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本发明公开一种用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪,所述内表面沿空心圆柱周向且位于内侧或外侧,其聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合;分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间,用于将来自准直凸透镜的光线分为...该专利属于苏州慧利仪器有限责任公司;韩森;李雪园所有,仅供学习研究参考,未经过苏州慧利仪器有限责任公司;韩森;李雪园授权不得商用。
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本发明公开一种用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪,所述内表面沿空心圆柱周向且位于内侧或外侧,其聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合;分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间,用于将来自准直凸透镜的光线分为...