本发明专利技术提供了流道宽度可调节的放电腔及其激光器，其中，放电腔的腔体内设置有：导流罩、贯流风机以及第一执行机构；导流罩包括远离所述贯流风机一侧的左罩体和靠近所述贯流风机一侧的右罩体；所述右罩体可活动设置；所述第一执行机构用于带动所述右罩体移动，进而改变右罩体与贯流风机之间的间隙。本申请中右罩体可移动设置，可随着贯流风机的风速大小变化，利用第一执行机构带动右罩体移动，进而调节右罩体与贯流风机之间的间隙，从而改变整个放电腔内流场的布设结构，从而有效降低风阻，减小振动和噪音。减小振动和噪音。减小振动和噪音。
【技术实现步骤摘要】
流道宽度可调节的放电腔及其激光器
[0001]本专利技术涉及激光器
，尤其是涉及一种流道宽度可调节的放电腔及其激光器。
技术介绍
[0002]在准分子激光器的放电腔中，需要通过连续稳定的循环气流将电极放电产生的“废气”和电极损耗释放的金属粉尘颗粒迅速移出放电区域，循环气流速度和放电腔激光能量输出大小直接相关。当放电腔工作参数变化时，需要调整贯流风机转速，从而通过改变放电腔内工作气体的风速来匹配放电腔激光能量输出。而现有技术中放电腔内部流道(或称流场)结构均为固定形式，下电极设置在绝缘座上，绝缘座下方设置有导流罩，导流罩与贯流风机之间相对固定，该固定结构一般只对某一种特定风速或气体流量相匹配，风阻最小、流场最平稳，在流速或流量发生改变时，该固定结构的气动性能会变差。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种流道宽度可调节的放电腔及其激光器，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种流道宽度可调节的放电腔，放电腔的腔体内设置有：导流罩、贯流风机以及第一执行机构；导流罩包括远离所述贯流风机一侧的左罩体和靠近所述贯流风机一侧的右罩体；所述右罩体可活动设置；所述第一执行机构用于带动所述右罩体移动，进而改变右罩体与贯流风机之间的间隙。
[0005]本申请中右罩体可移动设置，可随着贯流风机的风速大小变化，利用第一执行机构带动右罩体移动，进而调节右罩体与贯流风机之间的间隙，从而改变整个放电腔内流场的布设结构，从而有效降低风阻，减小振动和噪音。
[0006]进一步地，所述左罩体和右罩体的顶面贴靠在放电腔下电极绝缘座的底面，所述右罩体可沿着绝缘座底面移动设置。
[0007]进一步地，所述右罩体的两端与所述腔体内壁之间设置有动密封结构；和/或，所述左罩体和右罩体之间设置有动密封结构。
[0008]进一步地，所述第一执行机构一端(优选为主体部)固定在所述腔体上，所述第一执行机构另一端(优选为伸缩部一端)与所述右罩体连接，用于带动右罩体沿着绝缘座底面移动。
[0009]一般情况下，导流罩设置在放电腔内，导流罩整体呈筒状，与贯流风机平行设置。左罩体和右罩体合围成一个筒状体。左罩体和右罩体的上顶面分别贴靠住下电极的绝缘座底面(左罩体、绝缘座和右罩体合围成出一个相对密闭的筒状腔)，左罩体和右罩体在靠近流道的一侧边缘相互紧密连接且平滑过渡，用于顺畅地引流工作气体。
[0010]进一步地，所述第一执行机构设置在所述导流罩内。
[0011]进一步地，所述右罩体包括基体和摆转罩板；所述摆转罩板面对所述贯流风机设
置；摆转罩板一侧可摆转地铰连接在所述基体上，用于调节所述摆转罩板与所述贯流风机之间的间隙和夹角大小。
[0012]进一步地，所述贯流风机的叶轮包括出风口和回风口(或称进风口)；放电腔内部包括环绕导流罩以及两端连接贯流风机出风口和回风口的气体流道；
[0013]贯流风机叶轮上在出风口和回风口之间、以及靠近所述导流罩一侧设置有过渡部；
[0014]所述摆转罩板面对所述过渡部设置；摆转罩板一侧可摆转地铰连接在所述基体上，用于调节所述摆转罩板与所述过渡部之间的间隙和夹角大小。
[0015]其中优选地，基体为贴靠着绝缘体底面设的基板。
[0016]进一步地，还包括用于驱动所述摆转罩板摆转的第二执行机构。
[0017]进一步地，所述第二执行机构的一端与所述基体连接，所述第二执行机构的另一端与所述摆转罩板连接。
[0018]其中，优选地，所述第二执行机构为电动伸缩机构，两端分别与所述基体和所述摆转罩板铰连接。
[0019]进一步地，还包括支架，支架与所述基体固定连接，所述第二执行机构设置在所述支架上。具体而言，第二执行机构的主体部设置在所述支架上，伸缩部与所述摆转罩板铰连接。
[0020]进一步地，所述第一执行机构另一端(优选为伸缩部一端或称移动端)与所述支架连接。即通过支架推动所述右罩体移动。
