带层叠膜的玻璃基板的制造方法技术

一种带层叠膜的玻璃基板的制造方法，通过CVD法利用设置在退火炉内的多个喷射器在玻璃带上形成层叠膜，该制造方法中，层叠膜在Tg+50℃以下形成，对于各喷射器，将该喷射器与玻璃带的交换热量设为Q1(kW)、将与该喷射器成对的加热器与玻璃带的交换热量设为Q2(kW)且将玻璃的流量设为P(吨/天)时，关系式|Q1|-P×0.116≤|Q2|≤|Q1|成立。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及,特别是涉及通过在线CVD (ChemicalVapor Deposition,化学气相沉积)法在退火炉内在玻璃带上形成层叠膜的。
技术介绍
作为通过在线CVD法在玻璃带上形成膜的方法，已知例如专利文献I~3中记载的方法。专利文献I中公开了在浮法槽内的玻璃带上通过CVD法形成含有硅和氧的氧化物膜的方法。并公开了:此时，为了防止浮法槽的熔融金属因氧气而发生氧化，使用不饱和烃化合物和二氧化碳作为氧源。专利文献2中公开了通过配置于浮法槽的涂涂层站(喷射器)和配置于退火炉的涂涂层站在玻璃带上依次形成二氧化硅覆膜、氧化锡覆膜的方法。专利文献3中公开了在浮法槽的出口与退火炉入口之间的区域设置喷嘴(喷射器)并在玻璃带上成膜的方法。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平1-201046号公报专利文献2:日本特开平3-33036号公报专利文献3:日本特公平4-35558号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在浮法槽内，为了防止熔融金属的氧化，熔融金属的周围通常是非氧化气氛。另外，在浮法槽内，玻璃带呈柔软的状态，在浮法槽内的柔软的玻璃带上通过CVD法进行成膜时，不易因温度差而引起玻璃带的翘曲、裂纹。在专利文献I中公开了:为了防止浮法槽的熔融金属的氧化而使用不饱和烃化合物和二氧化碳作为氧气源。这是因为，在非氧化气氛下形成氧化物膜时，不能使用氧气，需要使用含有氧分子的反应气体。但是，在使用该方法形成含有硅和氧的氧化物膜时，会在氧化物膜中混入来源于烃、二氧化碳的碳(C)。其结果，膜的吸收增加，成为与不含碳的膜相比透过率变差的膜。因此，在浮法槽内通过CVD法形成氧化物膜时，存在膜质变差的问题，期望在浮法槽外进行成膜。在专利文献2中指出了:在退火炉内具备涂涂层站时，因用于成膜的温度条件和用于对玻璃带进行退火的温度条件不同而产生问题，在形成多层涂层时，问题变得更复杂。因此，在专利文献2中，推荐使预混合后的氧气和涂层前体在浮法槽内在玻璃带上接触。但是，在该方法中，为了封闭氧气，需要密封，装置变复杂。另外，在退火炉内具备涂涂层站，想要在玻璃带上形成金属氧化物覆膜时，由于玻璃带与喷射器的热交换，与不具备涂涂层站的情况相比，从玻璃带产生急剧的散热，玻璃带有可能变形或者产生伤痕和裂纹。特别是，涂涂层站数越多，产生伤痕和裂纹的可能性越高，翘曲的玻璃带与涂涂层站接触，由此产生玻璃的伤痕和裂纹。因此，在专利文献2中公开了在形成多层涂层时，在退火炉内具备一个以上的涂涂层站的情况下，存在必须建立不同的温度控制的问题。另一方面，没有具体公开任何在退火炉内配置有多个涂涂层站时的适当的温度管理方法。在专利文献3中公开了在浮法槽的出口与退火炉入口之间的区域以覆盖玻璃的整个宽度的方式设置喷嘴(喷射器)。但是，即使直接使用现有的浮法制造装置，在浮法槽与退火炉之间也没有足够的配置喷嘴的空间。另外，在浮法槽与退火炉之间的空间内，如果在不进行玻璃带的温度控制的情况下在浮法槽与退火炉之间的空间进行成膜，则存在因喷嘴与玻璃带的热交换而使玻璃带产生急剧的散热的问题。本专利技术着眼于上述问题而进行，提供在在线CVD法中对玻璃带进行适当的温度管理并使用设置在退火炉内的多个喷射器在玻璃带上形成层叠膜的。用于解决问题的手段本专利技术提供以下方式。(1) 一种，该制造方法使用具备将玻璃的原料熔化的熔炉、使熔融玻璃浮在熔融金属上而成形为玻璃带的浮法槽和对所述玻璃带进行退火的退火炉的玻璃制造装置，通过CVD法利用设置在所述退火炉内的所述玻璃带上方的多个喷射器在所述玻璃带上形成层叠膜，并将所述玻璃带切断，该制造方法的特征在于，在将玻璃化转变温度设为Tg时，所述层叠膜在Tg+50°C以下形成，在所述退火炉中，夹着所述玻璃带在与各喷射器相反的一侧设置与各喷射器成对的加热器，对于各喷射器，将该喷射器与所述玻璃带的交换热量设为Ql (kW)、将与该喷射器成对的加热器与所述玻璃带的交换热量设为Q2(kW)且将玻璃的流量设为P(吨/天)时，以下关系式成立:Qil-px0.116 < |Q21 < |qi|。(2)根据(I)所述的，其特征在于，以下关系式成立:Ql1-PX0.058 ^ | Q2 | ^ |Ql|0(3)根据(I)或(2)所述的，其特征在于，在沿所述玻璃带的输送方向相邻的喷射器之间且相对于所述玻璃带为所述喷射器侧设置有加热器。