【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】带电粒子束聚焦设备（200）包括带电粒子束发生器（202），所述带电粒子束发生器（202）被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置（217）上，从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器（31），所述成像检测器（31）被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器（32）分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像，且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。【专利说明】聚焦带电粒子成像系统相关申请本申请要求在2011年2月18日提交的美国临时专利申请61/444，506的优先权，并且本申请通过引用并入所述美国临时专利申请。
本专利技术通常涉及聚焦系统，且具体地涉及聚焦带电粒子束。
技术介绍
诸如在聚焦离子束或扫描电子显微镜中使用的带电粒子束通常通过在具有锋利边缘的样品上扫描光束来聚焦。入射带电光束产生样品的扫描图像，且所述光束通过最大化扫描图像的对比度来聚焦。然而，所述聚焦系统需要具有锋利特征的图案化样品。扫描和最大化被扫描图像中的对比度的相同方法也可用在用...
【技术保护点】
一种设备，包含：带电粒子束发生器，所述带电粒子束发生器被配置以同时将至少一个消像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置上，从而使得释放电子从所述位置发射出；成像检测器，所述成像检测器被配置以从所述位置接收所述释放电子且根据所述释放电子形成所述位置的图像；以及处理器，处理器耦合至所述成像检测器，所述成像检测器被配置以分析所述图像的子集，所述子集由所述至少一个像散带电粒子束产生，且响应于所述子集以调整所述至少一个非像散带电粒子束的焦点。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：S·R·罗杰斯，R·K·克尼佩迈尔，T·凯门，S·舒伯特，N·埃尔马利阿，
申请(专利权)人：应用材料以色列公司， 卡尔蔡司SMT有限公司，
类型：发明
国别省市：以色列;IL
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