二氧化碳激光器抽充气方法技术

一种二氧化碳激光器抽充气方法包括步骤：对二氧化碳激光器谐振腔超声波水洗；擦干，使用气枪吹干；将二氧化碳激光器谐振腔烘烤；将LC振荡电路的构件组装并将两端封装，安装电极和导电密封圈，安装密封环和管接口，在管接口上安装阀门，形成组装件；将阀门保持打开，进行气密性检测；气密性检测合格后，将阀门保持打开的组装件置于氮气箱中储藏；打开氮气箱并将阀门关闭，将阀门保持关闭的组装件置于烘箱内并将抽充气设备与阀门连接，进行抽气至中真空状态，然后停止抽气，再充入氮气，循环多次后，最后一次循环时全部抽走，达到高真空状态；充入包含氮气在内的工作气体；将阀门关闭并将组装件拆下；将管接口封口。由此，能提高抽真空的效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
二氧化碳激光器抽充气方法


[0001]本公开涉及二氧化碳激光器领域，更具体地涉及一种二氧化碳激光器抽充气方法。

技术介绍

[0002]现有的抽充气方法是先利用分子泵将密闭容器内的空气抽走，通过各种分子泵和离子泵/真空泵的配合，使容器内部达到超高真空，然后对密闭容器进行充气，使容器内充入的气体达到适合的比例。诸如于2022年4月19日授权公告的中国技术专利申请授权公告号CN216355276U公开的采用分子泵和真空泵组合的技术。然而在实际进行抽气中是很难达到超高真空的，并且从低真空度状态到超高真空度状态需要进行很长时间，这样就严重降低了抽充气的效率，并且充气时可能会存在杂质气体，影响充入的工作气体的纯度。

