激光器的能量采集终端的测试设备制造技术

本申请实施例提供一种激光器的能量采集终端的测试设备。其中测试设备，包括主机，主机包括：数字处理核心模块、与数字处理核心模块连接的接口汇接模块；接口汇接模块连接有多个精密参考电源模块以及多个数模DA模块；数字处理核心模块通过精密参考电源模块以及数模DA模块为能量采集终端提供所需的模拟信号源，以进行能量采集终端的测试；精密参考电源模块用于提供所需的电源轨，以使产生对应的电源电压，供数模DA模块使用；数模DA模块用于产生测试波形，以向能量采集终端提供所需的模拟信号源。可以为能量采集终端模数AD采集提供精准的测试模拟输入，并提高准分子激光器的能量采集终端的可靠性和有效性。终端的可靠性和有效性。终端的可靠性和有效性。

【技术实现步骤摘要】
激光器的能量采集终端的测试设备


[0001]本专利技术涉及测试领域，具体一种激光器的能量采集终端的测试设备。

技术介绍

[0002]能量采集终端作为准分子激光器重要的组成部分，需要进行严格测试确保各项指标满足光刻机光源需求。
[0003]通常对能量采集终端的测试借助传统的测试工具，如万用表，示波器等进行测试，但是有些功能是无法测试出的，且能测试的功能，测试效率低，准确率不高。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题在于，克服现有的技术的不足，提供一种激光器的能量采集终端的测试设备，能够较为自动且准确地对能量采集终端进行有效的测试。
[0005]为达到上述技术目的，一方面，本专利技术提供的一种激光器的能量采集终端的测试设备，包括：主机，所述主机包括：数字处理核心模块、与数字处理核心模块连接的接口汇接模块；所述接口汇接模块连接有多个精密参考电源模块以及多个数模DA模块；所述数字处理核心模块通过精密参考电源模块以及数模DA模块为能量采集终端提供所需的模拟信号源，以进行能量采集终端的测试；所述精密参考电源模块用于提供所需的电源轨，以使产生对应的电源电压，供所述数模DA模块使用；所述数模DA模块用于产生测试波形，以向能量采集终端提供所需的模拟信号源。
[0006]具体的，所述主机的机箱上设置有前面板，所述前面板上设置有多个模拟信号源的输出接口，所述模拟信号源的输出接口与所述数模DA模块连接，所述模拟信号源的输出接口通过测试线路与能量采集终端连接，以向能量采集终端输出模拟信号源。
[0007]具体的，所述数字处理核心模块还用于对能量采集终端的RS422接口进行测试；所述数字处理核心模块发送具有待校验数据的测试信息至所述能量采集终端，以使所述能量采集终端在接收到测试信息后，对其中的待校验数据进行校验，以确定RS422接口是否异常。
[0008]具体的，所述数字处理核心模块还用于对能量采集终端的IO接口进行测试；所述数字处理核心模块为所述能量采集终端提供两路差分信号，以使所述能量采集终端确定两路差分信号的时间间隔以及接收到的差分信号的数量，以测试IO接口是否异常。
[0009]具体的，所述前面板上设置有多个RS422测试接口以及IO测试接口，所述多个RS422测试接口以及所述IO测试接口分别与所述接口汇接模块连接，以使所述数字处理核心模块通过接口汇接模块向RS422测试接口发送对应的测试信息，以及通过接口汇接模块向IO测试接口发送对应的信号。
[0010]此外，所述主机还包括：电源滤波器以及交流转直流ACDC电源模块，所述交流转直流ACDC电源模块与接口汇接模块连接，所述电源滤波器与所述交流转直流ACDC电源模块连接；所述电源滤波器，用于接收所述测试设备的外接电源提供的电压信号，并对所述电压信
号进行滤波，并将滤波后的电压信号提供给所述交流转直流ACDC电源模块；所述交流转直流ACDC电源模块，用于将滤波后的电压信号，由交流电压转换成直流电压，以供主机中的其它模块使用。
[0011]此外，所述主机的机箱上还设置有后面板，所述前面板上设置有电源接口，并分别与外接电源以及电源滤波器连接；所述后面板还设置有上位机接口，所述上位机接口与所述上位机进行连接，并通过预置通信协议与所述测试设备进行通信。
[0012]具体的，所述数模DA模块包括：具有串行外设接口SPI的数模转换器；通过噪声密度为2.8每根号赫兹的纳伏的双通道运算放大器来缓冲所述数模转换器的基准电压输入，并对所述双通道运算放大器来进行测试，以确定所述数模转换器的可靠度；在所述数模转换器的输出位置预留射频开关，并通过数字开关信号进行脉冲调节，以产生可调节脉冲的模拟信号源。
[0013]具体的，所述精密参考电源模块包括：基准电压器件，所述基准电压器件具有1.2微伏波形幅度的噪声，预置时间内的长期漂移为2每根号千小时的微伏以及温度系数为百万分之0.05每摄氏度。
