准分子激光器的扩束棱镜的振动测试方法及设备技术

本申请实施例提供一种准分子激光器的扩束棱镜的振动测试方法及设备。其中，准分子激光器包括光路整形组件，在光路整形组件的内设置有扩束棱镜组件，在扩束棱镜组件上设置有至少两个扩束棱镜，在光路整形组件的外壳上设置有至少两个振动传感器，在扩束棱镜上分别设置有对应的振动传感器，通过振动台向光路整形组件传递振动激励；通过至少两个振动传感器采集振动激励对应的第一振动数据，并对振动台传递的振动激励进行调整，使得调整后的第一振动数据与准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值相同；通过在扩束棱镜上对应的振动传感器采集对应的第二振动数据，并确定扩束棱镜的振动值，以完成振动测试。从而可以实现离线的振动精确测量。离线的振动精确测量。离线的振动精确测量。

【技术实现步骤摘要】
准分子激光器的扩束棱镜的振动测试方法及设备


[0001]本专利技术涉及测试领域，具体一种准分子激光器的扩束棱镜的振动测试方法及设备。

技术介绍

[0002]振动是安防、建筑、工程机械、航空、半导体等工程
中重要的技术参数，机械振动测量已经成为机械、机械产品研究设计、维护等不可或缺的技术手段。准分子激光器的光路传输模块须在氮气保护环境下工作，而实际工作过程中的振动会使其中的棱镜产生一定的空间偏移，从而影响激光束的光学质量。因此，激光器在正常工作下且在密闭环境下，测试棱镜的振动量值变得尤其重要。
[0003]由于，准分子激光器中的光路传输模块在实际工作时是在充满氮气的密封环境下，且整个光路不能有测量仪器等遮挡的技术问题，使得准分子激光器在正常工作时棱镜的精确测量变得异常困难。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题在于，克服现有的技术的不足，提供一种准分子激光器的扩束棱镜的振动测试方法及设备，能够模拟准分子激光器的光路传输模块中棱镜工作状态下的振动，实现离线振动的较为精确的测量。
[0005]为达到上述技术目的，一方面，本专利技术提供的一种准分子激光器的扩束棱镜的振动测试方法，所述准分子激光器包括光路整形组件，在所述光路整形组件的内设置有扩束棱镜组件，在所述扩束棱镜组件上设置有至少两个扩束棱镜，在所述光路整形组件的外壳上设置有至少两个振动传感器，在所述扩束棱镜上分别设置有对应的振动传感器，所述方法包括：通过振动台作为振动源向所述光路整形组件传递振动激励，以使所述光路整形组件根据接收到的振动激励进行振动；通过所述光路整形组件的外壳上设置有的至少两个振动传感器采集振动激励对应的第一振动数据，并根据采集到的第一振动数据，对振动台传递的振动激励进行调整，使得调整后的振动激励对应的第一振动数据与所述准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值相同；通过在所述扩束棱镜上分别设置有的对应的振动传感器采集对应的第二振动数据，根据第二振动数据确定扩束棱镜的振动值，以完成振动测试。
[0006]此外，在所述扩束棱镜组件上设置有对应的振动传感器，所述方法还包括：在调整后的振动激励对应的第一振动数据与所述准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值相同的情况下，通过在所述扩束棱镜组件上设置有的对应的振动传感器采集对应的第三振动数据，并根据所述第二振动数据以及所述第三振动数据，确定对应扩束棱镜以及对应扩束棱镜组件的振动值，来完成振动测试。
[0007]具体的，所述振动台依次通过振动台转接板、支架转接板和支架，与所述光路整形组件进行连接，以使所述振动台依次通过振动台转接板、支架转接板和支架，将所述振动激
励传递给所述光路整形组件。
[0008]具体的，所述根据采集到的第一振动数据，对振动台传递的振动激励进行调整，包括；对比所述第一振动数据与所述准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值，并根据对比结果，调整所述第一振动数据对应的振动频率以及振动幅值，使得调整后的振动频率以及振动幅值与所述振动数值对应的振动频率以及振动幅值相同，从而调整所述振动激励。
[0009]具体的，所述对比所述第一振动数据与所述准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值，并根据对比结果，调整所述第一振动数据对应的振动频率以及振动幅值，包括：将所述第一振动数据进行拉普拉斯变换，得到对应的频域数据；根据频域数据，将对应的不同频率数据进行时域上的信号数据叠加；将叠加后的数据与所述振动数值进行对比，使得振动控制器根据对比结果调整所述对应的振动频率以及振动幅值，以控制控制台输出与调整后的振动频率以及振动幅值匹配的振动激励。
[0010]此外，在所述扩束棱镜上分别设置有的对应的振动传感器通过线缆以及所述外壳上设置有的线缆接口与外部设备连接，以进行第二振动数据的采集。
[0011]此外，所述方法还包括：通过模拟光源向所述光路整形组件发送预置光源，并经过所述光路整形组件对预置光源进行调整，使得调整后的光源以准分子激光器实际工作中的光路入射至扩束棱镜；通过振动台根据调整后的振动激励进行振动激励的传递，并通过光束质量分析仪采集扩束棱镜因振动造成的光束指向性偏移，得到指向性偏移量值。