[0021]其中优选地，所述摆转罩板与所述基体之间设置有动密封结构；所述摆转罩板与所述左罩体之间设置有动密封结构。
[0022]进一步地，还包括由弹性材料制成的导流弹片，导流弹片布设在所述左罩体和所述摆转罩板之间，用于所述摆转罩板摆转过程保持所述摆转罩板与所述左罩体之间的密封。
[0023]在右罩体的横截面上，左罩体、基体、摆转罩板和导流弹片合围出环形或筒状体；导流弹片的两端分别与摆转罩板与所述左罩体密封连接，摆转罩板摆转过程中，导流弹片随着发生变形，从而避免两者之间出现缝隙，以及工作气体经该缝隙流入右罩体内部。
[0024]优选地(尤其是在不设置导流弹片时)，所述摆转罩板与所述左罩体之间设置有用于限定摆转罩板摆转角度的限位结构。例如，所述摆转罩板与所述基体边缘之间的限位台或卡点等结构，或者，所述摆转罩板枢接轴与所述基体上枢接座体之间的角限位结构。
[0025]进一步地，所述摆转罩板的外侧面为弧面形状。
[0026]所述摆转罩板布设在贯流风机流场(即放电腔内部流道)内侧区域(即上述的贯流风机过渡部对应的区域)，摆转罩板的结构形状以及和贯流风机的间隙等参数对循环风的流动影响最大，同时由于贴近贯流风机，所受气流冲击很强，摆转罩板与贯流风机过渡部之间结构成为噪声和振动的主要源泉，为摆转罩板呈弧面形状，可使得气流更加顺畅，大大降低噪音和振动的产生。
[0027]进一步地，所述摆转罩板的板面上布设有通孔，所述摆转罩板的内侧敷设有吸尘网。
[0028]优选地，吸尘网由细金属丝制成，用于吸附气流中的粉尘颗粒，同时用于降低摆转
罩板振动和噪声，具有良好的吸声降噪效果。
[0029]进一步地，所述吸尘网包括紧贴所述摆转罩板内侧面设置的第一吸尘网，以及敷设在第一吸尘网外侧的第二吸尘网；所述第一吸尘网的孔径为300
‑
500目；所述第二吸尘网的孔径为80
‑
120目。
[0030]更为优选地，所述第一吸尘网的孔径为400目；所述第二吸尘网的孔径为100目。
[0031]进一步地，所述通孔的孔径大小不等，多个通孔在所述摆转罩板的板面上不规则布设。
[0032]进一步地，所述通孔的孔径为0.5mm
‑
4mm。所述摆转罩板的板面通孔率为60
‑
70％。
[0033]进一步地，所述第一执行机构和/或所述第二执行机构为陶瓷压电促动器。
[0034]进一步地，还包括用于防止工作气体腐蚀所述第一执行机构或所述第二执行机构的防护组件；
[0035]所述防护组件包括壳体、波纹管和顶推件；
[0036]壳体用于容纳所述第一执行机构或所述第二执行机构的主体部，壳体上设置有用于所述第一执行机构或所述第二执行机构的伸缩部伸出的过孔，波纹管一端与所述过孔密封连接，波纹管另一端与顶推件的端板密封连接；伸缩部自过孔伸出并伸入波纹管本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种流道宽度可调节的放电腔，其特征在于，放电腔的腔体(10)内设置有：导流罩(20)、贯流风机(30)以及第一执行机构(40)；导流罩(20)包括远离所述贯流风机(30)一侧的左罩体(21)和靠近所述贯流风机(30)一侧的右罩体(22)；所述右罩体(22)可活动设置；所述第一执行机构(40)用于带动所述右罩体(22)移动，进而改变右罩体(22)与贯流风机(30)之间的间隙。2.根据权利要求1所述的流道宽度可调节的放电腔，其特征在于，所述左罩体(21)和右罩体(22)的顶面贴靠在放电腔下电极(11)绝缘座(12)的底面，所述右罩体(22)可沿着绝缘座(12)底面移动设置。3.根据权利要求1所述的流道宽度可调节的放电腔，其特征在于，所述右罩体(22)的两端与所述腔体(10)内壁之间设置有动密封结构；和/或，所述左罩体(21)和右罩体(22)之间设置有动密封结构。4.根据权利要求1所述的流道宽度可调节的放电腔，其特征在于，所述第一执行机构(40)一端固定在所述腔体(10)上，所述第一执行机构(40)另一端与所述右罩体(22)连接，用于带动右罩体(22)沿着绝缘座(12)底面移动。5.根据权利要求1所述的流道宽度可调节的放电腔，其特征在于，所述第一执行机构(40)设置在所述导流罩(20)内。6.根据权利要求1所述的流道宽度可调节的放电腔，其特征在于，所述右罩体(22)包括基体(...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴劲松，刘斌，陈文斌，马放，徐向宇，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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