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本发明提供了流道宽度可调节的放电腔及其激光器,其中,放电腔的腔体内设置有:导流罩、贯流风机以及第一执行机构;导流罩包括远离所述贯流风机一侧的左罩体和靠近所述贯流风机一侧的右罩体;所述右罩体可活动设置;所述第一执行机构用于带动所述右罩体移动,...该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供了流道宽度可调节的放电腔及其激光器,其中,放电腔的腔体内设置有:导流罩、贯流风机以及第一执行机构;导流罩包括远离所述贯流风机一侧的左罩体和靠近所述贯流风机一侧的右罩体;所述右罩体可活动设置;所述第一执行机构用于带动所述右罩体移动,...