本发明专利技术公开了一种深紫外准分子激光传输装置，包括具有密闭空间的壳体，壳体上设有深紫外准分子激光射入窗口和深紫外准分子激光射出窗口，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光路调节装置，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光束准直系统，壳体上还连接有用于向密闭空间内注入减少深紫外准分子激光传输损耗的介质的介质存储装置，壳体上设有充气口及出气口，壳体包括外壳和透明观察窗，壳体上还设有操作窗口部。本发明专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供能够有效减少深紫外准分子激光传输中的能量损耗并方便直接观察和调试的深紫外准分子激光传输装置。分子激光传输装置。分子激光传输装置。
【技术实现步骤摘要】
一种多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置
[0001]本专利技术涉及一种多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置。
技术介绍
[0002]深紫外光，一般指波长从40nm到200nm之间的紫外光，深紫外波段的激光由于其波长短、单光子能量高，在科研、医疗和工业领域都有着重要的应用，常用的深紫外激光包括准分子深紫外激光和固体深紫外激光。
[0003]由于氧气分子等对深紫外光吸收严重，深紫外激光在空气环境中传输能量损失大，影响深紫外激光器的有效应用，因此在深紫外激光应用系统中深紫外激光传输需要在真空环境或对紫外激光吸收小的气体环境中。一般情况下，深紫外激光系统经常是将深紫外激光器、光路传输装置和放置样品的实验/加工平台集成在一起，建立一个真空环境或气体环境的深紫外激光系统。而且，无论是真空环境还是气体环境一般都需要配有真空系统。因此通常的深紫外激光系统存在系统复杂度高、成本高、调试和操作复杂、激光传输路径不易直接观察等问题。
[0004]本专利技术正是基于上述不足研发产生的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置。
技术实现思路
[0005]本专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够有效减少深紫外准分子激光传输中的能量损耗的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置。该装置结构简单、调试方便、传输路径直观、运行成本低、应用灵活、实用性强，可灵活地与前端各种深紫外准分子激光器配合、也可方便地与后端的加工/实验平台配合使用，大大提升了多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置的应用场景。
[0006]本专利技术是通过以下技术方案实现的：
[0007]一种多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，包括具有密闭空间100的壳体1，所述的壳体1一侧设有与深紫外准分子激光发生器2输出端连接的深紫外准分子激光射入窗口11，所述的壳体1的另一侧设有与深紫外准分子激光加工或实验平台17连接的能供深紫外准分子激光射出的深紫外准分子激光射出窗口12，所述的壳体1内并位于深紫外准分子激光射入窗口11与深紫外准分子激光射出窗口12之间还设有用于改变深紫外准分子激光出射路径的光路调节装置3，所述的壳体1内并位于深紫外准分子激光射入窗口11与深紫外准分子激光射出窗口12之间还设有能够对通过光路调节装置3的深紫外准分子激光发散角进行校正的光束准直系统4，所述的壳体1上还连接有与密闭空间100连通并用于向密闭空间100内注入能够减少深紫外准分子激光传输损耗的介质101的介质存储装置5，所述的壳体1上设有能够开闭而使得介质充入壳体1的充气口51，所述的壳体1上还设有能够开闭而使得空气被排出的出气口13，所述的壳体1包括外壳19和连接在外壳19上的透明观察窗14，所述的壳体1上还设有能够打开或关闭的操作窗口部18。
[0008]所述的光路调节装置3包括设于壳体1内并用于将通过深紫外准分子激光射入窗口11后的深紫外准分子激光反射的第一反射镜31，所述的壳体1内并位于深紫外准分子激光射出窗口12处设有能够引导第一反射镜31反射的深紫外准分子激光从深紫外准分子激光射出窗口12射出的第二反射镜32。
[0009]所述的光束准直系统4包括间隔设于第一反射镜31及第二反射镜32之间的第一光阑41和第二光阑42，所述的第一光阑41上设有限定深紫外准分子激光通过的第一通孔411，所述的第二光阑42上设有限定深紫外准分子激光通过的第二通孔421，所述的第一光阑41与第二光阑42之间设有可以调节深紫外准分子激光发散角的深紫外准分子激光扩束准直镜片43，所述的第一光阑41和第二光阑42的激光入射一侧壁上涂覆有能够感应深紫外准分子激光的荧光感应膜400，所述的操作窗口部18包括能够关闭或打开并分别于与第一反射镜31、第二反射镜32、第一光阑41、第二光阑42及多个深紫外准分子激光扩束准直镜片43位置相对应的第一操作窗口181、第二操作窗口182、第三操作窗口183、第四操作窗口184、第五操作窗口185及第六操作窗口186。
[0010]所述的壳体1上设有观察窗槽15，所述的透明观察窗14由透明材料制成且安装于观察窗槽15内，且所述的透明观察窗14与观察窗槽15之间还设有密封条16。
[0011]所述的介质存储装置5包括用于储存介质101的储物容器52，所述的储物容器52上连接有控制介质流量的阀门装置53和传输管道54，所述的介质101通过控依次制介质流量的阀门装置53、传输管道54和充气口51后将介质101输入至密闭空间100内。
