本发明专利技术涉及安装于机械手臂的梢端部上的末端作用器装置（1），在托板（10）上具备多个支持单元（3、3）。支持单元（3）具备以使多个半导体晶圆（9）相互平行且上下隔着间隔的方式支持各半导体晶圆（9）的周缘部的多个爪片（30、30）、和变更爪片（30）的上下间隔的间距变更机构（4）。间距变更机构（4）具备上下隔着间隔支持多个爪片（30、30），且在上下方向上弹性变形的螺旋弹簧（40）、和使该螺旋弹簧（40）在上下弹性变形的工作机构（5）。工作机构（5）具备嵌入于螺旋弹簧（40）中并升降的活塞轴（50）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术涉及安装于机械手臂的梢端部上的末端作用器装置（1），在托板（10）上具备多个支持单元（3、3）。支持单元（3）具备以使多个半导体晶圆（9）相互平行且上下隔着间隔的方式支持各半导体晶圆（9）的周缘部的多个爪片（30、30）、和变更爪片（30）的上下间隔的间距变更机构（4）。间距变更机构（4）具备上下隔着间隔支持多个爪片（30、30），且在上下方向上弹性变形的螺旋弹簧（40）、和使该螺旋弹簧（40）在上下弹性变形的工作机构（5）。工作机构（5）具备嵌入于螺旋弹簧（40）中并升降的活塞轴（50）。【专利说明】末端作用器装置及具备该末端作用器装置的基板搬运用机械手
本专利技术涉及具备可改变板状构件、具体而言在半导体制造工序中使用的多片的半导体晶圆的上下间隔的间距(pitch)变更机构且安装于机械手臂的梢端部的末端作用器装置、具备该末端作用器的基板搬运用机械手、具备该基板搬运用机械手的基板处理装置、以及具备该基板处理装置的基板处理设备。
技术介绍
在半导体制造工序中具有从上下排列多片半导体晶圆并收纳的前开式晶圆传送盒(front opening unified pod ;F0UP),将多片半导体晶圆一次地搬运至对半导体晶圆实施规定的处理的处理棚中的工序。在该搬运途中，存在变更相邻的半导体晶圆的上下间隔(称为“间距”)的情况。为了变更该间距，使用间距变更机构； 现有的间距变更机构具备支承半导体晶圆的整个下表面的多个晶圆保持托盘、和设置于各晶圆保持托盘的基端部的纵轴(参照专利文献I)。各晶圆保持托盘沿着纵轴升降，且以该纵轴为中心在水平面内旋转。间距变更机构在与前开式晶圆传送盒对置的位置上，由晶圆保持托盘保持多片半导体晶圆的整个下表面并一次地取出。之后，间距变更机构在水平方向上移动后，各晶圆保持托盘下降，并缩短相邻的半导体晶圆的间距。接着，各晶圆保持托盘以纵轴为中心旋转，并且将所有的半导体晶圆收纳于处理棚内。现有技术文献: 专利文献: 专利文献1:日本特许公开平5-235147号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题:申请人:想到了在机械手臂的梢端部上安装包含上述间距变更机构的末端作用器装置，从而顺利地从前开式晶圆传送盒向处理室(processing booth)移送半导体晶圆的构思。然而，现有的间距变更机构由于晶圆保持托盘支承半导体晶圆的整个下表面，因此变得大型化，不适合组装在前述末端作用器装置中； 本专利技术的目的在于提供具备改变半导体晶圆的间隔的机构的末端作用器装置。解决问题的手段: 本专利技术是安装于机械手臂的梢端部上的末端作用器装置，前述末端作用器装置具有具备基端部及梢端部的托板；前述末端作用器装置具备设置于所述托板上，并且形成为以使多个板状构件相互平行且上下隔着间隔的方式支持各板状构件的周缘部，且能够变更所述板状构件的间隔的结构的支持单元。在这里，“以位于托板上的方式设置”是包含直接设置在托板上的形态、和设置于末端作用器装置的其他部分上以位于托板上的形态两者的概念。根据本专利技术，板状构件的周缘部由支持单元支持。即，支持单元没有必要支承板状构件的整个表面，因此可以使支持单元支持板状构件的部位小型化。借助于此，可以使变更板状构件的间隔的支持单元小型化以适合组装到末端作用器装置中。另外，在本申请中小型化还表示包含以往不能实现的也实现的意思。即，不仅仅是减小尺寸的概念。