技术实现思路

[0003]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种二氧化碳激光器抽充气方法，其能提高抽真空的效率。
[0004]本公开的另一目的在于提供一种二氧化碳激光器抽充气方法，其能够有利于保证充入的工作气体的纯度。
[0005]由此，一种二氧化碳激光器抽充气方法包括步骤：
[0006]S1，对两端开口的周壁带有与内部连通的电极安装孔和管安装孔的导电性的二氧化碳激光器谐振腔进行超声波水洗；
[0007]S2，在洁净台的操作区内，用无尘布擦干二氧化碳激光器谐振腔的外表面，并使用气枪把二氧化碳激光器谐振腔的内部、电极安装孔的内部和管安装孔的内部吹干，以去除水分；
[0008]S3，将二氧化碳激光器谐振腔置于内腔洁净的换气烤箱中烘烤，以除去二氧化碳激光器谐振腔内的残余水分；
[0009]S4，烘烤后的二氧化碳激光器谐振腔在停机的换气烤箱中冷却，从换气烤箱中取出冷却后的二氧化碳激光器谐振腔，在洁净台的操作区内，在二氧化碳激光器谐振腔内将LC振荡电路的构件组装并将二氧化碳激光器谐振腔两端封装，在二氧化碳激光器谐振腔的电极安装孔上安装电极和导电密封圈，在二氧化碳激光器谐振腔的管安装孔上安装密封环和管接口，在管接口上安装上阀门，从而组装形成组装件；
[0010]S5，将阀门保持打开，在洁净台的操作区内利用真空检漏仪连接阀门对组装件进行气密性检测；
[0011]S6，气密性检测合格后，将阀门保持打开的组装件置于氮气内外循环的氮气箱中储藏，以使氮气交换二氧化碳激光器谐振腔内的气体；
[0012]S7，打开氮气箱并将阀门关闭，将阀门保持关闭的组装件置于抽充气设备的烘箱内并将抽充气设备的处于烘箱内的气管接头与阀门密封连接，抽充气设备的气管接头与抽
充气设备的抽气管线、充氮气管线以及充工作气体管线受控连通，打开阀门，使烘箱加热，抽充气设备先经由抽气管线对二氧化碳激光器谐振腔内进行抽气至中真空状态，然后停止抽气，抽充气设备再经由充氮气管线向二氧化碳激光器谐振腔内充入氮气，之后抽充气设备再继续将二氧化碳激光器谐振腔内部进行经由抽气管线抽气至中真空状态，然后停止抽气，抽充气设备再继续经由充氮气管线向二氧化碳激光器谐振腔内充入氮气，如此循环多次后，最后一次循环时抽充气设备将二氧化碳激光器谐振腔内的气体经由抽气管线全部抽走，使二氧化碳激光器谐振腔内达到高真空状态以使二氧化碳激光器谐振腔内只留存少量氮气而无其它杂质气体；
[0013]S8，在抽充气设备的烘箱内，抽充气设备经由充工作气体管线向二氧化碳激光器谐振腔内充入包含氮气在内的工作气体；
[0014]S9，充入工作气体结束后，在抽充气设备的烘箱内，将阀门关闭并将组装件从气管接头上拆下；
[0015]S10，将管接口封口并将阀门拆下。
[0016]本公开的有益效果如下：在本公开的二氧化碳激光器抽充气方法中，通过步骤S1进行超声波水洗，将二氧化碳激光器谐振腔的内外表面的灰尘、附着的颗粒物等清除；通过步骤S2的无尘布擦干、气枪吹干以及步骤S3的烘烤，将二氧化碳激光器谐振腔的内外表面上的水分去除；通过步骤S6对气密性检测合格的组装件进行氮气置换，使得组装件的二氧化碳激光器谐振腔内的除氮气之外无其它杂质气体，因为二氧化碳激光器将要充入的工作气体同样包含氮气，如此为步骤S7的抽真空建立地无其它杂质气体存在的初始条件，有利于步骤S7的抽真空无需采用超高真空，同样地，在步骤S7的反复抽真空时充入工作气体同样包含的氮气，不仅能够进一步确保组装件的二氧化碳激光器谐振腔内的除氮气之外无其它杂质气体，而且能够使得步骤S7的抽真空同样无需采用超高真空而仅采用中真空和高真空即可，这样，步骤S7的抽真空过程更快速、高效，步骤S7的抽真空过程对抽真空设备的要求降低，进而降低了抽真空设备的成本；步骤S6和步骤S7中的氮气对步骤S8充入的含氮气的工作气体在纯净度上无影响，从而有利于保证二氧化碳激光器充入的工作气体的纯净度；步骤S7的反复抽真空在烘箱加热的条件下进行，能够更进一步提高步骤S7的抽真空过程的效率，能够使得步骤S7中的循环次数进一步减少。
附图说明
[0017]图1示出二氧化碳激光器的部分分解示意图。
[0018]图2示出图1的圆圈部分的放大图。
[0019]图3示出二氧化碳激光器谐振腔内部的LC振荡电路的部分构件的分解图。
[0020]图4示出图1的组装立体图。
[0021]图5示出二氧化碳激光器的组装件的简化剖面示意图。
[0022]图6示出图5的二氧化碳激光器的组装件与抽充气设备的连接。
[0023]其中，附图标记说明如下：
[0024]11二氧化碳激光器谐振腔174连接柱
[0025]111电极安装孔18第二陶瓷件
[0026]112管安装孔19导电弹性片
[0027]113负极极板20第一密封圈
