【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光器领域，具体一种准分子激光器出光同步信号的方法、装置及激光器。
技术介绍
1、准分子激光器是一种波长处于紫外波段的脉冲气体激光器，其工作物质由惰性气体(如氖气、氩气、氪气、氙气等)和卤族元素(如氟、氯、溴等)组成。在基态时，呈两种原子气体混合状，被短脉冲电流激发到高能级时生成化合物，化合物的每个分子由两种气体各贡献一个原子组成，呈准分子态。当电子从高能级跃迁到低能级时辐射出紫外激光。
2、准分子激光器在与光刻机通讯时，需要给光刻机提供一个出光的同步信号，而如何保证同步信号的实时性等是很重要的问题。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题在于，克服现有的技术的不足，提供一种准分子激光器出光同步信号的方法、装置及激光器，能够保证且提高同步信号的实时性。
2、为达到上述技术目的，一方面，本专利技术提供的一种准分子激光器出光同步信号的方法，包括：在所述准分子激光器出光后，提供表示出光的光信号，通过光电二极管将所述光信号转换为对应的电流信号；通过光电转换电路将所述电流信号转换为对应的电压信号，并基于所述电压信号以及一级的单稳态触发器输出第一预置时间级的脉宽的电压信号；基于一级的单稳态触发器输出的电压信号以及二级的单稳态触发器输出第二预置时间级的脉宽的电压信号，以使光刻机接收到第二预置时间级的脉宽的电压信号，所述第一预置时间级的脉宽是指所述光信号被准分子激光器提供到所述光刻机接收电压信号的时间，所述第一预置时间级满足预置时间范围。
3
4、具体的，所述光电转换电路包括：两个运算放大器；第一运算放大器的输出通过预置电阻连接第二运算放大器的负输入；在第一运算放大器和第二运算放大器的负输入与输出间均并联有预置电阻和预置电容，以使将所述电流信号通过第一运算放大器的负输入进入到所述光电转换电路中，转换为对应的电压信号。
5、具体的，所述第一运算放大器和第二运算放大器的输入偏置电流的范围为-0.05微安至-0.5微安，以及输入失调电流的范围为0.01微安至0.4微安，第一运算放大器和第二运算放大器的压摆率sr的范围均为45伏至85伏。
6、具体的，所述基于所述电压信号以及一级的单稳态触发器输出第一预置时间级的脉宽的电压信号，包括：通过所述电压信号的上升沿触发，使得所述一级的单稳态触发器通过其外围的预置电容以及预置电阻输出第一预置时间级的脉宽的电压信号。
7、具体的，所述一级的单稳态触发器的输入端满足电压信号的上升沿触发，且连接光电转换电路的输出；所述一级的单稳态触发器的第一时间设置端连接有预置电容、预置电阻和预置电源，且所述一级的单稳态触发器的第二时间设置端连接至预置电容与预置电阻之间。
8、具体的，所述基于一级的单稳态触发器输出的电压信号以及二级的单稳态触发器输出第二预置时间级的脉宽的电压信号，包括：通过一级的单稳态触发器输出的电压信号的下降沿触发，使得所述二级的单稳态触发器通过其外围的预置电容以及预置电阻输出第二预置时间级的脉宽的电压信号。
9、具体的，所述二级的单稳态触发器的输入端满足一级的单稳态触发器输出的电压信号的下降沿触发，且二级的单稳态触发器的输出端通过预置接口与光刻机连接；所述二级的单稳态触发器的第一时间设置端连接有预置电容、预置电阻和预置电源，且所述二级的单稳态触发器的第二时间设置端连接至预置电容与预置电阻之间。
10、另一方面，本专利技术提供的一种准分子激光器出光同步信号的装置，包括：依次连接的光电二极管、光电转换电路、一级的单稳态触发器以及二级的单稳态触发器；在所述准分子激光器出光后，提供表示出光的光信号，所述光电二极管将所述光信号转换为对应的电流信号；所述光电转换电路，将所述电流信号转换为对应的电压信号；所述一级的单稳态触发器，基于所述电压信号输出第一预置时间级的脉宽的电压信号；所述二级的单稳态触发器，基于一级的单稳态触发器输出的电压信号输出第二预置时间级的脉宽的电压信号，以使光刻机接收到第二预置时间级的脉宽的电压信号，所述第一预置时间级的脉宽是指所述光信号被准分子激光器提供到所述光刻机接收电压信号的时间，所述第一预置时间级满足预置时间范围。
11、另一方面，本专利技术提供的一种激光器，包括：依次连接的光电二极管、光电转换电路、一级的单稳态触发器以及二级的单稳态触发器；在所述准分子激光器出光后，提供表示出光的光信号，所述光电二极管将所述光信号转换为对应的电流信号；所述光电转换电路，将所述电流信号转换为对应的电压信号；所述一级的单稳态触发器，基于所述电压信号输出第一预置时间级的脉宽的电压信号；所述二级的单稳态触发器，基于一级的单稳态触发器输出的电压信号输出第二预置时间级的脉宽的电压信号，以使光刻机接收到第二预置时间级的脉宽的电压信号，所述第一预置时间级的脉宽是指所述光信号被准分子激光器提供到所述光刻机接收电压信号的时间，所述第一预置时间级满足预置时间范围。