又，在所述托板上设置有多个间距变更机构，该多个间距变更机构包含在与一个平面内延伸的各个轴线垂直的方向上隔着间隔设置且分别保持多个所述板状构件的周缘部的保持部，并且改变所述多个板状构件的与所述一个平面垂直的方向上的间隔； 至少一个间距变更机构配备在所述支持单元上，并且向托板的梢端部可前进且向基端部可后退地设置，该一个间距变更机构形成为在前进的位置上保持所述板状构件且在后退的位置上解除所述板状构件的保持的结构。根据本专利技术，一个间距变更机构后退，即可将由该间距变更机构的保持部进行的板状构件的保持解除。借助于此，可以将改变间隔后的多个板状构件容易地传递至下一个处理阶段中。另外，在以下记载中，间距变更机构将板状构件的周缘部向连结所述托板的基端和梢端的方向按压，因此将保持板状构件的结构称为边缘抓取式(edge grip type)结构。专利技术效果: 在本专利技术中，使包含的支持单元具备间距变更功能，并且在周缘部上支持板状构件。借助于此，在末端作用器装置中可以实现变更间距的机构的小型化。【专利附图】【附图说明】图1是基板搬运用机械手的整体立体图； 图2是放大示出末端作用器装置的立体图； 图3是图2所示的末端作用器装置的俯视图； 图4是爪片的立体图； 图5是通过爪片保持半导体晶圆的状态的侧视图； 图6是另一爪片的图； 图7中的图7 (a)、图7 (b)是局部剖切了根据一个实施形态的间距变更机构的侧面的图，图7 Ca)示出间距较大的初期状态，图7 (b)示出间距较小的状态； 图8是从图7 Ca)的Al方向观察最下层的爪片的俯视图； 图9中的图9 (a)、图9 (b)是局部剖切了根据其他实施形态的间距变更机构的侧面的图，图9 (a)示出间距较大的初期状态，图9 (b)示出间距较小的状态； 图10中的图10 (a)、图10 (b)是局部剖切了根据其他实施形态的间距变更机构的侧面的图，图10 (a)示出间距较大的初期状态，图10 (b)示出间距较小的状态； 图11是使用于图10的间距变更机构的爪片的立体图； 图12中的图12 (a)、图12 (b)是局部剖切了根据其他实施形态的间距变更机构的侧面的图，图12 (a)示出间距较大的初期状态，图12 (b)示出间距较小的状态； 图13是使用于图12的间距变更机构的圆筒体的侧视图； 图14中的图14 (a)、图14 (b)是局部剖切了根据其他实施形态的间距变更机构的侧面的图，图14 Ca)示出间距较大的初期状态，图14 (b)示出间距较小的状态； 图15中的图15 (a)、图15 (b)是局部剖切了根据其他实施形态的间距变更机构的侧面的图，图15 (a)示出间距较大的初期状态，图15 (b)示出间距较小的状态； 图16中的图16 (a)、图16 (b)是局部剖切了根据其他实施形态的间距变更机构的侧面的图，图16 (a)示出间距较大的初期状态，图16 (b)示出间距较小的状态； 图17中的图17 (a)、图17 (b)是局部剖切了根据其他实施形态的间距变更机构的侧面的图，图17 (a)示出间距较大的初期状态，图17 (b)示出间距较小的状态； 图18是根据其他实施形态的间距变更机构的俯视图； 图19是图18所示的间距变更机构的要部立体图； 图20中的图20 (a)、图20 (b)是从BI方向观察图18所示的间距变更机构的侧视图，图20 Ca)示出间距较大的初期状态，图20 (b)示出间距较小的状态； 图21中的图21 (a)、图21 (b)是根据其他实施形态的间距变更机构的侧视图，图21Ca)示出间距较大的初期状态，图21 (b)示出间距较小的状态，图21 (c)是从背面观察图21 (a)，且用包含箭头Cl-Cl的面剖切并观察的剖视图； 图22中的图22 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种末端作用器装置，是安装于机械手臂的梢端部上的末端作用器装置；所述末端作用器装置具有具备基端部及梢端部的托板；所述末端作用器装置具备设置于所述托板上，并且形成为以使多个板状构件相互平行且上下隔着间隔的方式支持各板状构件的周缘部，且能够变更所述板状构件的间隔的结构的支持单元。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：桥本康彦，小野茂树，福岛崇行，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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