[0028]12电极21输出镜
[0029]121正极22第一端板
[0030]122负极23第二密封圈
[0031]123绝缘体24反射镜
[0032]13a导电密封圈25第二端板
[0033]13b密封环100组装件
[0034]14管接口200抽充气设备
[0035]15阀门200a烘箱
[0036]16第一陶瓷件200b气管接头
[0037]17正极极板电感组件200c抽气管线
[0038]171正极极板200d充氮气管线
[0039]172电感支架200e充工作气体管线
[0040]173盘状电感线圈
具体实施方式
[0041]附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。
[0042]参照图1至图6，二氧化碳激光器抽充气方法包括步骤：
[0043]S1，对两端开口的周壁带有与内部连通的电极安装孔111和管安装孔112的导电性的二氧化碳激光器谐振腔11进行超声波水洗；
[0044]S本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二氧化碳激光器抽充气方法，其特征在于，包括步骤：S1，对两端开口的周壁带有与内部连通的电极安装孔(111)和管安装孔(112)的导电性的二氧化碳激光器谐振腔(11)进行超声波水洗；S2，在洁净台的操作区内，用无尘布擦干二氧化碳激光器谐振腔(11)的外表面，并使用气枪把二氧化碳激光器谐振腔(11)的内部、电极安装孔(111)的内部和管安装孔(112)的内部吹干，以去除水分；S3，将二氧化碳激光器谐振腔(11)置于内腔洁净的换气烤箱中烘烤，以除去二氧化碳激光器谐振腔(11)内的残余水分；S4，烘烤后的二氧化碳激光器谐振腔(11)在停机的换气烤箱中冷却，从换气烤箱中取出冷却后的二氧化碳激光器谐振腔(11)，在洁净台的操作区内，在二氧化碳激光器谐振腔(11)内将LC振荡电路的构件组装并将二氧化碳激光器谐振腔(11)两端封装，在二氧化碳激光器谐振腔(11)的电极安装孔(111)上安装电极(12)和导电密封圈(13a)，在二氧化碳激光器谐振腔(11)的管安装孔(112)上安装密封环(13b)和管接口(14)，在管接口(14)上安装上阀门(15)，从而组装形成组装件(100)；S5，将阀门(15)保持打开，在洁净台的操作区内利用真空检漏仪连接阀门(15)对组装件(100)进行气密性检测；S6，气密性检测合格后，将阀门(15)保持打开的组装件(100)置于氮气内外循环的氮气箱中储藏，以使氮气交换二氧化碳激光器谐振腔(11)内的气体；S7，打开氮气箱并将阀门(15)关闭，将阀门(15)保持关闭的组装件(100)置于抽充气设备(200)的烘箱(200a)内并将抽充气设备(200)的处于烘箱(200a)内的气管接头(200b)与阀门(15)密封连接，抽充气设备(200)的气管接头(200b)与抽充气设备(200)的抽气管线(200c)、充氮气管线(200d)以及充工作气体管线(200e)受控连通，打开阀门(15)，使烘箱(200a)加热，抽充气设备(200)先经由抽气管线(200c)对二氧化碳激光器谐振腔(11)内进行抽气至中真空状态，然后停止抽气，抽充气设备(200)再经由充氮气管线(200d)向二氧化碳激光器谐振腔(11)内充入氮气，之后抽充气设备(200)再继续将二氧化碳激光器谐振腔(11)内部进行经由抽气管线(200c)抽气至中真空状态，然后停止抽气，抽充气设备(200)再继续经由充氮气管线(200d)向二氧化碳激光器谐振腔(11)内充入氮气，如此循环多次后，最后一次循环时抽充气设备(200)将二氧化碳激光器谐振腔(11)内的气体经由抽气管线(200c)全部抽走，使二氧化碳激光器谐振腔(11)内达到高真空状态以使二氧化碳激光器谐振腔(11)内只留存少量氮气而无其它杂质气体；S8，在抽充气设备(200)的烘箱(200a)内，抽充气设备(200)经由充工作气体管线(200e)向二氧化碳激光器谐振腔(11)内充入包含氮气在内的工作气体；S9，充入工作气体结束后，在抽充气设备(200)的烘箱(200a)内，将阀门(15)关闭并将组装件(100)从气管接头(200b)上拆下；S10，将管接口(14)封口并将阀门(15)拆下。2.根据权利要求1所述的二氧化碳激光器抽充气方法，其特征在于，在步骤S1中，水为纯净水。3.根据权利要求1所述的二氧化碳激光器抽充气方法，其特征在于，在步骤S2中，人工戴百级洁净手套用手握住二氧化碳激光器谐振腔(11)并采用百级以
上的无尘布擦干；在步骤S2中，气枪为采用空气的气枪。...

【专利技术属性】
技术研发人员：马英俊，王升耀，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：