一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件制造技术

本发明专利技术公开了一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件，包括掩模外框、掩模部以及支撑部，其中，所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述支撑部连接；所述支撑部包括N大于等于2个支撑部单元；所述支撑部单元由所述支撑条构成，所述掩模部上有掩模开口，所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口，所述掩模开口构成所述掩模部上的掩模图案区。本发明专利技术提供的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件可以解决掩模主体板面产生下垂造成精度下降、良品率低等问题，以及对现有由多个掩模单元组装而成的掩模部出现的位置错动问题，有效的改善产品的精度、质量，并提高良品率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件，包括掩模外框、掩模部以及支撑部，其中，所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述支撑部连接；所述支撑部包括N大于等于2个支撑部单元；所述支撑部单元由所述支撑条构成，所述掩模部上有掩模开口，所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口，所述掩模开口构成所述掩模部上的掩模图案区。本专利技术提供的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件可以解决掩模主体板面产生下垂造成精度下降、良品率低等问题，以及对现有由多个掩模单元组装而成的掩模部出现的位置错动问题，有效的改善产品的精度、质量，并提高良品率。【专利说明】一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件
本专利技术涉及电子印刷领域，尤其涉及一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件。
技术介绍
由于有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,0LED)由于同时具备自发光，不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异之特性，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。OLED生产过程中最重要的一环节是将有机层按照驱动矩阵的要求敷涂到基层上，形成关键的发光显示单元。OLED是一种固体材料，其高精度涂覆技术的发展是制约OLED产品化的关键。目前完成这一工作，主要采用真空沉积或真空热蒸发(VTE)的方法，其是将位于真空腔体内的有机物分子轻微加热(蒸发)，使得这些分子以薄膜的形式凝聚在温度较低的基层上。在这一过程中需要与OLED发光显示单元精度相适应的高精密掩模板作为媒介。掩模板由掩模部及掩模外框构成，图1所示是传统小尺寸掩模板的结构示意图，其包括一体成型的掩模部11及用于固定一体成型掩模部11的掩模外框12。在实际应用领域中，人们希望制作出更大尺寸的掩模板，从而满足量产及大尺寸OLED显示屏的制造需求，但制作大尺寸掩模板会存在以下问题:大面幅的掩模部由于本身的重量会出现严重的下垂现象。为解决这一问题，人们将掩模部设计成多个掩模单元组装而成，如图2所示，掩模部是由若干个掩模单元20构成，掩模单元通过两端200固定掩模外框上，由于掩模单元是通过两端固定的方式固定，一旦相邻两掩模部固定过程出现偏差，则相互之间极易产生一定的位直偏移，从而在OLED广品的良率上难以进一步提闻。
技术实现思路
`有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本专利技术提供了一种复合掩模板。所述一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件，包括掩模外框、掩模部以及支撑部，其中，所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述支撑部连接；所述支撑部包括N大于等于2个支撑部单元；所述支撑部单元由所述支撑条构成，所述掩模部上有掩模开口，所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口，所述掩模开口构成所述掩模部上的掩模图案区。根据本专利
技术介绍
中对现有技术所述，若制作大尺寸掩模板，其金属型的掩模主体会具有较大的线性质量，从而会导致掩模主体板面产生下垂，而根据本专利技术提供的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件，掩模部贴合在支持部上，而支撑部可以先进行精确定位，再将掩模部贴合在支撑部之上，如此可以对下垂的掩模主体提供直接贴合的支撑力，降低或弥补掩模主体板面产生下垂的情况，并避免了本专利
