扫描电镜中具有多级机械对准机构的对准装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是提供一种对准装置、包含所述对准装置的扫描电镜以及在所述扫描电镜中用于对多级透镜进行对准的方法。根据本发明专利技术的对准装在包括：多级机械对准机构，其中每级对准机构具有多维度机械式调整装置，其中包括：第一级对准机构，用于将电子源进行多维度位移调整，以与第一级透镜进行光轴对准；其他各级对准机构，用于将所述电子源及已对准的前面各级透镜作为整体进行多维度位移调整，以与该级透镜进行光轴对准。本发明专利技术的优点如下：1)通过采用所述对准装置，可便捷地实现扫描电镜中各个透镜的对准，操作方式较为简便；2)该对准装置所需成本较低，对准结果不易受到时间或温度等因素的影响，较为稳定。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术的目的是提供一种对准装置、包含所述对准装置的扫描电镜以及在所述扫描电镜中用于对多级透镜进行对准的方法。根据本专利技术的对准装在包括：多级机械对准机构，其中每级对准机构具有多维度机械式调整装置，其中包括：第一级对准机构，用于将电子源进行多维度位移调整，以与第一级透镜进行光轴对准；其他各级对准机构，用于将所述电子源及已对准的前面各级透镜作为整体进行多维度位移调整，以与该级透镜进行光轴对准。本专利技术的优点如下：1)通过采用所述对准装置，可便捷地实现扫描电镜中各个透镜的对准，操作方式较为简便；2)该对准装置所需成本较低，对准结果不易受到时间或温度等因素的影响，较为稳定。【专利说明】
本专利技术涉及电子光学
，尤其涉及扫描电镜中的具有多级机械对准机构的对准装置及方法。
技术介绍
现有技术中，有两种常用的对扫描电镜中的透镜进行对准的方法，一种方法是通过增加机械加工精度来减少容差，从而控制聚焦镜筒的离轴偏移，通常成本比较合理的机械部件容差在12.5微米到25微米之间，而要能够控制聚焦镜筒的离轴偏移，一般要求将机械部件的容差降低至5微米到10微米之间，但是，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在扫描电镜中的对准装置，其中，该扫描电镜包括电子源与多级透镜，其中，该对准装置包括：多级机械对准机构，其中每级对准机构具有多维度机械式调整装置，其中包括：第一级对准机构，用于将电子源进行多维度位移调整，以与第一级透镜进行光轴对准；其他各级对准机构，用于将所述电子源及已对准的前面各级透镜作为整体进行多维度位移调整，以与该级透镜进行光轴对准。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李家铮，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：