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带电粒子束聚焦设备（200）包括带电粒子束发生器（202），所述带电粒子束发生器（202）被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置（217）上，从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检...该专利属于应用材料以色列公司; 卡尔蔡司SMT有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司; 卡尔蔡司SMT有限公司授权不得商用。