【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术的目的是提供一种利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备。根据本专利技术的光阑，包括光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔；多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透镜。本专利技术的优点在于：能够使得电子束以最优剖面轮廓通过光阑板，从而能够获得质量较好的图像；对光阑进行切换时，只需通过调整加在多极透镜上的电压，即可调整电子束的大小，因此光阑的切换更加快速且方便，在实践中仅需零点几秒即可完成光阑的切换，极大地提高了光阑的切换效率；并且，根据本专利技术的光阑比通常采用的使用步进式马达调整的光阑结构更加简单，且造价更便宜。【专利说明】利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备
本专利技术涉及电子光学领域，尤其涉及利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备。
技术介绍
在电子光学领域的应用中，在电子束聚焦镜筒中往往需要改变电子束流的大小。传统的改变电子束流的方法包括两种，一种方法是使用固定的电子束光阑，通过控制电子束交叉光点与光阑的相互位置，来调整电子束的大小...
【技术保护点】
一种光阑，其包括：?光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔；?多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透镜；其中，所述第一组多个入射多极透镜分别具有适合电场和/或磁场，用于将穿过其中的入射粒子束流调整至与初始光轴平行且相距预定距离的位置，以使所述入射例子束流通过所述光阑板上的特定小孔；所述第二组多个出射多极透镜分别具有与所述第一组入射多极透镜相对应的适合电场和/或磁场，以使得穿过所述光阑板上的特定小孔的出射粒子束流回归到所述初始光轴的位置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李家铮，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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