12、在本申请实施例中，在准分子激光器出光后，提供表示出光的光信号，通过光电二极管将光信号转换为对应的电流信号；通过光电转换电路将电流信号转换为对应的电压信号，并基于电压信号以及一级的单稳态触发器输出第一预置时间级的脉宽的电压信号；基于一级的单稳态触发器输出的电压信号以及二级的单稳态触发器输出第二预置时间级的脉宽的电压信号，以使光刻机接收到第二预置时间级的脉宽的电压信号，第一预置时间级的脉宽是指光信号被准分子激光器提供到光刻机接收电压信号的时间，第一预置时间级满足预置时间范围，如快速时间范围。由此可以通过第一预置时间级的脉宽的电压信号，且使得光刻机可以在较短时间内接收到该信号，提高了且保证了实时性，且第二预置时间级的脉宽的电压信号使得光刻机可以较为准确地接收到该信号，满足接收到稳定性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种准分子激光器出光同步信号的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光电二极管、光电转换电路、一级的单稳态触发器以及二级的单稳态触发器依次连接，用于产生预置脉宽的电压信号。
3.根据权利要求1述的方法，其特征在于，所述光电转换电路包括：两个运算放大器；第一运算放大器的输出通过预置电阻连接第二运算放大器的负输入；在第一运算放大器和第二运算放大器的负输入与输出间均并联有预置电阻和预置电容，以使将所述电流信号通过第一运算放大器的负输入进入到所述光电转换电路中，转换为对应的电压信号。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，第一运算放大器和第二运算放大器的输入偏置电流的范围为-0.05微安至-0.5微安，以及输入失调电流的范围为0.01微安至0.4微安，第一运算放大器和第二运算放大器的压摆率SR的范围均为45伏至85伏。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述电压信号以及一级的单稳态触发器输出第一预置时间级的脉宽的电压信号，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于一级的单稳态触发器输出的电压信号以及二级的单稳态触发器输出第二预置时间级的脉宽的电压信号，包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述二级的单稳态触发器的输入端满足一级的单稳态触发器输出的电压信号的下降沿触发，且二级的单稳态触发器的输出端通过预置接口与光刻机连接；所述二级的单稳态触发器的第一时间设置端连接有预置电容、预置电阻和预置电源，且所述二级的单稳态触发器的第二时间设置端连接至预置电容与预置电阻之间。
9.一种准分子激光器出光同步信号的装置，其特征在于，包括：依次连接的光电二极管、光电转换电路、一级的单稳态触发器以及二级的单稳态触发器；
10.一种激光器，其特征在于，包括：依次连接的光电二极管、光电转换电路、一级的单稳态触发器以及二级的单稳态触发器；
...【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器出光同步信号的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光电二极管、光电转换电路、一级的单稳态触发器以及二级的单稳态触发器依次连接，用于产生预置脉宽的电压信号。
3.根据权利要求1述的方法，其特征在于，所述光电转换电路包括：两个运算放大器；第一运算放大器的输出通过预置电阻连接第二运算放大器的负输入；在第一运算放大器和第二运算放大器的负输入与输出间均并联有预置电阻和预置电容，以使将所述电流信号通过第一运算放大器的负输入进入到所述光电转换电路中，转换为对应的电压信号。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，第一运算放大器和第二运算放大器的输入偏置电流的范围为-0.05微安至-0.5微安，以及输入失调电流的范围为0.01微安至0.4微安，第一运算放大器和第二运算放大器的压摆率sr的范围均为45伏至85伏。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述电压信号以及一级的单稳态触发器输出第一预置时间级的脉宽的电压信号，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭宁，冯泽斌，梁赛，温玉辉，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。