[0014]具体的，所述数字处理核心模块包括：处理芯片、多个存储器、多个闪存、多个总线接口以及IO接口。
[0015]在本申请实施例中，测试设备，包括：主机，主机包括：数字处理核心模块、与数字处理核心模块连接的接口汇接模块；接口汇接模块连接有多个精密参考电源模块以及多个数模DA模块；数字处理核心模块通过精密参考电源模块以及数模DA模块为能量采集终端提供所需的模拟信号源，以进行能量采集终端的测试；精密参考电源模块用于提供所需的电源轨，以使产生对应的电源电压，供数模DA模块使用；数模DA模块用于产生测试波形，以向能量采集终端提供所需的模拟信号源。可以为能量采集终端模数AD采集提供精准的测试模拟输入，并提高准分子激光器的能量采集终端的可靠性和有效性。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0017]图1为本申请实施例的测试设备的示意图；
[0018]图2为本申请实施例的数字处理核心模块的示意图；
[0019]图3为本申请实施例的前面板的示意图；
[0020]图4为本申请实施例的后面板的示意图。
具体实施方式
[0021]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]如图1所示，本申请提供了一种激光器的能量采集终端的测试设备，该测试设备100包括：主机102，主机102包括：数字处理核心模块1021、与数字处理核心模块1021连接的接口汇接模块1022。接口汇接模块1022连接有多个精密参考电源模块以及多个数模DA模块(即图1中示出的高精度DA模块)。其中，图1中示出了4组精密参考电源模块以及数模DA模块，每组由一个精密参考电源模块以及一个数模DA模块组成，如“精密参考电源模块1”1023以及“高精度DA模块1”1024。
[0023]数字处理核心模块1021通过精密参考电源模块以及数模DA模块为能量采集终端提供所需的模拟信号源，以进行能量采集终端的测试；精密参考电源模块用于提供所需的电源轨，以使产生对应的电源电压，供数模DA模块使用，如，“精密参考电源模块1”1023提供所需的电源轨，以使产生对应的电源电压，供“高精度DA模块1”1024使用。
[0024]数模DA模块用于产生测试波形，以向能量采集终端提供所需的模拟信号源，如“高精度DA模块1”1024产生测试波形，以向能量采集终端提供所需的模拟信号源。
[0025]其中，数字处理核心模块包括：处理芯片、多个存储器、多个闪存、多个总线接口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光器的能量采集终端的测试设备，其特征在于，包括：主机，所述主机包括：数字处理核心模块、与数字处理核心模块连接的接口汇接模块；所述接口汇接模块连接有多个精密参考电源模块以及多个数模DA模块；所述数字处理核心模块通过精密参考电源模块以及数模DA模块为能量采集终端提供所需的模拟信号源，以进行能量采集终端的测试；所述精密参考电源模块用于提供所需的电源轨，以使产生对应的电源电压，供所述数模DA模块使用；所述数模DA模块用于产生测试波形，以向能量采集终端提供所需的模拟信号源。2.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述主机的机箱上设置有前面板，所述前面板上设置有多个模拟信号源的输出接口，所述模拟信号源的输出接口与所述数模DA模块连接，所述模拟信号源的输出接口通过测试线路与能量采集终端连接，以向能量采集终端输出模拟信号源。3.根据权利要求1述的测试设备，其特征在于，所述数字处理核心模块还用于对能量采集终端的RS422接口进行测试；所述数字处理核心模块发送具有待校验数据的测试信息至所述能量采集终端，以使所述能量采集终端在接收到测试信息后，对其中的待校验数据进行校验，以确定RS422接口是否异常。4.根据权利要求1述的测试设备，其特征在于，所述数字处理核心模块还用于对能量采集终端的IO接口进行测试；所述数字处理核心模块为所述能量采集终端提供两路差分信号，以使所述能量采集终端确定两路差分信号的时间间隔以及接收到的差分信号的数量，以测试IO接口是否异常。5.根据权利要求3所述的测试设备，其特征在于，所述前面板上设置有多个RS422测试接口以及IO测试接口，所述多个RS422测试接口以及所述IO测试接口分别与所述接口汇接模块连接，以使所述数字处理核心模块通过接口汇接模块向RS422测试接口发送对...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁赛，冯泽斌，郭宁，刘广义，徐向宇，刘斌，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：