[0012]所述的介质101为N2、He、Ne、Ar等气体中的一种。
[0013]所述的深紫外准分子激光射入窗口11前端可移动地设有能够反射深紫外准分子激光发生器2射出的深紫外准分子激光的第一深紫外准分子激光分镜6，所述的第一深紫外准分子激光分镜6一侧设有用于检测深紫外准分子激光能量的第一深紫外准分子激光功率计7。
[0014]所述的深紫外准分子激光射出窗口12的后端可移动地设有能够反射深紫外准分子激光发生器2射出深紫外准分子激光的第二深紫外准分子激光分镜8，所述的第二深紫外准分子激光分镜8一侧设有用于检测深紫外准分子激光能量的第二深紫外准分子激光功率计9。
[0015]所述的深紫外准分子激光射出窗口12输出的深紫外准分子激光经过第二深紫外准分子激光分镜8后能够射出至可以三维精密调节的加工或实验平台17处，所述的深紫外准分子激光射出窗口12与所述的三维精密调节的加工或实验平台17之间能够设置需要的光学系统102将激光聚焦到待加工和实验的样品上。
[0016]所述的第一通孔411与第二通孔421为圆形或方形。
[0017]与现有技术相比，本专利技术有如下优点：
[0018]1、本专利技术深紫外准分子激光传输装置在使用时先将出气口打开，然后启动气体介质存储装置，介质存储装置通过充气口向密闭空间内充入对深紫外准分子激光吸收小的气体介质，并同时将密闭空间内的空气向外排出，而使得密闭空间内充满新的气体介质，然后将出气口封闭。只要在密闭空间内充满介质并通过介质将空气自然排出，无需真空系统及相对应的真空级机械和密封结构设计以及对应真空结构的材料。
[0019]2、多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置中的透明观察窗可以实时观察并
方便调节主路径上的光学零件及深紫外准分子激光的光路，操作窗口部能够打开，并在操作窗口部打开的时候能够将工具伸入至壳体内对光路调节装置及光束准直系统进行调节或者校准，从而使得经过光路调节装置及光束准直系统后的深紫外准分子激光的激光发散角及出射路径和形状达到加工要求。
[0020]3、深紫外准分子激光发生器、固体激光器等发射出深紫外准分子激光分别通过45度高反射光学镜片导入和导出主传输光路。
[0021]4、深紫外准分子激光射入该深紫外准分子激光传输装置前和射出该深紫外准分子激光传输装置后分别放置了分光镜和紫外激光功率计实时监测激光射入和射出时的能量。
[0022]5、在该深紫外准分子激光传输装置的主路径上设置了光束准直光本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：包括具有密闭空间(100)的壳体(1)，所述的壳体(1)一侧设有与深紫外准分子激光发生器(2)输出端连接的深紫外准分子激光射入窗口(11)，所述的壳体(1)的另一侧设有与深紫外准分子激光加工或实验平台(17)连接的能供深紫外准分子激光射出的深紫外准分子激光射出窗口(12)，所述的壳体(1)内并位于深紫外准分子激光射入窗口(11)与深紫外准分子激光射出窗口(12)之间还设有用于改变深紫外准分子激光出射路径的光路调节装置(3)，所述的壳体(1)内并位于深紫外准分子激光射入窗口(11)与深紫外准分子激光射出窗口(12)之间还设有能够对通过光路调节装置(3)的深紫外准分子激光发散角进行校正的光束准直系统(4)，所述的壳体(1)上还连接有与密闭空间(100)连通并用于向密闭空间(100)内注入能够减少深紫外准分子激光传输损耗的介质(101)的介质存储装置(5)，所述的壳体(1)上设有能够开闭而使得介质充入壳体(1)的充气口(51)，所述的壳体(1)上还设有能够开闭而使得空气被排出的出气口(13)，所述的壳体(1)包括外壳(19)和连接在外壳(19)上的透明观察窗(14)，所述的壳体(1)上还设有能够打开或关闭的操作窗口部(18)。2.根据权利要求1所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的光路调节装置(3)包括设于壳体(1)内并用于将通过深紫外准分子激光射入窗口(11)后的深紫外准分子激光反射的第一反射镜(31)，所述的壳体(1)内并位于深紫外准分子激光射出窗口(12)处设有能够引导第一反射镜(31)反射的深紫外准分子激光从深紫外准分子激光射出窗口(12)射出的第二反射镜(32)。3.根据权利要求2所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的光束准直系统(4)包括间隔设于第一反射镜(31)及第二反射镜(32)之间的第一光阑(41)和第二光阑(42)，所述的第一光阑(41)上设有限定深紫外准分子激光通过的第一通孔(411)，所述的第二光阑(42)上设有限定深紫外准分子激光通过的第二通孔(421)，所述的第一光阑(41)与第二光阑(42)之间设有可以调节深紫外准分子激光发散角的深紫外准分子激光扩束准直镜片(43)，所述的第一光阑(41)和第二光阑(42)的激光入射一侧壁上涂覆有能够感应深紫外准分子激光的荧光感应膜(400)，所述的操作窗口部(18)包括能够关闭或打开并分别于与第一反射镜(31)、第二反射镜(32)、第一光阑(41)、第二光阑...
【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，游利兵，朱能伟，刘弘禹，方晓东，罗凯平，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：发明
国别省市：
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