下载利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备的技术资料

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本发明的目的是提供一种利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备。根据本发明的光阑,包括光阑板,其上包括多个分别具有不同孔径的小孔;多个多极透镜,包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透...
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