用于可靠性测试设备的测试针卡制造技术

本申请公开了一种用于可靠性测试设备的测试针卡，所述测试针卡具有16个测试引脚，其中14个测试引脚呈一字排列，称为第一排；另2个测试引脚也呈一字排列，称为第二排；并且第二排的2个测试引脚与第一排的最后2个测试引脚排列为2×2的形态。本申请所设计的测试针卡可以对两种测试结构进行可靠性测试，并且两部分引脚保持相对独立。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
用于可靠性测试设备的测试针卡
本申请涉及一种半导体集成电路的可靠性测试设备，特别是涉及其中的测试针卡。
技术介绍
可靠性测试设备用于对娃片上的电路结构进行PCM (process control monitor,工艺监控)测试、WLR (wafer-level reliability,娃片级可靠性)测试等。请参阅图1，这是第一测试结构，通常用于PCM测试。该第一测试结构由12个焊盘(pad)组成横向一排、或组成纵向一列。每个焊盘位置用来放置一个硅片(wafer)。请参阅图2，这是第二测试结构，通常用于WLR测试。该第二测试结构由4个焊盘组成两排两列的2X2分布。每个焊盘位置用来放置一个硅片。现有的可靠性测试设备仅具有一种测试针卡，例如图3a所示。这种测试针卡具有12个测试引脚(pin)，呈一字排列。请参阅图3b，该测试针卡连接到针卡控制台，该针卡控制台另有四个控制旋钮用来控制该测试针卡的运动。X、Y、Z旋钮用来控制该测试针卡在三维空间的位置，Θ旋钮用来控制该控制针卡的旋转。图3a所示的测试针卡可以用来对图1所示的第一测试结构进行可靠性测试，但无法用来对图2所示的第二测试结构进行可靠性测试。
技术实现思路
本申请所要解决的技术问题是提供一种测试针卡，可以对图1、图2所示的两种测试结构进行可靠性测试。为解决上述技术问题，本申请用于可靠性测试设备的测试针卡具有16个测试引脚，其中14个测试引脚呈一字排列，称为第一排；另2个测试引脚也呈一字排列，称为第二排；并且第二排的2个测试引脚与第一排的最后2个测试引脚排列为2X2的形态。进一步地，第一排的14个测试引脚中的前12个称为该测试针卡的第一部分引脚，第一排的后2个测试引脚与第二排的2个测试引脚称为该测试针卡的第二部分引脚；所述第一部分引脚用于连接由12个焊盘组成横向一排、或组成纵向一列的第一测试结构；所述第二部分引脚用于连接由4个焊盘组成两排两列的2X2分布的第二测试结构。进一步地，所述第一部分引脚连接针卡控制台上的Χ、y、ζ、Θ旋钮；所述第二部分引脚连接针卡控制台上的X、Y、Ζ2、Θ旋钮。本申请所设计的测试针卡可以对图1、图2所示的两种测试结构进行可靠性测试，并且两部分引脚保持相对独立。【附图说明】图1是硅片进行可靠性测试的第一测试结构的示意图；图2是硅片进行可靠性测试的第二测试结构的示意图；图3a是现有的用于可靠性测试设备的测试针卡的示意图；图3b是现有的用于可靠性测试设备的测试针卡的连接关系示意图；图4a是本申请用于可靠性测试设备的测试针卡的示意图；图4b是本申请用于可靠性测试设备的测试针卡的连接关系示意图。【具体实施方式】请参阅图4a，这是本申请的用于可靠性测试设备的测试针卡。该测试针卡具有16个测试引脚，其中14个测试引脚呈一字排列，称为第一排。另2个测试引脚也呈一字排列，称为第二排。并且第二排的2个测试引脚与第一排的最后2个测试引脚排列为2X2的形态。第一排的14个测试引脚中的前12个称为该测试针卡的第一部分引脚，第一排的后2个测试引脚与第二排的2个测试引脚称为该测试针卡的第二部分引脚。请参阅图4b，本申请的用于可靠性测试设备的测试针卡也连接到针卡控制台，该针卡控制台另有五个控制旋钮用来控制该测试针卡的运动。x、Y、z旋钮用来控制该测试针卡的第一部分引脚在三维空间的位置，Χ、Υ、Ζ2旋钮用来控制该测试针卡的第二部分引脚在三维空间的位置，Θ旋钮用来控制该控制针卡的第一部分引脚或第二部分引脚的旋转。换而言之，五个控制旋钮中的X、Y、Θ旋钮是该针卡的第一部分引脚和第二部分引脚所共用的，Ζ、Ζ2旋钮则是该针卡的第一部分引脚和第二部分引脚所分别使用的在ζ轴方向上进行位移控制。对第一部分引脚和第二部分引脚的ζ轴位移采用不同的旋钮，使得这两部分引脚相对独立，从而可单独控制、单独断开。图4a、图4b所示的测试针卡可以用来对图1和图2所示的两种测试结构进行可靠性测试。当需要对图1所示的第一测试结构进行PCM测试时，该测试针卡的第一部分引脚由Χ、Υ、Ζ、Θ旋钮调整到恰当位置，第一部分引脚(共12个)再分别对准第一测试结构中的各个焊盘。当需要对图2所示的第二测试结构进行WLR测试时，该测试针卡的第二部分引脚由Χ、Υ、Ζ2、Θ旋钮调整到恰当位置，第二部分引脚(共4个)再分别对准第二测试结构中的各个焊盘。以上仅为本申请的优选实施例，并不用于限定本申请。对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于可靠性测试设备的测试针卡，其特征是，所述测试针卡具有16个测试引脚，其中14个测试引脚呈一字排列，称为第一排；另2个测试引脚也呈一字排列，称为第二排；并且第二排的2个测试引脚与第一排的最后2个测试引脚排列为2×2的形态。

【技术特征摘要】
1.一种用于可靠性测试设备的测试针卡，其特征是，所述测试针卡具有16个测试引脚，其中14个测试引脚呈一字排列，称为第一排；另2个测试引脚也呈一字排列，称为第二排；并且第二排的2个测试引脚与第一排的最后2个测试引脚排列为2X2的形态。2.根据权利要求1所述的用于可靠性测试设备的测试针卡，其特征是，将第一排的14个测试引脚中的前12个称为该测试针卡的第一部分引脚，第一排的后2个测试引脚与第...

【专利技术属性】
技术研发人员：金晶，曹刚，葛艳辉，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：