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本发明的目的是提供一种对准装置、包含所述对准装置的扫描电镜以及在所述扫描电镜中用于对多级透镜进行对准的方法。根据本发明的对准装在包括：多级机械对准机构，其中每级对准机构具有多维度机械式调整装置，其中包括：第一级对准机构，用于将电子源进行多维...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

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