(4)根据(I)~(3)中任一项所述的，其特征在于，所述喷射器的下表面与玻璃带的距离为30mm以下。专利技术效果根据本专利技术的，实现了在在线CVD法中对玻璃带进行适当的温度管理并使用设置在退火炉内的多个喷射器在玻璃带上形成层叠膜的。【附图说明】图1是玻璃制造装置的概略图。图2是喷射器的截面图。图3是通过本专利技术的带有层叠膜的玻璃基板的制造方法制造的太阳能电池用透明导电性基板的一个实施方式的截面图。图4是用于说明退火炉内的玻璃带的温度控制的图。 【具体实施方式】首先，参照图1，对本专利技术的中使用的玻璃制造装置的一个方式进行说明。需要说明的是，在以下的说明中，包括形成层叠膜的至少一层在内都称为成膜。如图1所示，玻璃制造装置50具备将玻璃的原料熔化的熔炉51、使熔化后的熔融玻璃浮在熔融锡上而成形为平坦的玻璃带的浮法槽52以及通过利用提升辊53将玻璃带从浮法槽52拉出后缓慢降低玻璃带的温度而进行退火的退火炉54而构成。退火炉54例如具有如下作用:利用燃烧气体或电加热器将其输出得到控制的热量供给到炉内的必要位置，将由输送辊55输送的玻璃带缓慢冷却至接近常温的温度范围，由此消除在玻璃带内部存在的残留应力，抑制玻璃带产生翘曲、裂纹。退火炉54内设有多个喷射器60，通过CVD法在玻璃带上形成层叠膜。另外，关于进入退火炉54时的玻璃带的温度，在钠钙硅酸盐玻璃的情况下，多为610°C (Tg + 50°C )左右。喷射器60包括6个喷射器60a~60f，在输送的玻璃带上形成层叠膜。夹着玻璃带在与喷射器60相反的一侧设置与各喷射器60a~60f成对的电加热器56。需要说明的是，喷射器60的数量不限于此，优选在2~9个的范围内，电加热器也可以根据需要进行增减。利用这些电加热器，可防止从退火炉内的入口到出口的期间玻璃带的温度过度下降。如图2所示，喷射器6(K60a~60f)夹着玻璃带70配置在与输送辊55相反的一侧即玻璃带70的上方。对于各喷射器而言，在与玻璃带的输送方向呈直角的方向上，细长的狭缝状的吹出口 61设置在下表面65的大致中央部，在吹出口 61的前后方向两侧各自设置与吹出口 61平行地延伸的排气口 62。在吹出口 61，开口有位于中央的第一喷孔61a、以及以夹着第一喷孔61a地位于前后方向且流道各自朝向第一喷孔61a相对于原料气体供给源倾斜的方式构成的第二和第三喷孔61b、61c。这些吹出口 61和排气口 62的宽度设定为玻璃带70的宽度以上。另外，标号66a、66b是冷凝管,使冷却气体、油等冷却介质循环而使喷射器60保持在最佳温度例如100~220°C (在喷射器下表面进行测定)。喷射器60的下表面是与原料气体接触的面，如果温度过高，则与喷射器60的下表面接触的原料气体因热而发生反应、附着，形成不需要的膜。因此，优选上限为250°C以下。另外，如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带层叠膜的玻璃基板的制造方法，该制造方法使用具备将玻璃的原料熔化的熔炉、使熔融玻璃浮在熔融金属上而成形为玻璃带的浮法槽和对所述玻璃带进行退火的退火炉的玻璃制造装置，通过CVD法利用设置在所述退火炉内的所述玻璃带上方的多个喷射器在所述玻璃带上形成层叠膜，并将所述玻璃带切断，该制造方法的特征在于，在将玻璃化转变温度设为Tg时，所述层叠膜在Tg+50℃以下形成，在所述退火炉中，夹着所述玻璃带在与各喷射器相反的一侧设置与各喷射器成对的加热器，对于各喷射器，将该喷射器与所述玻璃带的交换热量设为Q1(kW)、将与该喷射器成对的加热器与所述玻璃带的交换热量设为Q2(kW)且将玻璃的流量设为P(吨/天)时，以下关系式成立：|Q1|?P×0.116≤|Q2|≤|Q1|。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.07.12 JP 2011-1543151.一种带层叠膜的玻璃基板的制造方法，该制造方法使用具备将玻璃的原料熔化的熔炉、使熔融玻璃浮在熔融金属上而成形为玻璃带的浮法槽和对所述玻璃带进行退火的退火炉的玻璃制造装置，通过CVD法利用设置在所述退火炉内的所述玻璃带上方的多个喷射器在所述玻璃带上形成层叠膜，并将所述玻璃带切断，该制造方法的特征在于， 在将玻璃化转变温度设为Tg时，所述层叠膜在Tg+50°C以下形成， 在所述退火炉中，夹着所述玻璃带在与各喷射器相反的一侧设置与各喷射器成对的加热器， 对于各喷射器，将该喷射器与所述玻璃带的交换热量...

【专利技术属性】
技术研发人员：广松邦明，白井正信，宫下纯一，米道友广，远藤健朗，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：
国别省市：