器的出射光经光学镜片透射，透射光入射到所述偏振检测镜上，所述能量计用于检测所述偏振检测镜反射光的能量；以激光入射至所述光学镜片的法线为旋转轴旋转所述光学镜片，当所述能量计检测到的能量最小时，为所述光学镜片的最小退偏角度位置。2.根据权利要求1所述的针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，其特征在于，所述装置还包括小孔光阑，所述小孔光阑设置在所述密封箱体的外部，所述激光器发射的激光通过所述小孔光阑后入射到所述对准镜，用于调整所述对准镜的位置。3.根据权利要求1所述的针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，其特征在于，所述装置还包括光阱，所述光阱分别设置在所述光学镜片反射光的光路上和所述偏振检测镜的折射光光路上。4.根据权利要求1所述的针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，其特征在于，所述密封箱体为铝制箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓马，刘玉轩，邓明翰，张艳茹，桑琦，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：