一种晶片转移用的镊子制造技术

技术编号:41034406 阅读:3 留言:0更新日期:2024-04-18 22:20
本申请公开了一种晶片转移用的镊子,涉及晶片转移工具技术领域,包括镊子本体;镊子本体的两个夹持端上分别设有供晶片的侧边伸入的夹持限位槽;夹持限位槽内至少设有可与晶片的侧边接触的下限位面以及侧限位面。利用夹持限位槽中的下限位面与侧限位面来对晶片的侧边进行限位,使得晶片的侧边在侧面与底面均受力,提升了被夹取晶片的稳定性,避免了出现因晶片夹取不稳而掉落摔碎的风险,再者,夹持限位槽的侧边限位夹取设计也能尽可能地避免夹取中镊子本体接触到晶片的表面,以避免损伤晶片表面。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶片转移工具,尤其涉及一种晶片转移用的镊子


技术介绍

1、镊子一般是用来夹取、转移规则或不规则块状物品、其他细小东西等的一种工具。防静电镊子因其由特殊导电塑胶制作,对于静电敏感的晶片是首选镊子,又因其质轻使用轻便、弹性优异,因而在半导体工业中多个环节充当了极其重要的角色。

2、在半导体材料各工段中,防静电镊子设计形式多样化,如直头、平头、弯头。但这些镊子在实际使用过程中,如转移晶片过程中,存在损伤晶片表面风险;另外,在液相外延生长后倾斜观察夹取的晶片背面是否存在母液残留的过程,存在发生晶片夹取不稳而掉落摔碎的风险。


技术实现思路

1、有鉴于此,本申请的目的是提供一种晶片转移用的镊子,以解决现有的镊子在夹取晶片时存在损伤晶片表面的风险,以及存在倾斜夹取时对晶片夹取不稳而导致晶片掉落摔碎的风险的技术问题。

2、为达到上述技术目的,本申请提供了一种晶片转移用的镊子,包括镊子本体;

3、所述镊子本体的两个夹持端上分别设有供晶片的侧边伸入的夹持限位槽;

4、所述夹持限位槽内至少设有可与晶片的侧边接触的下限位面以及侧限位面。

5、进一步地,所述下限位面上设有延伸至所述夹持限位槽的开口下边缘的导向斜坡部。

6、进一步地,所述下限位面上的至少部分面为延伸至所述夹持限位槽的开口下边缘的导向斜面,以形成所述导向斜坡部。

7、进一步地,所述夹持限位槽为开设于所述夹持端上的矩形槽;

8、所述夹持限位槽内还设有与所述下限位面相对的上限位面;

9、所述侧限位面包括第一侧限位面、与所述第一侧限位面相对立的第二侧限位面以及位于所述第一侧限位面与所述第二侧限位面之间的第三侧限位面。

10、进一步地,所述夹持限位槽的开口侧边缘设有圆弧倒角。

11、进一步地,所述下限位面以及所述侧限位面上铺设有缓冲材料层。

12、进一步地,所述镊子本体包括镊尾、第一弹性镊柄、第二弹性镊柄、第一镊头以及第二镊头;

13、所述第一弹性镊柄与所述第二弹性镊柄呈v型分布,且各自的一端均连接至所述镊尾;

14、所述第一镊头连接至所述第一弹性镊柄的另一端;

15、所述第二镊头连接至所述第二弹性镊柄的另一端,且与所述第一镊头平行设置;

16、所述第一镊头与所述第二镊头之间相向的端部形成所述夹持端。

17、进一步地,所述第一弹性镊柄与所述第二弹性镊柄上设有防滑结构。

18、进一步地,所述第一弹性镊柄与所述第二弹性镊柄上开设有多个阵列分布的通孔,用于形成所述防滑结构。

19、进一步地,所述镊子本体由聚四氟乙烯材料制备而成。

20、从以上技术方案可以看出,本申请所设计的晶片转移用的镊子,在镊子本体的两个夹持端上分别设置有供晶片伸入的夹持限位槽,且夹持限位槽至少具有可与晶片下表面接触的下限位面以及可与晶片边缘接触的侧限位面。利用夹持限位槽中的下限位面与侧限位面来对晶片的侧边进行限位,使得晶片的侧边在侧面与底面均受力,提升了被夹取晶片的稳定性,避免了出现因晶片夹取不稳而掉落摔碎的风险,再者,夹持限位槽的侧边限位夹取设计也能尽可能地避免夹取中镊子本体接触到晶片的表面,以避免损伤晶片表面。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶片转移用的镊子,其特征在于,包括镊子本体(1);

2.根据权利要求1所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述下限位面(101)上设有延伸至所述夹持限位槽(10)的开口下边缘的导向斜坡部(106)。

3.根据权利要求2所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述下限位面(101)上的至少部分面为延伸至所述夹持限位槽(10)的开口下边缘的导向斜面,以形成所述导向斜坡部(106)。

4.根据权利要求1所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述夹持限位槽(10)为开设于所述夹持端上的矩形槽;

5.根据权利要求1所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述夹持限位槽(10)的开口侧边缘设有圆弧倒角。

6.根据权利要求1所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述下限位面(101)以及所述侧限位面上铺设有缓冲材料层。

7.根据权利要求1所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述镊子本体(1)包括镊尾(11)、第一弹性镊柄(12)、第二弹性镊柄(13)、第一镊头(14)以及第二镊头(15);

8.根据权利要求7所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述第一弹性镊柄(12)与所述第二弹性镊柄(13)上设有防滑结构。

9.根据权利要求8所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述第一弹性镊柄(12)与所述第二弹性镊柄(13)上开设有多个阵列分布的通孔(16),用于形成所述防滑结构。

10.根据权利要求1所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述镊子本体(1)由聚四氟乙烯材料制备而成。

...

【技术特征摘要】

1.一种晶片转移用的镊子,其特征在于,包括镊子本体(1);

2.根据权利要求1所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述下限位面(101)上设有延伸至所述夹持限位槽(10)的开口下边缘的导向斜坡部(106)。

3.根据权利要求2所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述下限位面(101)上的至少部分面为延伸至所述夹持限位槽(10)的开口下边缘的导向斜面,以形成所述导向斜坡部(106)。

4.根据权利要求1所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述夹持限位槽(10)为开设于所述夹持端上的矩形槽;

5.根据权利要求1所述的晶片转移用的镊子,其特征在于,所述夹持限位槽(10)的开口侧边缘设有圆弧倒角。

6.根据权利要求1所述的晶片转移...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵倩毛成状郭运游阿峰姚本东
申请(专利权)人:安徽光智科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1