[0012]具体的，所述经过所述光路整形组件对预置光源进行调整，使得调整后的光源以准分子激光器实际工作中的光路入射至扩束棱镜，包括：经过所述光路整形组件对预置光源调整为以准分子激光器实际工作中同等的光束大小和发散角度的光路入射至扩束棱镜。
[0013]此外，所述方法还包括：对调整后的振动频率以及振动幅值对应的波形进行滤波，使得通过滤波后的波形控制控制台输出与对应的振动激励。
[0014]另一方面，本专利技术提供的一种准分子激光器的扩束棱镜的振动测试设备，包括：光路整形组件；在所述光路整形组件的内设置有扩束棱镜组件，在所述扩束棱镜组件上设置有至少两个扩束棱镜；通过振动台作为振动源，依次通过振动台转接板、支架转接板和支架，与所述光路整形组件进行连接；在所述光路整形组件的外壳上设置有至少两个振动传感器，以用于采集第一振动数据，并对振动台传递的振动激励进行调整，使得调整后的振动激励对应的第一振动数据与所述准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值相同；在所述扩束棱镜上分别设置有对应的振动传感器，以用于采集第二振动数据，并确定扩束棱镜的振动值，以完成振动测试。
[0015]在本申请实施例中，准分子激光器包括光路整形组件，在光路整形组件的内设置有扩束棱镜组件，在扩束棱镜组件上设置有至少两个扩束棱镜，在光路整形组件的外壳上设置有至少两个振动传感器，在扩束棱镜上分别设置有对应的振动传感器，该方法包括：通过振动台作为振动源向光路整形组件传递振动激励，以使光路整形组件根据接收到的振动激励进行振动；通过光路整形组件的外壳上设置有的至少两个振动传感器采集振动激励对应的第一振动数据，并根据采集到的第一振动数据，对振动台传递的振动激励进行调整，使得调整后的振动激励对应的第一振动数据与准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值相同；通过在扩束棱镜上分别设置有的对应的振动传感器采集对应的第二振动
数据，根据第二振动数据确定扩束棱镜的振动值，以完成振动测试。从而可以通过振动台的振动实现模拟准分子激光器中光路传输模块(即光路整形组件)中的棱镜工作状态下的振动，实现离线的振动精确测量。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0017]图1为本申请实施例的准分子激光器的扩束棱镜的振动测试方法的流程示意图；
[0018]图2为本申请实施例的控制台与光路整形组件连接的示意图；
[0019]图3为本申请实施例的光路整形组件的结构示意图；
[0020本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器的扩束棱镜的振动测试方法，其特征在于，所述准分子激光器包括光路整形组件，在所述光路整形组件的内设置有扩束棱镜组件，在所述扩束棱镜组件上设置有至少两个扩束棱镜，在所述光路整形组件的外壳上设置有至少两个振动传感器，在所述扩束棱镜上分别设置有对应的振动传感器，所述方法包括：通过振动台作为振动源向所述光路整形组件传递振动激励，以使所述光路整形组件根据接收到的振动激励进行振动；通过所述光路整形组件的外壳上设置有的至少两个振动传感器采集振动激励对应的第一振动数据，并根据采集到的第一振动数据，对振动台传递的振动激励进行调整，使得调整后的振动激励对应的第一振动数据与所述准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值相同；通过在所述扩束棱镜上分别设置有的对应的振动传感器采集对应的第二振动数据，根据第二振动数据确定扩束棱镜的振动值，以完成振动测试。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述扩束棱镜组件上设置有对应的振动传感器，所述方法还包括：在调整后的振动激励对应的第一振动数据与所述准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值相同的情况下，通过在所述扩束棱镜组件上设置有的对应的振动传感器采集对应的第三振动数据，并根据所述第二振动数据以及所述第三振动数据，确定对应扩束棱镜以及对应扩束棱镜组件的振动值，来完成振动测试。3.根据权利要求1述的方法，其特征在于，所述振动台依次通过振动台转接板、支架转接板和支架，与所述光路整形组件进行连接，以使所述振动台依次通过振动台转接板、支架转接板和支架，将所述振动激励传递给所述光路整形组件。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据采集到的第一振动数据，对振动台传递的振动激励进行调整，包括；对比所述第一振动数据与所述准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值，并根据对比结果，调整所述第一振动数据对应的振动频率以及振动幅值，使得调整后的振动频率以及振动幅值与所述振动数值对应的振动频率以及振动幅值相同，从而调整所述振动激励。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述对比所述第一振动数据与所述准分子激光器在实际工作中发生的振动对应的振动数值，并根据对比结果，调整所...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏国兵，李梦龙，王野驰，江锐，徐向宇，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：