透射电子显微镜物镜光阑制造技术

技术编号:8908041 阅读:443 留言:0更新日期:2013-07-12 00:48
本发明专利技术提供了透射电子显微镜物镜光阑,包括光阑板、与光阑板连接的螺纹杆,以及和螺纹杆连接的手柄,所述物镜光阑沿着光阑板的轴线具有一系列C形开孔。本发明专利技术的优点在于:光阑C形开孔中心的挡板可以阻挡透射电子束参与透射电镜高分辨成像,提高图像的信噪比和分辨率,且光阑板上设置了一系列不同尺寸规格的C型光阑开孔,通过选择规格合适的光阑开孔,可对参与高分辨成像的衍射电子束信号进行筛选,优化图像。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种新型的透射电子显微镜物镜光阑的设计及其成像实验方法,用以提透射电镜高分辨像的信噪比和分辨率,属于材料结构分析与检测

技术介绍
透射电子显微镜高分辨像是对材料内部周期性晶体结构进行直接成像的一种电子显微分析方法,其成像过程遵循“阿贝成像原理”。附图1所示是透射电子显微镜高分辨像成像过程的两个阶段。一是透射电镜中产生的平行电子束穿过薄晶体时,受到晶体内部周期性结构(晶面)的散射,分裂成多级衍射束,在透射电镜后焦面上形成衍射谱;二是衍射谱上的各级衍射斑在后续传播过程中相互干涉,重新在物镜的像平面上会聚成像。显然,衍射谱上的衍射束充当了透射电镜高分辨像成像的“信号源”。附图2是采用透射电子显微镜获得的一种典型的单晶衍射谱,图中心最亮的零级衍射斑是未改变传播方向的电子束直接穿过晶体形成,被称为透射斑(附图2中用T标识);由于未经过晶体内周期结构的衍射,透射束中并不含有晶体周期结构的信息。透射斑周边的衍射斑系晶体内部多种周期性结构对电子束衍射所形成。距离透射斑越远的衍射斑源自晶体中周期越小的晶面对于电子束的衍射,其信号强度(亮度和大小)随着同透射斑距离的增加,会迅速本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透射电子显微镜物镜光阑,包括光阑板、与光阑板连接的螺纹杆和以及和螺纹杆连接的手柄,其特征在于,所述光阑板沿着轴线方向具有至少一C形开孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:牛牧童吴东昌张锦平黄凯张燚董晓鸣曾雄辉徐科
申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
类型:发明
国别省市:

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