【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于硅基的光无源集成器件设计平台,包括芯片衬底(1),其特征在于:所述芯片衬底(1)的材质为硅基材料;所述芯片衬底(1)的上方涂覆有下缓冲层(3),所述下缓冲层(3)的上方还涂覆有上缓冲层(2),所述下缓冲层(3)与上缓冲层(2)之间还设有芯层(4);所述芯层(4)由下缓冲层(3)与上缓冲层(2)完全包覆;所述芯层(4)上设有呈图案状的引导光路。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:袁晓君,徐艳平,廖鹏,
申请(专利权)人:绵阳芯联芯通信科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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