带电粒子束照射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种实现小型化的带电粒子束照射装置。带电粒子束照射装置（10）具备：传输线路（31），传输带电粒子束；照射部，向被照射体照射带电粒子束；及旋转机架（12），支承传输线路（31）及照射部，且具有能够绕旋转轴线P旋转的筒体（13），其中传输线路（31）的倾斜部（33）设为通过筒体（13）内而配置的结构。由此，减小向径向突出的传输线路（31）的突出量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野正美，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：
国别省市：