技术介绍
中对现有由多个掩模单元组装而成的掩模部出现的问题，如图2所示，即掩模单元是通过两端固定的方式固定，一旦相邻两掩模部固定过程出现偏差，则相互之间极易产生一定的位置偏移，从而在OLED产品的良率上难以进一步提高，本专利提供的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件能有效的改善产品的精度、质量，并提闻良品率。另外，根据本专利技术公开的复合掩模板的还具有如下附加技术特征: 根据本专利技术的实施例，所述掩模部至少有一个掩模图案区。根据本专利技术的实施例，所述掩模部上任一所述掩模开口置于所述支撑部中相邻的两个所述支撑条之间，相邻的所述支撑条的间距是所述掩模开口间距的M倍，所述M大于等于I且为正整数。 根据本专利技术的一些实施例，所述支撑条均匀排布。根据本专利技术的实施例，所述支撑部采用具有磁性能的合金材料。优选地，所述支撑部采用因瓦合金材料。根据本专利技术的实施例，所述掩模部采用耐磨、耐高温、耐酸碱且与所述支撑层之间有良好附着力的材料。优选地，所述掩模部采用性能稳定的聚合高分子材料。根据本专利技术的实施例，所述支撑部厚度大于等于20 μ m,小于等于60 μ m。根据本专利技术的一些实施例，所述支撑部厚度为20μπι或30μπι或40μπι或50μπι或 60μ--。根据本专利技术的实施例，所述掩模部厚度大于等于2 μ m，小于等于20 μ m。根据本专利技术的一些实施例，所述掩模部厚度为2μπι或6μπι或10或14μπι或18μπι或 20 μ m。根据本专利技术的一个实施例，所述掩模部厚度为6 μ m，所述支撑部厚度为30 μ m。根据本专利技术的实施例，所述掩模开口间距大于等于30 μ m小于等于200 μ m。优选地，所述掩模开口间距大于等于50 μ m小于等于100 μ m。根据本专利技术的一个实施例，所述掩模开口间距为75 μ m。根据本专利技术的实施例，构成所述支撑部相邻所述支撑部单元之间可以贴合或者存在一定的支撑部单元间距。优选地，其特征在于，所述支撑部单元间距是所述掩模开口间距的m倍，m为不小于零的整数。根据本专利技术提供的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件，所述支撑部可以支撑起所述掩模部，所述支撑部固定在掩模框架上，而所述掩模部固定在所述支撑部上，使得所述掩模部相互之间位置确定，如此相对弥补，可以制作满足高精度，大尺寸OLED屏蒸镀用的掩模板。相对于传统掩模板,可以制作更高PPI (即Pixels per inch所表示的是每英寸所拥有的像素(Pixel)数目)的OLED显示屏(复合掩模板主体上每英寸所拥有的开口数量与OLED显示屏的PPI相对应)。例如:传统掩模板的开口中心间距为150um时，其对应的PPI=2.54cm/150um~169 ;而当本专利技术中两条构成掩模支撑部的支撑条3220的中心间距dl为150um时(如图6)，大尺寸OLED蒸镀用掩模板主体的实际PPI为PPI=2.54cm/d3=2.54cm/75um ^ 339，由此制得的OLED屏亦为339PPI，如此将超越人眼所能看到的极限300PPI。传统掩模板的构成材质为金属合金，本专利技术中将金属合金材料作为支撑层，其上与掩模图案对应的区域与传统掩模板相比，内部金属材料大量减少，虽然增加有机材料构成的掩模层，但其质量相对较轻，从而使得复合掩模板的总体质量减少。在以相同的张力将复合掩模板固定在外框上时，复合掩模板的内部下垂量也将会弱化。本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。【专利附图】【附图说明】本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中: 图1所示是传统小尺寸掩模板的结构示意图； 图2所示是若干个掩模单元构成的掩模部示意图； 图3所示是本专利技术所述大尺寸OLED蒸镀用掩模板的正面示意图， 图4对应图3中A-A方向的截面示意图， 图5为本专利技术所述大尺寸OLED蒸镀用掩模板的反面示意图； 图6为图5中50放大的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件，包括掩模外框30、掩模部31以及掩模支撑部32，其特征在于，所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述掩模支撑部连接；所述掩模支撑部包括N大于等于2个支撑部单元；所述支撑部单元由所述支撑条构成，所述掩模部上有掩模开口，所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口，所述开口构成掩模图案区。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏志凌，高小平，张炜平，
申请(专利权)人：昆山允升吉光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：