【技术实现步骤摘要】
用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪
本专利技术涉及光学检测装置，尤其涉及一种用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪。
技术介绍
光干涉技术是现代最精密有效的测试技术之一，它集当代最新技术于一体，广泛采用计算机技术、激光技术、电子技术、半导体技术等领域的最新成果，能快速、准确地完成对光学零件与系统的检验。在如今的光学车间，从光学零件的设计加工与检验到光学系统的装调、校正和测试，干涉仪已经成为一种易于操作、可靠、高精度、智能化的必不可少的测试检验装置，它在光学零件和系统的大批量生产和检验中有着不可低估的作用。但是，现有干涉仪往往针对面形检测形貌偏差，例如弯曲或局部弯曲或凹凸区，对于立体面形的形貌检测需要多次反复检测，不能一次获得全部立体面形形貌；其次，现有干涉仪检测精度和可靠性容易受外界振动和温度、气流等环境因素影响。因此，如何设计一种一次性获得全部立体空心圆柱内表面形貌信息的高精度、可靠性的光学干涉仪，成为本领域技术人员努力的方向。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪，此光学干涉仪实现了一次性获得全部立体空心圆柱内表面形貌信息，同...
【技术保护点】
一种用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪，所述内表面（1）沿空心圆柱（2）周向且位于内侧，其特征在于：包括激光器（3）、聚光凸透镜（4）、分束镜（5）、作为物镜的准直凸透镜（6）、标准平晶（7）和圆锥反射镜（8），所述聚光凸透镜（4）位于激光器（3）和准直凸透镜（6）之间且聚光凸透镜（4）的焦点与准直凸透镜（6）的焦点重合；所述分束镜（5）位于聚光凸透镜（4）和准直凸透镜（6）之间，用于将来自准直凸透镜（6）的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶（7）位于准直凸透镜（6）与分束镜（5）相背的一侧，该标准平晶（7）与准直凸透镜（6）相背的表面为标准平面（71）；所述圆锥反射...
【技术特征摘要】
1.一种用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪，所述内表面(I)沿空心圆柱(2)周向且位于内侧，其特征在于:包括激光器(3)、聚光凸透镜(4)、分束镜(5)、作为物镜的准直凸透镜(6)、标准平晶(7)和圆锥反射镜(8)，所述聚光凸透镜(4)位于激光器(3)和准直凸透镜(6)之间且聚光凸透镜(4)的焦点与准直凸透镜(6)的焦点重合；所述分束镜(5)位于聚光凸透镜(4)和准直凸透镜(6)之间，用于将来自准直凸透镜(6)的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶(7 )位于准直凸透镜(6 )与分束镜(5 )相背的一侧，该标准平晶(7 )与准直凸透镜(6)相背的表面为标准平面(71)； 所述圆锥反射镜(8)位于待检测所述空心圆柱(2)内，且圆锥反射镜(8)的旋转轴与空心圆柱(2)与标准平晶(7)各自的轴线重合，所述圆锥反射镜(8)的圆锥面(81)与所述空心圆柱(2)的内表面(I)面对面放置，此圆锥反射镜(8)沿轴线移动从而实现对空心圆柱(2)的内表面(...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩森，李雪园，
申请(专利权)人：苏州慧利仪器有限责任公司，韩森，李雪园，
类型：发明
国别省市：
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