【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种监控多腔体设备缺陷状况的晶圆作业方法，应用于生产执行系统中，所述生产执行系统包括若干个工序，每个工序均包括多腔体设备和缺陷检测站点，其特征在于，包括如下步骤：S1，提供一中央服务器；S2，设定缺陷检测站点抽检晶圆的规则，将缺陷检测站点抽检晶圆的规则和所有多腔体设备中的腔体信息保存到所述中央服务器中；S3，当待作业晶圆到达任一工序时，由所述中央服务器根据所述缺陷检测站点抽检晶圆的规则确定所述待作业晶圆中的待抽检晶圆，之后由所述中央服务器根据当前工序中的多腔体设备中的腔体信息，控制当前工序中的多腔体设备将所述待抽检晶圆分配到当前工序中的多腔体设备的不同腔体中进行作业，并由所述中央服务器动态记录当前的分配和作业信息；S4，由当前工序中的缺陷检测站点对作业后的所述待抽检晶圆进行缺陷检测，根据缺陷检测结果监控当前工序中多腔体设备的缺陷情况。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：倪棋梁，王凯，陈宏璘，龙吟，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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