配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置制造方法及图纸

提供使用红外线相机分多次拍摄面板时能够恰当地进行缺陷检测的配线缺陷检测方法和装置。本发明专利技术所涉及的配线缺陷检测方法取得各检查区域和与各检查区域对应的焊盘的对应关系。本发明专利技术所涉及的配线缺陷检测装置具备焊盘切换单元，该焊盘切换单元基于该对应关系，将进行供电的焊盘切换为与各检查区域对应的焊盘。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】提供使用红外线相机分多次拍摄面板时能够恰当地进行缺陷检测的配线缺陷检测方法和装置。本专利技术所涉及的配线缺陷检测方法取得各检查区域和与各检查区域对应的焊盘的对应关系。本专利技术所涉及的配线缺陷检测装置具备焊盘切换单元，该焊盘切换单元基于该对应关系，将进行供电的焊盘切换为与各检查区域对应的焊盘。【专利说明】配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置
本专利技术涉及适于形成于液晶面板和太阳能电池面板等面板的配线的缺陷检测的配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置，特别是，涉及以大型的面板为对象的配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置。
技术介绍
作为半导体基板的一例，例如液晶面板的制造工艺大体分为阵列(TFT)工序、单元(液晶)工序和模块工序。其中，在阵列工序中，在透明基板上形成栅极电极、半导体膜、源极/漏极电极、保护膜和透明电极后进行阵列检测，检测电极或者配线等的配线的短路的有无。通常，在阵列检测中，使探测器接触配线的端部，测定配线两端的电阻或者相邻的配线间的电阻和电容，从而确定这种缺陷。然而，在阵列检测中，即使能够检测出配线部的缺陷的有无，也不容易确定该缺陷的位置。例如，作为改善上述的问题，确定缺陷的位置的方法，有如下红外线检测:向漏电缺陷基板施加电压使其发热，使用由红外线相机拍摄漏电缺陷基板表面温度而得到的图像来确定缺陷位置。专利文献I涉及利用红外线图像检测基板的短路缺陷的红外线检查，其是如下缺陷检测方法:将作为检查对象的半导体基板(漏电缺陷基板)上的液晶面板分割为多个区域。接着，在对整个该液晶面板施加电压后，按分割为多个而得到的每个区域测定施加电压前后的该液晶面板的红外线图像的强度(温度)，使发热明显化来检测缺陷。现有技术文献_7] 专利文献专利文献1:特开平6-207914号公报(【公开日】:1994年7月26日)
技术实现思路
_9] 专利技术要解决的问题然而，当使用专利文献I所记载的技术时，要向半导体基板(漏电缺陷基板)上的整个液晶面板施加电压，因此，整个面板会发热，未拍摄红外线图像的区域也会发热。因此，在对某分割而成的检查区域进行红外线检查后，对分割而成的下一检查区域进行红外线检查时，电压施加前的该分割而成的下一检查区域会残留热，电压施加前的红外线图像不是恰当的图像，电压施加前后的红外线图像不会产生缺陷检测所需要的强度差(温度差)。即，在将整个液晶面板分割为多个检查区域，分多次拍摄液晶面板的红外线图像的情况下，当使用该现有技术时，缺陷的检测会变得困难。用于解决问题的方案本专利技术是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于，提供如下配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置:即使在将半导体基板上的液晶面板分割为多个检查区域，分多次拍摄该半导体基板上的该液晶面板的红外线图像的情况下，其也能够恰当地进行缺陷的检测。