带电粒子线装置、带电粒子线装置的调整方法及试样的检查或试样的观察方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。【专利说明】
本专利技术涉及带电粒子线装置的技术。本专利技术涉及能在大气压或规定的气体环境中观察被观察试样的带电粒子线装置的技术。
技术介绍
为了观察物体的微小的区域，广泛使用扫描式电子显微镜(SEM)、透过式电子显微镜(TEM)等。一般地，在这些装置中，对用于配置试样的第二机箱进行真空排气，使试样环境为真空状态并对试样进行摄像。另一方面，利用电子显微镜观察生物化学试样、液体试样等由于真空受到损害、或状态变化的试样的需求增大，近年来，开发出了能在大气压下观察观察对象试样的SEM装置、试样保持装置等。这些装置设置在原理上电子线能在电子光学系统与试样之间透过的薄膜，分隔真空状态与大气状态，任一个都在试样与电子光学系统之间设置薄膜这点是共通的。在专利文献1、专利文献2、专利文献3中公开了以观察处于大气压下的试样、液体为目的，在试样周围配置电子线能通过的薄膜，利用薄膜分隔真空状态与大气压状态的大气压SEM装置。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平05-234552号公报专利文献2:日本特开平10-064467号公报专利文献3:日本特开2006-147430号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，在专利文献1、专利文献2、专利文献3记载的专利技术中，本领域技术人员得知在薄膜等保持结构等上存在几个技术问题。S卩，为了有效地检测来自试样的放出电子，需要增大薄膜的放出电子透过区域，但当仅增大薄膜的放出电子透过区域时，存在无法保证薄膜的强度之类的问题。本专利技术是鉴于该问题而完成的，其目的在于提供通过用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察被观察试样的带电粒子线装置、带电粒子线装置的调整方法、及试样的检查或试样的观察方法。用于解决课题的方法根据本专利技术的一个方案，提供一种带电粒子线装置及其调整方法，该带电粒子线装置具备:带电粒子照射部，其将从带电粒子源放出的一次带电粒子线照射到试样上；第一机箱，其支撑上述带电粒子照射部，构成为能将内部维持为真空状态；第二机箱，其位于该第一机箱且收纳上述试样；排气装置，其对上述第一机箱内进行排气；检测器，其在上述第一机箱内检测由上述照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少上述第一机箱或上述第二机箱的任一机箱的一部分、或不同体，对上述第一机箱内与上述第二机箱内之间的至少一部分进行分隔；开口部，其设在该隔壁部上，上述带电粒子照射部侧的开口面积比上述试样侧的开口面积大；以及薄膜，其覆盖该开口部的上述试样侧，使上述一次带电粒子线及上述带电粒子线透过或通过。根据本专利技术的另一方案，提供一种试样的检查或试样的观察方法，其将从带电粒子照射部的带电粒子源放出的一次带电粒子线从将内部维持为真空状态的第一机箱照射到收纳在位于该第一机箱的第二机箱的试样上，上述一次带电粒子线通过设在隔壁部上且上述带电粒子照射部侧的开口面积比上述试样侧的开口面积大的开口部，其中，隔壁部构成为至少上述第一机箱或上述第二机箱的任一个机箱的一部分、或不同体，对上述第一机箱内与上述第二机箱内之间的至少一部分进行分隔，上述一次带电粒子线透过或通过覆盖上述开口部的上述试样侧的薄膜，对上述试样照射一次带电粒子线，来自上述试样的带电粒子线透过或通过上述薄膜，上述带电粒子线通过上述开口部，检测器在上述第一机箱内检测上述带电粒子线。专利技术效果根据本专利技术，能提供能够适当地具备带电粒子照射及透过的薄膜，比以往实用性高且能在大气环境下进行观察的。【专利附图】【附图说明】图1是作为本专利技术的第一实施方式的带电粒子线装置的整体结构图。图2是作为本专利技术的第二实施方式的带电粒子线装置的整体结构图。图3是作为本专利技术的第二实施方式的薄膜的周边部的详细图的一个例子。图4是表示具备作为本专利技术的第二实施方式的薄膜的薄膜保持部的第一例的图。图5是表示具备作为本专利技术的第二实施方式的薄膜的薄膜保持部的第二例的图。图6是表示具备作为本专利技术的第二实施方式的薄膜的薄膜保持部的第三例的图。图7是在薄膜保持部与薄膜保持部支撑体之间具备作为本专利技术的第二实施方式的固定部件的图。图8是表示在作为本专利技术的第二实施方式的薄膜保持部与薄膜保持部支撑体之间具备固定部件的变形例的图。图9是表示作为本专利技术的第三实施方式的在试样倾斜的状态下进行显微镜观察的方式的图。图10是表示作为本专利技术的第四实施方式的保持薄膜保持部的实施方式的图。图11是表示作为本专利技术的第四实施方式的使用台座的实施方式的图。图12是表示本专利技术的第五实施方式的图。图13是表示本专利技术的第六实施方式的流程图。图14是表示本专利技术的第七实施方式的流程图。【具体实施方式】在以下的说明中，以使用电子线的SEM装置为例进行说明，但也能应用于照射离子束来检测二次电子、反射电子的SIM (Scanning 1n Microscope)或使用轻元素的离子束的离子显微镜等其他带电粒子线装置。另外，以下说明的各实施例也能在不脱离本专利技术的的范围的范围内适当组合。(第一实施方式)图1表示作为本专利技术的第一实施方式的带电粒子线装置的整体结构图。图1所示的装置作为将从带电粒子源释放的一次带电粒子线照射到试样上，检测得到的带电粒子线的带电粒子线装置的一个例子，是使带电粒子线在试样6上扫描，检测得到的二次电子或反射电子并图像化的扫描式显微镜。大致由电子光学镜筒2、支撑该电子光学镜筒2的第一机箱7、收纳试样6的第二机箱8、设在作为第一机箱7的下表面的隔壁部的支撑薄膜保持部的薄膜保持部支撑体47、保持薄膜的薄膜保持部10、一次电子线及从试样得到的二次电子或反射电子透过的薄膜13构成。电子光学镜筒2以向第一机箱7内部突出的方式设置,在电子光学镜筒2的端部配置有检测上述二次电子或反射电子的检测器3。检测器3构成为在第一机箱7内检测由从电子光学镜筒2向试样6的照射得到的二次电子或反射电子。未图示，但代替检测二次电子或反射电子的检测器，可以在第一空间11内具有检测X线、光子的检测器，也可以分别设置检测反射电子的检测器及检测X线、光子的检测器。另外，图1中的单点划线表示一次电子线光轴，电子光学镜筒2和第一机箱7及薄膜13与一次电子线光轴同轴地组装。作为装置的控制系统，具备装置用户使用的个人电脑35、与个人电脑35连接且进行通信的上位控制部36、根据从上位控制部36发送的命令进行真空排气系统、电子光学系统等的控制的下位控制部37。个人电脑35具备显示装置的操作画面(GUI)的监视器、键盘或鼠标等向操作画面的输入单元。上位控制部36、下位控制部37及个人电脑35本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：大南佑介，大泷智久，伊东佑博，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：
国别省市：