本申请实施例提供一种激光器的代码异常的定位方法及激光器

本申请实施例提供一种激光器的能量的控制方法及计算设备。在本申请实施例中，在激光器曝光的状态下，采集激光器的出光口的多个能量值；采集与多个能量值对应的放电腔的多个电压值，并根据采集到的多个能量值以及对应的多个电压值，确定电压与能量之间的关...

本发明公开了一种激光器电源运行监测系统及其方法。该激光器电源运行监测系统包括测量单元(1)、脉冲输出单元(2)、信号转换单元(3)；信号转换单元(3)的输入端连接被监测的激光器电源(8)，信号转换单元(3)的输出端与测量单元(1)的输入...

本申请实施例提供一种激光器的能量采集终端的测试设备。其中测试设备，包括主机，主机包括：数字处理核心模块、与数字处理核心模块连接的接口汇接模块；接口汇接模块连接有多个精密参考电源模块以及多个数模DA模块；数字处理核心模块通过精密参考电源模...

本申请实施例提供一种准分子激光器的扩束棱镜的振动测试方法及设备。其中，准分子激光器包括光路整形组件，在光路整形组件的内设置有扩束棱镜组件，在扩束棱镜组件上设置有至少两个扩束棱镜，在光路整形组件的外壳上设置有至少两个振动传感器，在扩束棱镜...

本发明公开了一种准分子激光器能量掉点检测方法及装置。该方法包括以下步骤：接收来自MO能量传感器的主振荡放电腔在当前脉冲的出光能量，并且计算预先设定的脉冲数量N的主振荡放电腔的出光能量的均值，判断出主振荡放电腔是否出现能量掉点；接收来自P...

本申请实施例提供一种激光器的波长调整方法及计算设备。在本申请实施例中，基于目标波长，获取激光器发射的不同波长与用于调整波长的不同电机运动位置之间的多个映射关系；获取最准确的映射关系，并确定电机运动位置，作为第一运动位置，控制电机运动到第...

本发明公开了一种准分子激光器能量掉点恢复方法及装置。该方法包括以下步骤：在功率放大放电腔(104)出现能量掉点时，根据功率放大放电腔(104)在当前脉冲的电压预设值和电压增量，以及功率放大放电腔(104)在当前脉冲的出光能量和抵消能量信...

本申请公开了一种光栅衍射效率测量装置，包括：设置在基台上的激光组件、光电探测组件、待测光栅组件以及通信连接的控制设备；激光组件设置在以待测光栅组件为圆心以R1为半径的第一圆弧上，包括激光器；光电探测组件对应设置在以R2为半径的第二圆弧上...

本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及激光器风机振动干扰信号提取方法、装置及激光器，所述方法包括：根据风机振动干扰信号特性，构建陷波滤波器；根据陷波滤波器，设置滤波参数，针对每个burst的每个脉冲，进行滤波：当前脉冲为所属burst的...

本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及基于风机干扰补偿的准分子激光器恒能量控制方法、装置及激光器。所述方法包括：获取当前脉冲的输出能量，干扰补偿模块提取对应风机的干扰信号，预估同一burst内下一脉冲的干扰补偿电压；获取激光器输出的目标...

本申请实施例提供一种数据的存储方法及计算设备。在本申请实施例中，创建第一数据库，用于接替第二数据库持续存储待存储数据；根据创建的第一数据库，确定数据库的状态信息表示为第一数据库，以指示第一数据库可进行数据存储；根据数据库的状态信息表示为...

本申请实施例提供脉冲式电源负载，该电源负载，是与待测电源进行连接的电源负载组件；其中，电源负载组件包括：电容、用于控制电容进行充电的至少一个第一开关器、用于控制电容放电的至少一个第二开关器以及通过电容进行充电的负载，电容通过至少一个第一...

本实用新型提供了一种新型静电除尘结构及其金属氟化物颗粒捕集装置，新型静电除尘结构包括在气体流动方向上依次设置有电离区和除尘区；电离区的气体出口与所述除尘区的气体入口连接；所述电离区包括相对布设的两个侧板，用于合围出电离区气体流道；所述电...

本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及准分子激光器风机干扰信号提取方法、装置及激光器。所述方法包括：分别设计二阶低通滤波器和二阶高通滤波器；将二阶低通滤波器和二阶高通滤波器级联得到带通滤波器；根据带通滤波器，设置滤波参数，针对每个bur...

本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及准分子激光器风机振动干扰补偿方法、装置及激光器，所述方法包括：获取激光器输出当前脉冲的输出能量，通过各陷波滤波器提取对应风机振动干扰信号；针对每组提取的干扰信号，通过对应超前滤波器预估下一脉冲的干扰...

本申请公开了一种激光光斑尺寸的计算方法和装置，所述计算方法包括：通过CCD获取光斑信息；基于光斑信息和预设阈值，确定光斑位置中心；基于光斑位置中心，得到初版粗略光圈；基于初版粗略光圈，获取初始光圈；基于初始光圈，确定光斑尺寸。采用上述方...

本实用新型提供了一种棱镜粘胶固定调节工装，其包括底座、定位垫板、压板和连接螺钉；棱镜通过粘接方式固定在所述定位垫板上；所述定位垫板置于所述底座上，定位垫板与所述底座之间设置有定位结构，用于防止定位垫板相对于所述底座在水平投影内活动；所述...

本申请公开一种光栅衍射效率测量装置，包括：激光光源，利特罗准直单元，探测装置；所述利特罗准直单元包括：偏振分束组件、对准光阑、准直镜、光反射衍射组件、转台；所述光反射衍射组件包括待测光栅和参考平面镜；所述转台用于承载所述待测光栅或参考平...

本申请提供激光器输出光斑特性测量装置及方法，包括分束镜、光波长转换元件、折光镜、远心镜头及探测装置；分束镜设置于待测激光光路中，将待测激光分为用作近场光束测量的第一光束和用作远场光束测量的第二光束；沿第一光束和第二光束传播方向上分别设置...