一种短流程多路并联的放电腔散热结构及准分子激光器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种短流程多路并联的放电腔散热结构及准分子激光器，短流程多路并联的放电腔散热结构包括放电腔、叶轮和散热管；所述叶轮沿左右方向布设在放电腔内；在前后方向上，所述叶轮靠近所述放电腔的后侧壁设置；所述散热管整体呈U型设置，所述散热管的进水端和出水端分别自所述放电腔的前侧壁伸出，所述散热管在放电腔中U型部向所述叶轮方向延伸；在左右方向上，多个所述散热管间隔且彼此并联设置。本申请中的散热管之间相互独立设置，在垂直于工作气体流动方向的截面上，散热管之间不存在明显的温度梯度，放电腔内部流场均匀性和光学稳定性大大提升；以及，水路流程大幅缩短，散热能力得以大幅提高。散热能力得以大幅提高。散热能力得以大幅提高。

【技术实现步骤摘要】
一种短流程多路并联的放电腔散热结构及准分子激光器


[0001]本技术涉及准分子激光器
，尤其是涉及一种短流程多路并联的放电腔散热结构及准分子激光器。

技术介绍

[0002]参见图1和2所示，目前，准分子激光器放电腔10中电极12在放电过程产生大量热能将工作气体加热，需要通过散热器装置迅速将热量带出腔体，随着放电腔10出光能量需求提升，对散热器的散热要求也迅速提高。传统放电腔10散热器包括多根依次串联的散热管20，散热管20平行于且贯通放电腔10叶轮11轴线方向，这样的结构带来的问题是水路较长，进水口和出水口的温差较大，导致整个放电腔10内温度分布出现梯度差，进而影响放电腔10内部流场均匀性和光学稳定性，同时散热能力也无法进一步提高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种短流程多路并联的放电腔散热结构及准分子激光器，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供的一种短流程多路并联的放电腔散热结构，包括：放电腔、叶轮和散热管；
[0005]所述叶轮沿左右方向(纵向)布设在放电腔内；
[0006]在前后方向上，所述叶轮靠近所述放电腔的后侧壁设置；
[0007]所述散热管整体呈U型设置，所述散热管的进水端和出水端分别自所述放电腔的前侧壁伸出，所述散热管在放电腔中U型部向所述叶轮方向延伸；
[0008]在左右方向上，多个所述散热管间隔且彼此并联设置。
[0009]进一步地，所述U型部包括靠近所述进水端的上半段、靠近所述出水端的下半段以及用于连接上半段和下半段的中间弧形段。
[0010]自叶轮吹出的气流经过两个电极间的放电区域后，先后流经散热管U型部的上半段和下半段，被降温后再次被吸入叶轮；如此反复循环，对放电腔内的工作气体进行冷却。
[0011]相对于现有技术的冷却方式，本申请中的散热管之间相互独立设置，在左右方向上，多个散热管对应区域上的温度基本相当，即在垂直于工作气体流动方向的截面上，散热管之间不存在明显的温度梯度，放电腔内部流场均匀性和光学稳定性大大提升。
[0012]进一步地，还包括进水均流器，多个所述散热管的进水端分别与进水均流器连通。
[0013]进一步地，还包括出水均流器，多个所述散热管的出水端分别与所述出水均流器连通。
[0014]散热水源通过进水均流器向多个散热管供应冷却水或冷却液；冷却水或冷却液先流入出水均流器，后通过出水均流器的回水口返回循环冷却系统的储水装置。
[0015]进水均流器和出水均流器为容积较大的密封腔体，在放电腔一侧分别设置有多个连接口与散热管的进水端和出水端连接，用于保证每一路的散热器进出水量基本相同。
[0016]进一步地，在高度方向上，所述散热管的进水端置于出水端上方；在垂直于所述叶轮的截面上，工作气体在叶轮的推动下逆时针流动，散热管内的冷却液或冷却水顺时针流动。
[0017]进一步地，在水平投影面上，所述U型部的上半段和下半段完全重叠布设。即所述U型部竖直布设，上半段、下半段以及中间环形段布设在同一竖直平面内。
[0018]更为优选地，所述U型部倾斜布设，在水平投影面上，所述U型部的上半段和下半段错开布设。
[0019]即，上半段和下半段布设在不同的竖直平面内。
[0020]进一步地，在水平投影面上，所述下半段布设在上方相邻的两个上半段之间的间隔内；和/或，所述上半段布设在下方相邻的两个下半段之间的间隔内。