因此，为了解决上述的问题，本专利技术所涉及的配线缺陷检测方法，用于通过利用红外线相机拍摄具有多个焊盘和配线的面板来检测上述配线的缺陷，其特征在于，包含:存储工序，将对应关系数据存储于数据存储部，上述对应关系数据是使根据上述红外线相机的拍摄视野区域将上述面板分割为多个而得到的各检查区域和上述多个焊盘中的与各检查区域对应的焊盘相对应而得到的；焊盘切换工序，使上述面板和上述红外线相机的相对位置变化，并且基于红外线相机的拍摄视野区域的位置和保存于上述数据存储部的上述对应关系数据，切换进行供电的焊盘；电压施加工序，经由在上述焊盘切换工序中切换到的焊盘向与该焊盘对应的上述配线施加规定的电压；以及缺陷检测工序，利用上述红外线相机拍摄包含在上述电压施加工序中施加了上述电压的配线的检查区域，检测上述配线的缺陷。根据上述的构成，在改变红外线相机和面板的相对位置而使用红外线相机对作为配线缺陷检测的对象的面板(漏电缺陷基板)且是具有比红外线相机的拍摄视野区域大的区域的面板进行拍摄时，能够根据该相对位置的变化仅向红外线相机的拍摄视野的区域所包含的面板的各个检查区域施加电压来使其发热。另外，由于这样仅向某检查区域施加电压使其发热来拍摄该某检查区域，因此，在不同于该某检查区域的尚未进行红外线检查的检查区域中，面板不会发热至红外线检查中会产生故障的程度。因此，即使是在对无法完全进入I个拍摄视野区域的比较大型的面板(例如60英寸的液晶面板)利用电压施加会导致发热这一点来检测该面板的配线缺陷的情况下，在各检查区域中也能够得到缺陷的检测所需的温度上升，能够恰当地检测缺陷。另外，本专利技术所涉及的配线缺陷检测方法的一个方式优选在上述的构成的基础上，作为上述存储工序的前工序，包含:对应关系作成工序，根据上述红外线相机的拍摄视野区域将上述面板分割为多个检查区域，从上述多个焊盘中推算出与各检查区域对应的焊盘，使检查区域和与该检查区域对应的焊盘相对应，作成上述对应关系数据。通过包含上述对应关系作成工序，在进行具有未预先将与红外线相机的对应关系存储于数据存储部的焊盘的面板的配线缺陷检测时，能够使将面板分割而得到的多个检查区域分别和与该各个检查区域对应的焊盘相对应。因此，配线缺陷检测装置不会成为受限于大小已定的面板的装置或受限于已定的拍摄视野范围和与检查区域对应的焊盘的装置，能够在每次检查时或者根据需要作成对应关系数据，实现良好的分割检测。另外，本专利技术所涉及的配线缺陷检测方法的一个方式优选在上述的构成的基础上，作为上述对应关系作成工序的前工序，包含:检查区域数判断工序，根据上述面板的大小和上述红外线相机的拍摄视野区域的大小，判断是否必须将面板分割为多个检查区域；以及检查区域决定工序，在上述检查区域数判断工序中判断为必须分割为多个检查区域的情况下，决定各检查区域的大小。通过包含上述检查区域数判断工序和上述检查区域决定工序，在对未决定各检查区域的大小的液晶面板进行配线缺陷检测时，能够根据液晶面板的大小和红外线相机的拍摄视野区域的大小决定各检查区域的大小。另外，本专利技术所涉及的配线缺陷检测装置的一个方式优选在上述的构成的基础上，在上述焊盘切换工序中，将与各焊盘连接而进行供电的探针切换为在上述电压施加工序中施加电压的探针，从而将按照红外线相机的拍摄视野区域的位置进行供电的焊盘切换为与检查区域对应的焊盘。通过包含上述焊盘切换工序，能够仅向与红外线相机的拍摄视野区域所包含的液晶面板的各检查区域对应的焊盘经由对应的探针进行供电，从而仅使各检查区域发热。另外，为了解决上述问题，本专利技术所涉及的配线缺陷检测装置，用于通过利用红外线相机拍摄具有多个焊盘和配线的面板来检测上述配线的缺陷，其特征在于，具备:上述红外线相机；数据存储部，其保存对应关系数据，上述对应关系数据是使根据上述红外线相机的拍摄视野区域将上述面板分割为多个而得到的各检查区域和上述多个焊盘中的与各检查区域对应的焊盘相对应而得到的；移动单元,其使上述面板和上述红外线相机的相对位置变化；焊盘切换单元，其基于利用上述移动单元移动上述相对位置的红外线相机的拍摄视野区域的位置和保存于上述数据存储部的上述对应关系数据，切换进行供电的焊盘；电压施加单元，其经由被上述焊盘切换单元切换到的焊盘向与该焊盘对应的配线施加规定的电压；以及缺陷检测单元，其利用上述红外线相机拍摄包含由上述电压施加单元施加了上述电压的配线的检查区域，检测上述配线的缺陷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳濑正和，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：