一种显示面板的曝光图形补偿方法和装置制造方法及图纸

技术编号:40438925 阅读:23 留言:0更新日期:2024-02-22 23:02
本发明专利技术公开了一种显示面板的曝光图形补偿方法和装置,其中,在方法中,通获取历史被曝光显示面板在移动显影工艺后的各显影图案对应的第一图案线宽;根据各第一图案线宽与预设显影图案线宽之间的差值,确定待曝光显示面板在曝光工艺中各曝光图案对应的各线宽补偿值;根据各线宽补偿值与预设曝光图案线宽,确定待曝光显示面板在曝光工艺中各曝光图案对应的各第二图案线宽;根据第一预设关系调整曝光镜组与待曝光显示面板之间的第一间距,使得沿预设路径曝光时能够在待曝光显示面板上曝光出与各第二图案线宽对应的曝光图案。从而,通过在曝光工艺中提前将曝光图案进行反补偿,进而在移动显影工艺之后可以得到预期的显影图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示面板制程,尤其涉及一种显示面板的曝光图形补偿方法和装置


技术介绍

1、目前的显示面板制程工艺中,在曝光工艺之后,为了提高生产效率,一般采用的是移动显影方式,在显影开始之前,显示面板表面会均匀喷上显影液,然后由承载显示面板的移动辊移动显示面板,在移动过程中进行显影。

2、但其存在的问题是,在移动辊移动显示面板的过程中,显示面板上的显影液由于惯性的作用,会在沿显示面板移动的方向上,部分后移,造成显示面板前端显影液变少,后端显影液变多,进而,导致显示面板的前端的显影时间短,后端的显影时间长,使得显示面板的前端和后端显影时间不一致,从而出现显影出的图案与预期显影图案不一致的情况,由此,不能满足对显示面板上显影图案的预期要求,使得产品良率下降。


技术实现思路

1、本专利技术提供了一种显示面板的曝光图形补偿方法和装置,以解决相关技术中的移动显影工艺形成的显影图案无法符合预期要求的问题。

2、根据本专利技术的一方面,提供了一种显示面板的曝光图形补偿方法,包括:

3、获本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括:

3.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括:

4.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括:

5.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,使得沿预设路...

【技术特征摘要】

1.一种显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括:

3.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括:

4.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括:

5.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于,使得沿预设路径曝光时能够在所述待曝光显示面板上曝光出与各所述第二图案线宽对应的曝光图案包括:

6.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄远科
申请(专利权)人:乐金显示光电科技中国有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1