[0021]进一步地，两个所述上半段之间的间隔小于等于所述下半段的管径；和/或，两个所述下半段之间的间隔小于等于所述上半段的管径。
[0022]上述的倾斜布设方式大大增加了气流与散热管的接触机会和接触面积，从而进一步提升了散热效果和效率。
[0023]优选地，所述U型部倾斜方向和倾斜角度相同。
[0024]进一步地，在左右方向上，所述放电腔内左侧多个所述U型部与右侧多个U型部倾斜方向相反、且左右对称布设。
[0025]进一步地，所述散热管的数量为4
‑
20个。
[0026]本申请第二方面公开了一种采用上述短流程多路并联的放电腔散热结构的准分子激光器。
[0027]采用上述技术方案，本技术具有如下有益效果：
[0028]本技术提供的一种采用上述短流程多路并联的放电腔散热结构，散热管之间相互独立设置，在左右方向上，多个散热管对应区域上的温度基本相当，即在垂直于工作气体流动方向的截面上，散热管之间不存在明显的温度梯度，放电腔内部流场均匀性和光学稳定性大大提升；以及，水路流程大幅缩短，散热能力得以大幅提高。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1为现有技术中放电腔散热结构的结构示意图；
[0031]图2为现有技术中放电腔散热结构的俯视图；
[0032]图3为本技术实施例1提供的放电腔散热结构的俯视图；
[0033]图4为图3中A向视图；
[0034]图5为图4中B向视图；
[0035]图6为本技术实施例2提供的放电腔散热结构的结构示意图；
[0036]图7为本技术实施例2提供的放电腔散热结构的俯视图；
[0037]图8为本技术实施例2中散热管中上半段和下半段错开布设的局部结构示意
图；
[0038]图9为本技术实施例2中左右两侧散热管倾斜角度不同时的结构示意图。
[0039]附图标记：
[0040]10
‑
放电腔；11
‑
叶轮；12
‑
电极；20
‑
散热管；21
‑
进水端；22
‑
出水端；23
‑
U型部；24
‑
上半段；25
‑
下半段；26
‑
中间弧形段；30
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进水均流器；31
‑
出水均流器。
具体实施方式
[0041]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0042]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种短流程多路并联的放电腔散热结构，其特征在于，包括：放电腔(10)、叶轮(11)和散热管(20)；所述叶轮(11)沿左右方向布设在放电腔(10)内；在前后方向上，所述叶轮(11)靠近所述放电腔(10)的后侧壁设置；所述散热管(20)整体呈U型设置，所述散热管(20)的进水端(21)和出水端(22)分别自所述放电腔(10)的前侧壁伸出，所述散热管(20)在放电腔(10)中U型部(23)向所述叶轮(11)方向延伸；在左右方向上，多个所述散热管(20)间隔且彼此并联设置。2.根据权利要求1所述的放电腔散热结构，其特征在于，所述U型部(23)包括靠近所述进水端(21)的上半段(24)、靠近所述出水端(22)的下半段(25)以及用于连接上半段(24)和下半段(25)的中间弧形段(26)。3.根据权利要求1所述的放电腔散热结构，其特征在于，还包括进水均流器(30)，多个所述散热管(20)的进水端(21)分别与进水均流器(30)连通。4.根据权利要求1所述的放电腔散热结构，其特征在于，还包括出水均流器(31)，多个所述散热管(20)的出水端(22)分别与所述出水均流器(31)连通。5.根据权利要求1所述的放电腔散热结构，其特征在于，在高度方向上，所述散热管(20)的进水端(21)置于出水端(22)上方；在垂直于所述叶轮(11)的截面上，工作气体在...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴劲松，刘斌，陈文斌，张寅虎，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：